Патент ссср 163508

Авторы патента:

H01L43/06 - приборы с использованием эффекта Холла

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

COlLИАЛИСТИЧЕСКИХ

Р ЕСПУ liAN К

ОПИСАНИЕ

И ЗОБ РЕТЕНИ.Я

K АВТОРСКОМУ СВИ,АЕТЕЛЬСГВУ № 163508

Класс

74b, 8вв ф

Ю 1

l ====

МПК

G 08c

Заявлено 29.1Ч.1963 (№ 833763/26-10) ГОСУДАРСТВЕ H Н Ы И

КО1 4ИТЕТ ПО Е7 А1 1

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ

СССР

Опубликовано 22.VI.1964. Бюллетень № 12

УДК

Подписная группа № 157

И. Л. Герловин

ГАЛЬВАНОМАГНИТНЫЙ ДАТЧИК

1 иках, ного датчика позволяет умбкыыить. величину ские напряжения неэквипотенциальности на холичи- ловских электродах соответствующим выбоекта ром ЭДС обоих источников или включением в одну из токовых цепей специальной нагрузизве- . ки. оже- При использовании универсального гальваХол- номагнитного датчика как датчика магнитор по сопротивления закорачиванием холловскнх т из- электродов можно уменьшить или полностью ского снять отрицательное влияние поля Холла. Эффект магнитосопротивления может быть увееди- личен, если на электроды Холла от регулирудат- емого источника питания подать большой нито- сигнал противо-ЭДС. няет- При условии, что в обе токовые цепи встречируе- но включены источники тока, ЭДС Холла можно свести к нулю без непосредственной хема регулировки в самой цепи Холла, что позвогаль- ляет увеличить суммарный эффект магнитоены: сопротивления. токо- Универсальный гальваномагнитный датчик к пи- используемый как гиратор, имеет соответствуе эк- ющее соотношение размеров и схемы коммутаций токовых и холловских электродов.

УНИВЕРСАЛЬНЫЙ

В известных гальваномагнитных датч содержащих плоские токовые и холлов электроды, наблюдается уменьшение вел ны холловского напряжения за счет эфф закорачивания токовых электродов.

Предлагаемый датчик отличается от стных тем, что токовые электроды распол ны вдоль эквипотенциальных линий поля ла или под острым углом к ним, наприме ребрам плоского датчика, что позволяе бежать эффекта закорачивания холлов напряжения.

Для использования одного и того же ничного гальваномагнитного датчика как чика ЭДС Холла, или как датчика маг сопротивления, или как гиратора приме ся коммутирующее устройство и регул мый источник питания.

На чертеже дана принципиальная с включения единичного универсального ваномагнитного датчика; на ней обознач сам датчик 1, холловские электроды 2, вые электроды 8, регулируемый источни тания 4, фигурные вырезы 5, направлени випотенциальных линий поля Холла б.

Для использования универсального гальваномагнитного датчика в качестве датчика

ЭДС Холла используется обычное включение, когда через попарно закороченные токовые электроды пропускается управляющий ток, а с холловских электродов снимается холловское напряжение.

Дополнительное питание раздельных токовых цепей универсального гальваномагнитПредмет изобретения

1. Универсальный гальваномагнитный датчик, содержащий плоские токовые и холловские электроды, точечность контакта которых сбеспечивают перемычки в теле датчика, отл нч аю щийс я тем, что, с целью уменьшения эффекта закорачивания холловского на№ 163508

Составитель Ю. В. Шевколович

Редактор Н. Копылова Техред Т. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина

Подп. к печ. 26/VI вЂ” 64 г. Формат бум. 60Р, 90 / Объем 0,13 изд. л.

Заказ 1666/1О Тираж 725 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2 пряжения токовыми электродами и использования одного и того же единичного гальваномагнитного датчика как датчика Э.Д.С. Холла, или как датчика магнитосопротивления, или как гиратора, токовые электроды расположены вдоль эквипотенциальных линий поля

Холла или под острым углом к ним, например по ребрам плоского датчика, а для перехода от одного используемого эффекта к другому применено коммутирующее устройство и регулируемый источник питания.

2. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что, с целью усиления используемого эффекта, холловские электроды расположены на выступах в теле датчика таким образом, чтобы электроды Холла выходили за линию токовых электродов.

3. Датчик по пп. 1 и 2, отл ич а ющий си тем, что, с целью исключения в датчике токов, не участвующих в создании Э.Д.С. Холла в режиме встречного питания, тело датчика выполнено с фигурными, например клинообразными, вырезами, разделяющими встречные токовые электроды,

Датчик магнитного поля // 2262777

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим эффект Холла

Датчик холла // 508829

Бесконтактный переключатель // 636717

Датчик магнитного поля // 680567

Бесконтактный датчик линейных перемещений // 1786545

Датчик магнитного поля // 1824659

Датчик магнитной индукции // 2490753

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным устройствам и может быть использовано как датчик магнитной индукции в составе измерительной аппаратуры и в различных системах ориентации и навигации летательных аппаратов

Микроэлектромеханический датчик магнитного поля // 2490754

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим технологию микроэлектромеханических систем

Датчик магнитного поля и способ его изготовления // 2513655

Изобретение может быть использовано для создания миниатюрных датчиков для трехосевой магнитометрии. Датчик магнитного поля содержит сенсорные узлы, реализованные на использовании эффекта Холла, которые выполнены в составе криволинейной оболочки с системой слоев. В системе слоев присутствуют восприимчивые к магнитному полю - функциональные и формообразующие. Последними обеспечена кривизна оболочки и возможность ориентации крестообразных холловских элементов сенсорных узлов в пространстве с выполнением соответствия измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. Способ изготовления датчика магнитного поля заключается в следующем. На подложке формируют многослойный пленочный элемент/элементы. При этом используют материалы, геометрию и внутренние механические напряжения, обеспечивающие ориентацию крестообразных холловских элементов сенсорных узлов в пространстве, при которой реализовано соответствие измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. На стадии формирования пленочного элемента изготавливают слои, формообразующие, механически напряженные, и функциональные, восприимчивые к магнитному полю, с холловскими контактами. Пленочный элемент отделяют от подложки, трансформируя его под действием внутренних механических напряжений в оболочку с достижением ориентации крестообразных холловских элементов в пространстве, при которой реализовано соответствие измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. Решения обеспечивают достижение точности и надежности одновременных измерений ортогональных компонент магнитного поля, а также компоненты вектора магнитного поля, отличной от перпендикулярной к плоскости датчика; повышение надежности датчика и воспроизводимости параметров датчиков. 2 н. и 22 з.п. ф-лы, 6 ил., 5 пр.