Сорбционный элемент вакуумного насоса

Авторы патента:

F04B37/04 - выбор абсорбционных или адсорбционных материалов

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбциониого элемента. На подложке (П) при помощи связующего материала , включающего термопластичный клей (К) и металлический порошок (МП), закрепл9ется адсорбент (А), При этом коэффициент термического расширения (КТР) МП превышает КТР П. но меньше КТР К. Это обеспечивает равномерность усадки слоя К и МП в процессе охлаждения, а также возникновение транспортных микротрещин между гранулами А и К, рблегчающих доступ молекул газа к блокированным К порам А. 1 ил,

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)с F 04 В 37/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 15.09.91. Бюл. 1 18 (21) 4408639/29 (22) 11.04.88 (72) Л.С, Гуревич, В,В. Петровский и А.В. Пустовойт (53) 621.528,3(088.8) (56) Патент ФРГ N 2516286, кл. В 01 J1/22,,опублик.1976. (54) СОРБЦИОННЫЙ ЭЛЕМЕНТ ВАКУУМНОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбционного элемента. На

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к элементам конструкции адсорбционных вакуумных насосов.

Цель изобретения вЂ” улучшение откачных характеристик сорбционно о элемента.

На чертеже представлена схема сорбционного элемента.

Сорбционный элемент вакуумного насоса содержит подложку 1 и закрепленный на ней при помощи слоя связующего материала адсорбент 2.

Связующий материал выполнен в виде смеси термопластичного клея 3 и мелкодисперсного металлического порошка 4, причем коэффициент термического расширения металлического порошка 4 превышает коэффициент термического расширения материала подложки 1, но меньше коэффициента термического расширения клея 3.

Элемент работает следующим образом.

При охлаждении подложки 1, напрймер, жидким криоагентом происходит охлаждение клея 3 с металлическим порошком 4 и адсорбента 2. Понижение температуры адсообента 2 аедет к поглощению им молекул. 5U, 1595100 А1 подложке (П) при помощи связующего материала, включающего термопластичный клей (К) и металлический порошок (МП), закрепляется адсорбент (А). При этом коэффициент термического расширения (KTP) МП превышает КТР П. но меньше KTP К. Это обеспечивает равномерность усадки слоя К и МП в процессе охлаждения, а также вдзникновение транспортных микротрещин между гранулами А и К, облегчающих доступ молекул газа к блокированным К порам А.

1 ил. газа из окружающего элемент объема. Соотношение. коэффициентов термического расширения подложки 1, клея 3 и металлического порошка 4 приводит к тому, что слой связующего материаля при охлаждении сжимается достя-.n÷íï „, вномерно без возникновения больших термических напряжений, которые могли бы привести к возникновению в его объеме трещин, сжимающих эффективную теплопроводность слоя.

В то же время на границе клея с гранулами адсорбента 2 возникают наибольшие напряжения, которые приводят к частичному отслаиванию клея 3 и образованию микротрещин, через кОторые откачиваемый газ может поступать кранее блокированным порам. В результате наиболее полно используются поглотительные способности адсорбента.

Использование термопластичного клея обеспечивает хорошую восстанавииваемость связующего материала и ликвидацию микротрещин при отогреве элемента.

Формула изобретения

Сорбционный элемент вакуумного насоса, содержащий подложку и закрепленный на ней при помощи слоя связующего

1595100

l 1

Составитель В.Кряковкин

Редактор М.Кузнецова Техред М,Моргентал . Корректор M.Ñàìáoðñêàÿ

Ф Заказ 2446 " Тираж )бу Подписное

ВНИИПИ ГЬСударственноФ комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

- Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 материала адсорбент, î t л и ч à е l4 и и с я тем, что, с целью улучшения откачных харак.теристик, связующий материал выполнен в виде смеси термопластичного клея и мелкодисперстного металлического порош=

Ф ка, причем коэффициент термического расширения последнего превышает коэффициент термического расширения материала подложки, но меньше коэффиЦиента терми5 ческого расширения клея.

Вакуумный насос // 1463956

Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса // 1333835

Изобретение относится к вакуумной технике

Способ изготовления криосорбционного элемента // 1320505

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет новысить технологичность и экономичность изготовления криосорбционного элемента, а также улучшить его откачные характеристики

Вакуумный химический поглотитель водорода // 1208304

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса // 1089293

Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса // 1059249

Способ изготовления сорбирующего элемента // 929885

Способ изготовления сорбирующегоэлемента // 817307

Сорбционный элемент вакуумного насоса // 659785

Геттерный насос // 2199027

Способ увеличения производительности процессов осаждения тонких пленок на подложку // 2240377

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок

Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления // 2253695

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом

Адсорбционный элемент вакуумного насоса и способ его изготовления // 2016232

Вакуумное перегрузочное устройство // 1652272

Изобретение относится к перегрузочному оборудованию и предназначено преимущественно , для погрузочных манипуляторов с гидравлическим приводом и вакуумным захватным органом

Вакуумный насос // 1684224

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к насосам для создания вакуума, и может быть использовано в грузозахватных вакуумных устройствах

Спеченный неиспаряющийся геттер // 2513563

Изобретение относится к газопоглощающим материалам, в частности к спеченным неиспаряющимся геттерам, и может быть использовано в вакуумной технике и микроэлектронике, в частности в разрядных приборах. Спеченный неиспаряющийся геттер содержит три слоя, при этом первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан - ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30, второй слой - из смеси упомянутого порошка сплава и интеркалированного углерода при их соотношении, вес.%, (80:20)-(99:1), толщина первого и третьего слоя составляет 20-200 среднего размера порошка сплава, толщина второго слоя составляет 1-6 толщины первого или третьего слоя, активная площадь слоев эквивалентна геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения, при этом пористостью спеченного геттера составляет 30-60%. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности. 6 пр., 1 табл., 1 ил.

Способ изготовления неиспаряемого геттера // 2620234

Изобретение относится к изготовлению неиспаряемого геттера. Формируют слои материала из первого порошка титан-ванадий, имеющего среднеарифметический размер гранул не более 70 мкм, и второго порошка – из смеси первого порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода. Засыпают в пресс-форму последовательно порошок титан-ванадий, порошок из смеси порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода и порошок титан-ванадий. Затем осуществляют прессование заготовки при давлении 100-1000 кг/см2 и спекание заготовки в вакуумной печи при температуре 900-990°С в течение (1,8-3,6)×103 с, охлаждают до комнатной температуры, вынимают полученную заготовку из вакуумной печи. Лицевую и обратную наружные поверхности заготовки облучают лазерным излучением, например посредством лазера СО2, в инертной атмосфере гелия или аргона с получением части наружной поверхности с открытой пористостью и сплавной части наружной поверхности. Обеспечивается повышение качества неиспаряемого геттера путем снижения его осыпаемости, повышения сорбционных свойств и механической прочности. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 6 пр.