Прибор для контроля плоских оптических поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависи>1ос oT aBT. cl!111II. To;!;cTBa ¹

Кл. 42Ь, 12О;, 42h, 3411

Заявлено ОЗ.И.1963 (№ 839933/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

1ЧПК G 01Ь

G 02!I

УДК

Опубликовано 26.Х.1964. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 23.XI.!964

Авторы изобретения

Заявитель

ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ

Подписная группа № 114

Приборы для контроля плоских оптических поверхностей посредством многолучевэй интерференции известны. В них наблюдается изменение освещенности в центре интерференционной системы колец.

Предлагаемый прибор отличается тем, что, с целью повып1ения точности контроля путем измерения изменения диаметра интерференцнонных колец, в нем система наблюдения Bblполнена по схеме оптического дальномера с компенсацией, например, onTH IpcKHivl K@IHIIoli!, Прибор для контроля плоских оптических псверхностей основан на точном измерении у1лового диаметра внутреннего кольца интерференционной системы колец, образуемых при освещении протяженным источником монохроматического света проверяемых поверхностей, покрытых светоделительными слоями с высоким коэффициентом отражения и установленных параллельно одна другой.

На фиг. 1 изображен один из вариантоз оптической схемы предлагаемого прибора; на фиг. 2 — другой вариант оптической схемы прибора.

Свет от протяженного монохроматического источника 1, помещенного в фокальную плоскость объектива 2 коллиматора, освещает контролируемую и эталонную детали 8, собранные в виде эталона Фабри-Перо с точным промежуточным кольцом 4. В фокальной плоскости объектива 5, совпадающей с диафрагмой

6, образуется интерферепционная система колец. Коллиматор 7 обеспечивает телецентрический ход лучей. Свет от правой н левой частей интерференционной системы колец идет вначале различными путями (ромбические призмы О, измерительные клинья 9, объективы

10), затем изображения правой и левой частей интерференционной системы колец при по,!o10 щи зеркал 11 и светоделительной пластинки

12 совмещаются в фокальной плоскосг:I ок.ляра 18. При перемещении диафрагмы 14 изменения в промежутке между пластинками, вызываемые ошибками изготовления нли не1> параллельностью пластинок, приводят к расхождению правой и левой частей интерференционного кольца. Перемещением одного из измерительных клиньев части внутреннего кольца совмещаются. По величине перемещения

20 клина определяют изменение диаметра внутреннего интерференционного кольца и соответствующее ему изменение промежутка между проверяемыми пластинками.

Прибор позволяет также измерять измене25 ние интерференционных колец, используя стереоскопический эффект, при этом противоположные части внутреннего интерференционного кольца изображаются в плоскости сеток 15.

Сетки имеют вид узкого прямоугольного

30 окошка со штрихом в центре и могут переме165904

Предмет изобретения

9 Ю

g 10

Составитель Л, Я. Гойхман

1зсдактор Л. М. Жаворонкова Техред Л. К. Ткаченко Корректор М. П. Ромашова

Заказ 3118!14 Тирани 1075 Формат бум. 60 901/8. Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп

ЦНИИПИ Гос>дарственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 щаться вдоль длинной стороны окошка, причем величина перемещения отсчитывается t10 микрометренному винту. При наблюде1гии через окуляры 1б в поле зрения в окошках сеток видны противоположные части внутреннего интерференционного кольца. Совмещение штриха сеток и интерференционного кольца по глубине при наблюдении через окуляры осущ=сгвляе1ся перемещением сеток.

Прибор для контроля плоских оптических поверхностей посредством многолучевой интерференции, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля путем измерения диаметра интерференционных колец, в нем система наблюдения выполнена по схеме оп1ического дальномера с компенсацией, напри10 мер, оптическим клином,