Способ контроля качества поверхности оптических деталей

 

Изобретение относится к контролю качества поверхности оптических деталей. Цель изобретения - повышение точности контроля. Эталонную пластину 1 приводят в контакт с контролируемой деталью 5 и анализируют отраженное монохроматическое излучение 8, прошедшее сквозь слой диэлектрика 3, обладающего эффектом Штарка и помещенного между деталью 5 и эталонной пластиной 1, на контактирующие поверхности которых нанесены электропроводящие слои 4 и 2. При создании разности потенциалов между электропроводящими слоями величина интенсивности отраженного излучения 8 изменяется в зависимости от величины электрического поля в слое диэлектрика 3. Наличие дефекта контролируемой поверхности приводит к уменьшению величины электрического поля. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (g1)g С 01 М 11/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H д ВТОРСН0МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО H305PETEHHRM И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4457744/24-10 (22) 11 .07. 88 (46) 07.10.90., Бюл. N> 37 (72) Ю.И. Дымшиц, С.П.Палто и С.Г.10дин (53) 535.81 8(088.8) (5б) Креопалова Г.В., Лазарева Н.Д., Пуряев Д.Т. Оптические измерения.—

M.: Машиностроение, 1987. (54) СПОСОБ КОНТРОДЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХ НОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к контролю качества поверхности оптических, деталей. Цель изобретения — повышение точности контроля, Эталонную пластину 1 приводят в контакт с контролируе„„SU» 1 97657 А1

2 мой деталью 5 и анализируют отраженное монохроматическое излу:.-ние 8, прошедшее сквозь слой диэлектрика 3 обладающего эффектом Штарка и помещенного между деталью 5 и эталонной пластиной 1, на контактирующие поверхности которых нанесены электропровб дящие слои 4 и 2. При создании разности потенциалов между электропроводящими слоями величина интенсивности отраженного излучения 8 изменяется в зависимости от величины электрического поля в слое диэлектрика 3. Наличие дефекта контролируемой поверхности приводит к уменьшению величины электрического поля. 1 з,п. ф-лы, 1 ил.

1597657

Изобретение относится к контролю качества поверхности оптических деталей и может быть использовано при из" готовлении оптических деталей.

Цель изобретения — повышение точности контроля, Иа чертеже дано устройство для реализации предлагаемого способа.

Устройство содержит образцовую 10 прозрачную пластину 1 (пробное стекло), на его контактную поверхность последовательно нанесены прозрачньй электрод 2 и лэнгмюровская планка

3, например, антрахинового красителя. 15

На-исследуемую поверхность детали

5 нанесены отражающий электропроводящий слой 4. Источник б служит для освещения контакта. его излучение 8 монохроматизируется узкополосным 20 фильтром 7 и после отражения от поверхности детали (от слоя 4) направляется на вход сканирующего фотоприемника 9 (например, ФЭУ).

С помощью предлагаемого устройства предлагаемый способ контроля реализуется следующим образом.

При подаче напряжения на электропроводящие слои 2 и 4 в диэлектрическом слое 3 создается электрическое 30 поле. Вследствие этого узкая спектральная полоса (или линия) поглощения испытывает смещение (эффект

Штарка). При освещении диэлектрика

3 монохроматическим излучением 8 от источника 5 интенсивность луча, про-, шедшего сквозь слой 3, изменяется, а вследствие отражения от контролируемой поверхности проходит сквозь слой

3 дважды. Изменение интенсивности луча 8.зависит от величины штарковского смещения полосы поглощения, которое определяется значением электрического поля в диэлектрике.

Если поверхность детали 5 не имеет 15 дефектов, то величина электрического поля в диэлектрике 3 и изменение интенсивности отраженного излучения определяются только толщиной слоя 3 и являются постоянными по всей области контакта детали 5 и образцовой пластины 1.

При наличии дефекта на поверхности детали 5 между слоем 3 и электродом 4 появляется воздушный зазор и при неизменной разности потенциалов между электродами 2 и 4 локальные значения электрического поля в диэлектрике 3 уменьшаются, что приводит к уменьшению величины штарковского смещения полосы поглощения, иной оказывается локальная интенсивность отраженного излучения 8. В отраженном свете поверхность представляется освещенной неравномерно. Сканируя поверхность с помощью фотоприемника 9, измеряют распределение освещенности в области контакта и на основе полученных данных устанавливают форму и размеры дефектов на поверхности детали.

Формул а и з о б р е т е н и я

1.Способ контроля качества поверхности оптических деталей, заключающийся в том, что контролируемую поверхность приводят в контакт с эталонной поверхность ю прозрачной. пластины и, облучал область контакта, анализируют пространственное распределение интенсивности отраженного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, на исследуемую и на эталонную поверхности предварительно наносят электропроводящие слои, создают между ними разность потенциалов, а между контролируемой и эталонной поверхностями помещают слой диэлектрика, обладающего эффектом Штарка.

2.Способ по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что диэлектрический слой выполнен в виде лэнгмюровской пленки органического соединения.

Составитель А.Тулубенский

Техред Л,Олнйньи Корректор С.Черни

Редактор E.Папп

Тираж 437

Заказ 3045

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113И5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101