Датчик давления

 

Изобретение предназначено для измерения давления с повышенной точностью за счет уменьшения температурной погрешности. В датчике ни одна из трех пластин корпуса 2 не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширения. Для этого давление в обе полости преобразователя подается через полые кварцевые стойки 4, а пластины корпуса и мембрана 1 также выполнены из кварца. 1 ил.

СОК>з СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИ)(РЕСПУБЛИК (51)5 С 01 L 9/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

Н А ВТОРСКОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 . (21) 4303812/24-10 (22) 16.06.87 (46) 07. 10. 90. Бюл. N - 37 (71) Институт физики Земли им.О.Ю.Шмидта (72) В.А.Малугин (53) 53 1.787 (088.8) (56) Приборы и системы управления, 1977, Р 9, с.42-43. (57) Изобретение предназначено для измерения давления с повышенной точностью за счет уменьшения температурной погрешности. В датчике ни одна из трех пластин корпуса 2 не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширения. Для этого давление в обе полости преобразователя подается через полые кварцевые стойки 4, а пластины корпуса и мембрана 1 также выполнены из кварца. 1 ил..1597627

Формула изобретения

Составитель О.Слюсарев

Техред М. Ходанич

Корректор Т.Малец

P еда кт ор E. Папп

Заказ 3044 Тираж 466 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Гагарина,101

Изобретение относится к приборам для геофизических измерений, а именно к датчикам давления с емкостным преобразователем.

Цель изобретения — повышение точности измерений за счет уменьшения температурной погрешности.

На чертеже изображен датчик давления. 10

Датчик имеет кварцевую мембрану 1, неподвижные кварцевые пластины 2, вьпппифованные кольцевые углубления

3, полые кварцевые стойки 4, герметик

5, места 6 крепления кварцевых стоек.

Емкостной преобразователь выполнен в виде трех пластин, сделанных иэ кварцевого стекла одной цилиндри« ческой заготовки, что позволяет избежать существующих небольших вари-; аций в коэффициентах линейного расширения различных заготовок. Центральная пластина является мембраной 1 и полностью посеребрена. Крайние пластины 2 неподвижны. В них вьпплифованы углубления и просверлены по два отверстия. Вокруг отверстия каждой пластины вышлифованы кольцевые углуб. ления 3 с тем, чтобы к образовавшимся выступам можно было приварить кварцевые стойки 4. Отверстия, в которые вжигается серебро для электрического вывода, герметизируется герметиком 5. Полые кварцевые стойки герметично вставляются (через прокладки из вакуумной резины или посредством клапанного,механизма) в отверстия стенки объекта. Через них передается давление в обе полости преобразователя; на кварцевых стойках держится вся конструкция преобразователя.

Датчик давления работает следующим образом.

При подаче давления в измерительную камеру мембрана 1 прогибается, что приводит к изменению емкости.

По изменению емкости судят о давлеI нии.

Преимущество датчика достигается тем, что ни одна из трех пластин корпуса не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширения.

Датчик давления, содержащий корпус, выполненный из двух кварцевых пластин с выемками, кварцевую мембрану с подвижным электродом, разделяющую корпус на измерительную и опорную камеры, и неподвижные электроды,. закрепленные на корпусе напротив подвижного электрода, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности эа счет уменьшения температурной погрешности, в него введены две полые кварцевые стойки, причем первая кварцевая стойка скреплена. с одной пластиной и сообщена своей полостью с измерительной камерой, а вторая стойка расположена симметрично первой, скреплена с другой пластиной и сообщена своей полостью с опорной камерой, причем пластины и мембрана выполнены из кварца с одинаковым коэффициентом температурного расширения.