Устройство для измерения перемещений

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности измерений медленно изменяющихся процессов за счет повышения помехозащищенности и уменьшение влияния на результат измерений погрешностей, обусловленных дрейфовыми характеристиками сканистора. Устройство для измерения перемещений содержит ряд 1 излучателей, состоящих из N формирователей калибровочных световых потоков, жестко закрепленных на корпусе сканистора 4, световые калибровочные потоки от которых образуют геометрический растр вдоль поверхности сканистора и позволяют определять текущий калибровочный коэффициент на любом участке сканистора, в том числе и в точке, соответствующей информационному оптическому сигналу от источника 2, жестко связываемого с объектом, что позволяет компенсировать погрешности, обусловленные дрейфовыми характеристиками сканистора. Блок 9 управления фазой позволяет ввести в каждый период опроса сканистора 4 синхронный фазовый сдвиг частоты модуляции световых потоков и частоты синхронизации фазового детектора 15 с последующим усреднением результата в блоке 20 усреднения, что повышает помехозащищенность. 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУ БЛИН

09) (Н1 (51)5 G 01 В 21/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ъ," ю

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗ06РЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР I (21) 4407853/24-28 (22) 11,04.88 (46) 30,08 ° 90, Бюл. ¹ 32 (72) Н,В,Роготнев, В,В.Четвертных и Н.В,Невоструев (53) 531 ° 7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 365857, кл. G 01 В 21/00, 1970 ° (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности из мерений медленно изменяющихся процессов за счет повышения помехозащищенности н уменьшение влияния на результат измерений погрешностей, обусловленных дрейфовыми характеристиками сканистора, Устройство для измерения перемещений содержит ряд излучателей, состоящих из И формирователей калибровочных световых потоков, жестко закрепленных на корпусе сканистора 4, световые калибровочные1589054 ства, 1 потоки от которых образуют геометрический растр вдоль поверхности сканистора и позволяют -определять теку щий калибровоччый коэффициент на любом участке сканистора, в том числе и в точке, соответств-ующей информационному оптическому сигналу от источника 2, жестко связываемого c . объектом, Это позволя т компенсиро вать погрешности., обусловленные дрейИзобретение относится к измери" тельной технике и может быть использовано для измерения линейного пере мещения, 20

Целью изобретения является повышение плоскости измерений медленно изменяющихся процессов эа счет повышения помехозащищенности и уменьшения влияния на результат измерений по- 25 грешностей, обусловленных дрейфовыми характеристиками сканпстора, Иа фиг.1 приведена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2-4функциональные схемы соответственно блока обработки, блока фазового управления и блока управления световыми калибровочйыми потоками; на фиг.5диаграммы работы элементов устройУстройство для измерения перемещений содержит ряд 1 излучателей, состоящий из Ж формирователей калибровочных световых поток3В оптически связанные излучатель 2, предназначенный для установки на объекте измерений, оптическую систему 3 и сканистор 4„ оптически . вязанный с форк рователями калибровочных световых потоков ряда 1 излучателей, жестко .закрепленных на корпусе сканистора 4 и образующих последовательный геометрический растр вдоль поверхности сканистора 4, источник 5 смещения, генератор 6 пилообразного напряжения, выход которого соединен с вторым эмиттером сканистора 4 и через источник 5 смещения с первым эмиттером сканистора >, блок 7 управления генератором пилообразного напряжения, тактовый генератор 8, первый выход которого соединен с первым входом блска 7 управления, олок 9 фазового фовыми характеристиками сканистора, Блок 9 управления фазой позволяет ввести в каждый период опроса.сканистора синхронный фазовый сдвиг частоты модуляции световых потоков и частоты синхронизации фазового детекто" ра 15 с последующим усреднением ре-« зультата в блоке 20 усреднения, что повышает помехозащищенность, 5 ил. управления, первый выход которого соединен с входом излучателя 2, первый вход соединен с третьим выходом тактового генератора 8, блок 10 управления калибровочными световыми потоками, первый вход которого соединен с вторым выходом блока 9 фазового управления, первый, второй, третий и четвертый фильтры 11-14, выполненные в виде последовательно соединенных соответствующих резисторов и колебательнььх KoHT5 ров > Входы которых со единены с коллектором скапистора 4, первый, второй, третий и четвертый фазовые детекторы 15 18, первь е входы которых соедииены соответственно с выходами первого, второго, третьего и четвертого фильтров 11»14„ блок 19 обработки, первый, второй, третий, четвертый входы которого соединены соответственно с выходами первого, второго, третьего, четвертого фазовых детекторов 15-18, rÿ>ûé вход соединен с выходом блока 7 управления и входом генератора 6 пилообразного напряжения, шестой вход соединен с вторым выходам тактового генератора

8, первый вь>ход соединен с вторыми входами блока 7 управления и блока 9 фазового управления, второй и третий выходы соединены соответстэенно с вторым и третьим входами блока 10 управления, блок 20 усреднения и блок

21 регистрации, вторые входы фазовь:х детекторов 15-18 соединены соответственно с третьим выходом блока 9 фазового управления и первым> вторым и третьим выходами блока 10 управления, четвертый вход которого ссединен с третьими входами блока 9 фазового управления и блока 7 управления, вторым входом блока. 21 регистрации и вторым выходом блока 20 усреднения, первый

40 рованной границы двух модулированных фототоков, образованных соответст

45 вующим модулированным световым по» тОкОм, происходит переворот фазы, фо тотока, поскольку, при дальнейшем движении эквипотенциальной линии идет преобладание последующего моду

50 лированного фототока над предыдущим, например коллекторного модулированного над эмиттерным модулированным фототоком, В результате изменяется направление суммарного модулированно5 го фототока через нагрузку сканистора 4, а на соответствующем колебательном контуре, настроенном на соответствующую частоту модуляции све«

158 и второй входы которого соединены соответственно с четвертым и пятым выходами блока 19 обработки, первый выход соединен с первым входом блока

21 .регистрации, N выходов блока 10 управления световыми калибровочными потоками от 4 до N+4 соединены соот° ветственно с входами N формирователей калибровочных световых потоков ряда 1 излучателей, Устройство работает следующим об разоК

Изделие механически жестко связа» но с излучателем 2, который связан через оптическую систему 3 с фото° чувствительной поверхностью еканистора 4, опрос которого осуществляется генератором 6 пилообразного напряже-. ния и источником 5 смещения. При включении устройства на втором выхо-. де блока 20 усреднения формируется импульс, поступающий на четвертый .вход блока 10 управления световыми калибровочными потоками и на третий вход блока 9 фазового управления, устанавливающий эти блоки в исходное ,состояние, а также поступающий на третий вход блока 7 управления генератором пилообразного напряжения, который при этом коммутирует на,свой выход первый вход, подключенный к первому выходу тактового генератора

8, на котором .формируются импульсы длительностью выбранные так, что сбрасывают генератор 6 пилообразного напряжения в исходное состояние начало полного опроса сканистора 4 (фиг.5а), а частота следования их выбрана из условия полного опроса сканистора 4 (фиг.5а) - генератор 6 пилообразного напряжения успевает оп» росить всю фоточувствительную поверхность сканистора 4, коллектор кото» .рого нагружен через разделительные резисторы Rl R2, R3, R4 соответственно на первый .11, второй 12, третий 13 и четвертый 14 колебательные контура. Третий выход тактового генератора 8 подключен к первому входу блока 9 фазового управления, первый выход которого задает частоту и фазовый сдвиг модуляции излучателя

2, а второй выход задает фазовый сдвиг тактовой частоте, поступающей на первый вход блока 10 управления световыми калибровочными потоками, который, в зависимости от управляю» щих сигналов на втором и третьем вхо

9054 6 дах, подключенных к второму и тре» тьему выходу блока 19 обработки,подключает на выходы от 4 до (0+4) соответствующую триаду формирователей

Ф, Ф1+,, Ф1 калибровочных световых потоков. Каждый из Ф формирователей калибровочных световых потоков ряда

1 излучателей механически жестко свя эан с сканистором 4 и расположены они так, что их световые потоки .спроецированы вдоль фоточувствитель. ной поверхности сканистора 4, образуя геометрический калибровочный

15 .растр. Причем, первый колебательный . койтур 11 настроен на частоту модуляции излучателя 2, а второй 12, третий 13, четвертый 14 колебательнь1е контуры соответственно на частоту

20 триады формирователей Ф, Ф,, Ф1 калибровочных световых потоков. Выход каждого колебательного контура первого, второго, третьего и четвер того фильтров 11-14 подключен соот»

25 ветственно к первому входу первого, второго, третьего, четвертого фазовых детекторов 15-18, на вторые входы которых поступают сигналы синхрони зации соответственно с третьего выхо да блока 9 фазового управления и с первого, второго, третьего выходом блока 10 управления калибровочными световыми потоками. При опросе ска»

Ф нистора 4 происходит движение экви» потенциальной линии вдоль его фоточувствительной поверхности. Эквипо» тенциальная линия делит фоточувстви» тельную поверхность сканистора 4 на две части, одна из которых содержит эмиттерный фоточувствительный переход, Поэтому, при пересечении эквипо» тенциальной линии взаимно компенси» тового потока, меняется фаза сигнала.

1589054 (фиг 5б,в,г.,д) на противоположнуюфазовый сдвиг, равный я (180 ), который преобразуется на выходесоответст вующего фазового детектора в перепад напряжения (фиг,5е,ж, i,и). Резисторы

Rl, R2 R3, R4 служат для токовой развязки соответствующих модулированньи фототоков. Выходы соответствующего фазового детектора 15-18 подключены соответственно к первому, второму, третьему и четвертому входам блока 19 обработки. Выход блока

7 управления генератором пилообразного напряжения подключен к пятому входу блока 19 обработки и устанавливает в исходное состояние триггер

22 видеосигнала (фиг,2) и счетчик

35 адреса (фиг.2) постоянного запоминающего устройства ЗЗ (фиг,2). В процессе полного опроса сканистора

4 (фиг.5a) триггер 22 видеосигнала находится в сброшенном состоянии, а по приходу информационного видео сигнала г (фиг.5е) - перепада ыа 25 пряжения на выходе первого фазового детектора 15, переключается и разре шает работу узла 24 сброса (фиг.2), выход которого является первым выходом блока 19 обработки, где форин» руются импульсы сброса локального опроса сканистора 4 (фиг.5a) с дли/ тельностью о,поступающие на генератор 6 пилообразного напряжения. (фиг,5л) через второй вход и выход блока 7 управления генератором пило образного напряжения, Причем, импуль сы сброса Б имеют задержку на веР. л личину „, которая эадается в узле 23 задержки сброса (фиг.2) по при" 40 ходу j+2-го видеосигналами „ (фиг,5и), что соответствует длительйости

1 л ь +а о (фиг,5к) " конец локально го опроса сканистора 4. Длительность л импульса сброса с (фиг.5л) определяет амплитуду пилообразного напряжения на выходе генератора 6 пилообразного напряжения (фиг.5а) при локальном опросе и соответственно опре деляет локальную длину 1 фоточувствительной поверхности сканистора 4, К видеосигналу с1 Ф;, -го кали:брос вочного светового потока (фиг.5э) задается длительность i. g (фиг.5р) в узле 25 первой задержки (фиг,2), а к видеоси1 налу Ф„ „ -ro (фиг ° 5и) калибровочного светового потока задается длительностью С+ (фиг.5c) в узле

26 второй задержки (фиг.2), которые являются полями допуска информационного видеосигнала 3 (фиг.5e) Если длительность информационного видеосигнала находится в поле допуска, то длительность 6 сброса выбирается л такой, чтобы амплитуда пилообразного напряжения и соответственно локальный участок 11 фоточувствительной поверхности сканистора охватывал проекции Ф, Ф, Ф ><< калибровочных световых протоков и проекцию изображения излучателя 2. Если изображение излучателя 2 движется вправо вдоль фоточувствительной поверхности сканистора 4, то длительность и 8 (фиг,5е) информационного видеосигнала становится больше поля допуска и. „ . 1 + <,+, поэтому на выходе первой схемы И 28 (фиг.2), а также иа втором выходе блока 19 обработки появляется импульс (фиг.5м) соответствующий концу длительности с +c+g, поступающий на второй вход блока 10 управления калибровочными световыми потоками, который задает новую позицию Ф,, Ф„, Ф + калибровочным световым потоком, Причем, конец локального опроса сканистора 4 определяется длительностью с ), э+ с. ygy (фиг ° 5л), а локальный опрос охватывает проекции Ф 1+<, Ф „, Ф калибровочных световых потоков. При движении изображения излучателя 2влево, вдоль фоточувствительной поверхности сканистора 4, длительность 1.б информационного видеосигнала (фиг,5е) становится меньше поля допуска + + и

+ c g, поэтому на выходе второй схемы

И 29 (фиг.2), а также на третьем выходе блока 19 обработки появляется импульс (фиг. 5н), соответствующий

h. л концу длительности „, + ь g, поступающий на третий вход блока 10 управ ления калибровочными световыми потоками, который задает новую позицию

Ф °,, Ф, Ф,, а конец локального опроса сканистора 4 определяется длительностью >+,+ ь р (фиг,5к), при»

П, г чем, при переходе с Ф, Ф,, 6gtz. локального опроса в Ф> Ф, Ф j < локальный опрос длительностью р импульса сброса возрастает (фиг.5л) на выходе узла 24 сброса и зависит от количества пришедших на его тре*" тий вход импульсов с выхода второй схемы И 29. Соответственно изменяется и характер напряжения на выходе генератора 6 пилообразного напряжения

15890 (фиг.5а) и характер опроса сканистора 4. Таким образом, устройство от слеживает проекцию излучателя 2 на фоточувствительной поверхности ска

5 нистора 4, так, что всегда организу.ется локальный опрос локального участ" ка 1, охватывающего проекцию Ф, Ф 1, Ф калибровочных световых потоков при условии, что информацион- 10 ный видеосигнал g проекциии иэлуча теля 2 находится в поле допуска 1„+ g at. c, °, +D,g, С целью устранения неустойчивости работы устрой ства при переходе с 1 - го локального

1 опроса в 1 1, -ый опрос и наоборот л выбрано условие c g c ьд, Одновременно, в каждый -локальный опрос сканистора 4 определяется калибровочное л, л,, значение длительности о, -, кото». 20 рая заполняется импульсами с частотой 1 п(фиг.5п), приходящих со второго выхода тактового генератора 8 к третьему входу формирователя 30 (фиг.2) текущего калибровочного эна чения, на выходе которого форМирует

Ся калибровочное число

Л, л

"1 а

К 1 (1)

1 т

25 Перед очередным полным опросом сканистора 4 (фиг.5а) счетчик 35 ад»; реса сбрасывается и далее считает количество импульсов с выхода первой схемы И 28 (фиг,5м), которое равно местоположению локального опроса охватывающего Ф, Ф +,, Ф 1 проек ции калибровочных световых потоков и иэображения излучателя 2. С выхода второй схемы И 29 импульсы (фиг 5и)

35 поступают на отрицательный вход счет чика 35 адреса, который вычитает количество пришедших импульсов. Нз прежнего значения счетчика и определяЕт новое местоположение локального оп»

4р рОСа И HB выхОДе ПОСТОЯННОГО заПО минающего устройсгва 33 появляются ранее записанные значения соответст» вующих выражению (3), а также на вто» ром выходе появляется ранее записан

45 ное значение координаты х -го каИЭЦ

1 либровочного светового потока, соот ветствующее координате х -го калибро»

1 вочного светового потока при темпера туре Т окружающей среды, и поступаю щее на первый, второй входы суммато ра 36 (фиг ° 2), на первый вход которого поступает текущее значение S (4) перемещения с выхода узла 34 умножения чисел. На первом выходе сум55 матора 36 и соответственно на четвертом выходе блока 19 образуется значение перемещения изделия .л л. пм ь8- с4

@ ° + — — — - 1 g ) ° у (5).

J . T где Т - период полного Опроса сканистора;

1 - длина фоточувствительной по верхности сканистора; и. — длительность видеоимпульса

1 2

j+2-ro калибровочного свето

n., ного потока (фиг ° 5и); 1- длительность видеоимпульса

j-го кагибровочного светово го потока (фиг..5ж), Аналогично, в каждый локальный опрос сканистора 4 определяется ин» л формационная длительность которая заполняется импульсами с частотой заполнения (фиг.5o) импуль сов, приходящих с третьего выхода тактового генератора 8 к третьему входу формировагеля 31 (фиг,2) текущего значения перемещения, на выходе которого формируется текущее значение перемещения л

1,8- 4

Я ° (2)

Т где с - длительность информационноh ь

ro видеосигнала, Сброс формирователей текущего калибровочного значения 30 и значения перемещения 31 происходит на каждое

54 10

- значение сброса, постунающего с вью. хода узла 23 задержки, сброса иа четвертые их вхоцы, В узле 32 (фиг,2) деления чисел вычисляется дрейфовый коэффициент

КЯ ф 39

К (3) аъ1 где К - калибровочное число, соответствующее К при темпера,1 туре Т окружающей среды и поступающее на второй вход узла 32 деления чисел с . первого выхода постоянного запоминающего устройства

33, В узле 34 (фиг,2) умножения чисел в текущее значение перемещения вно сится поправка с учетом дрейфового коэффициента

° л л, 6,1

S - — — — 1 oL S о(., (4)

Т 1 158905 где - коэффициент оптической системы 3, зависящий от ее фокус-, ного рассТояния, расстояний от нее до изделия и до. фото5 чувствительной поверхности сканистора 4,.

На втором выходе сумматора 36 и на пятом выходе блока 19 обработки формируется значение готовности информации перемещения изделия, через определенную длительность запаздыва

HHSi

$5 с, (6)

1-- 5b где c, - задержка вычислений для !

i-ão узла, Длительность С а задержки конца локального опроса генератора 6 пило- 20 образного напряжения задается в узле

23 задержки сброса и выбирается из условия

" а 0 "ъап

Блок 9 фазового управления рабо- 25 тает следующим образом (фиг. 3) .

После установки счетчика 37 сдвига ,,фазы в исходное состояние, при включении питания устройства и при окон» чании процесса усреднения (по прихо- 30 ду на второй его вход, являющийся третьим входом блока 9 фазового сдви га импульса с второго выхода блока.

20 усреднения) он считает количество импульсов, соответствующее количеству локальных опросов сканистора, поступающих на его первый вход. В каждый последующий локальный опрос состояние счетчика 37 сдвига фазы меняется на единицу, а его состояние. с помощью дешифратора 38 сдвига преобразуется так, что на одном из выходов дешифратора 38 сдвига появляется ком» мутирующий сигнал, который поступа.ет в узел 39 состояний, который коммутирует на свой выход соответствующий вход, который определяет соответствующий фазовый сдвиг частоте модуля» ции световых потоков, Фазовый сдвиг формируется с помощью дешифратора 5р

40 фазы и счетчика 41 тактовых им" пульсов. Выход узла 39 состояний яв.ляется вторым выходом блока 9 фазового управления, а также соединен со счетчикоьг.нормалиэатором 42, который 55 преобразует приходящий сигнал в пониженную частоту со скважностью, равной двум, выход которого является первым выходом блока 9 фазового уп-, 4 12 равления и подключен к излучателю 2, а .также подключен к входу фазовра щателя 43, выход которого является третьим выходом блока 9 фазового уп-. равления и определяет частоту синхронизации первого фазового детектора !

5, Фазовращатель. 43 служит для сдвига фазы частоты синхронизации фаэового детектора 15 на величину задержки информационного видеосигнала излуча». теля 2 во время опроса сканистора 4 и задержки колебательного контура 11.

Блок 10 управления световыми калибровочными потоками (фиг.4) работает следующим образом, Сдвиговый регистр 44 устанавливается в исходное состояние при включении питания устройства и при окончании процесса усреднения - по при ходу на его первый вход импульса с второго выхода блока 20 усреднения.

На первом выходе сдвигового регистра

44 .появляется коммутирующий сигнал, который разрешает работу первой схеме С согласования, при этом включается первая триада формирователей калибровочных световых потоков Ф, Фг Ф 5 Идет последу щий опрос сканйстора 4 (фиг,5а). Импульсы, прихо дящие на второй вход сдвигового регистра 44, организуют сдвиг в сдвиговом регистре 44 так, что количество (j) пришедших импульсов соответст вует j-му выходу, на котором появляется коммутирующий сигнал, разрешающий работу Cj òîé схеме согласования, при этом включается j-я триада форми рователей калибровочных световых

IIoToKoB Ф > Ф1» 3 j+ ° HpeT локаль» ный опрос сканистора, охватывающий проекцию Ф1, Ф +1, Ф. световых потоков на фоточувствительной поверхности сканистора 4, Причем, видеосигнал излучателя 2 находится в до пуске, Импульсы, приходящие на третий вход сдвигового регистра 44, организуют сдвиг так, что количество (а) пришедших импульсов соответствует (j-а)-му выходу сдвигового регистра 44, на котором появляется ком» мутирующий сигнал, разрешающий рабо ту C(j-а)-й схеме согласования, при этом включается (1-а)-я триада фор» мирователей калибровочных потоков (1-а) (-а) и * ()- 1+2 следу щии локальный опрос всегда охватыва ет ту фоточувствительную поверхность сканистора 4, на которой спроециро

}3

15 вана последующая триада световых потоков, при условии, что видеосигнал излучателя 2 находится в допуске, Частота триады модуляции калибровочных свеговых потоков задается делителем нормализатором 45 частоты, который формирует на первом, втором и третьем своем выходе различные сигна лы по частоте с скважноетью, равной двум, поступающие соответственно на второй, третий, четвертый вход каж дой схемы согласования и на первый, второй, третий фазовращатели 46-48 °

Функции фаэовращателей аналогичны фазовращателю 43 в блоке 9 фазового управления и служат для сдвига фазы частоты синхронизации фазовых детекторов 16-18 на величину задержки видеосигналов триады калибровочных световых потоков.

Формула изобретения

Устройство для измерения перемещений, содержащее сканистор, источник смещения, генератор пилообразного на» пряжения, тактовый генератор высокой частоты, первый фильтр, выполненный в виде последовательно соединенных резистора и колебательного контура, выход генератора пилообразного напряжения соединен с вторым эмиттером сканистора и через источник смещения с первым эмиттером сканистора, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений медленно изменяющихся процессов, оно снабжено излучателем, предназначен» ным для установки на объекте измерения, и оптической системой, оптически связанными с фоточувствительной поверхностью сканистора, вторым, третьим и четвертым фильтрами, выполненными в виде последовательно соединенных соответствующих резисто» ров и колебательных контуров, первым, вторым, третьим и четвертым фа эовыми детекторами, первые входы ко торых соединены соответственно с выходами первого, второго, третьего и четвертого фильтров, входы которых соединены с коллектором сканистора, блоком обработки, первый, второй, третий и четвертый выход которого

89054 14 соединены соответственно с выходами первого, второго, третьего и четвертого фазовых детекторов, блоком управления калибровочными световыми потоками, первый, вторей и третий выходы которого соединены соответственно с вторыми входами второго, третьего и четвертого фазовых детекторов, второй и третий входы соединены соответственно с вторым и третьим выходами блока обработки, блоком фазового управления, nepsbN выход которого соединен с входом излучателя, второй выход соединен с первым входом блока управления калибровочными световыми потоками, третий выход соединен с вторым вхо дом первого фазового детектора, пер20 вый вход соединен с третьим выходом тактового гевератора, блоком управления генератором пилообразного напряжения, выход которого соединен с входом генератора пилообразного напряжения и пятым входом блока обработки, первый вход соединен с первым выходом тактового генератора, второй вход соединен с первым выходом блока обработки и вторым входом блока фазового управления, блоком регистрации, первый вход которого соединен с первым выходом блока. усреднения, второй .вход соединен с третьими входами блока управления генератором пилообразного напряжения и блока фазового управления,четвертым входом блока управления калибровочными cBeToBblHH потоками и вторым выходом блока усреднения,и N формирователями калибровочных световых потоков, жестко закрепленных на корпусе сканистора, оптически связанных с поверхностью сканистора и образующих последовательный геометрический растр вдоль поверхности сканистора, четвертый и пятый выходы блока обработки соеди» иены соответственно с первьпк и вторым входами блока, шестой вход усред нения соединен с вторым выходом тактового генератора, N выходов блока управления световыми калибровочными потоками от 4-х до N+4 соединены соответственно с входами N формирователей калибровочных световых потоков, 1589054

1589056

1589054

Составитель С. Конюхов

Техред М.Дидык Корректор Т,Палии

Редактор Т,ПарФенова

Заказ 2530 Тираж 485 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101