Патент ссср 166761

Авторы патента:

G01R27/12 - с помощью генераторов, приводимых в действие вручную

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОИ)РСЕО;лУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ССюз Соеютсккх

СОцкалкстиче<ких

Республик

Зависимое от агт. сгидетсльства №

Кл. 21а, 71

21е, 29о

1 1оа

Заявлено 10,711.1963 (¹ 846274/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет №

Опубликовано Î1.Õ11.1964. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 25.I,1965

МПК G 01r

G Olr

Н 011 фсудар т@екиьщ комитет по делам изебретеккй и откэль,- тки

УДК

Автор изобретения

В. С. Соболев

Заявитель

УСТРОЙСЯ ВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ

УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

11одппсная группа Л 142

Известны устройства для бесконтактпого измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, содержащие измсрительный генератор, связанный с двумя колебательными контурами, в один из которых введен эталонный, а в другой вЂ” исследуемый образец, и подключенные к этим контурам измерители напряжений, соединенные со схемой сравнения. Эти устройства требуют жесткой стабилизации частоты измсрительного генератора и применения высокостабильных контуров, так как при расстройке любого пз контуров резко снижается точность измерений.

В предложенном устройстве сохранение высокой точности измерений при расстройке контуров достигнуто использованием измерительного генератора качающейся частоты и выполнением измерителей напряжений по схеме пикового вольтметра.

Схема предложенного устройства изображена на чертеже.

Генератор 1 качающейся частоты, снабженный модулятором 2, через амплитудный ограничитель 8 подключен к колебательным контурам 4 и 5. Напряжения на контурах измеряются пиковыми вольтметрами и подаются на схему сравнения, выполненную па лампе б. Для питания устройства используегся блок питания 7.

Измерение удельного сопротивления производят, вводя исследуемый образец 8 полупровод икового материала внутрь катушки или между пластинами конденсатора колебательного контура 4 и сравнивая напряжение на этом контуре с напряжением на эталонном контуре 5, в который введен образец полупроводникового материала с известной величиной удельного сопротивления. Отсчет производят по вольтметру 9, включенному па выходе схемы сравнения, шкала которого проградуирована в единицах удельного сопротивления.

Ввиду того, что при подаче на контуры 4 и 5 напряжения с изменяющейся частотой от генератора 1 сигнал одной из частот совпадает с резонансной частотой контуров. На этих контурах даже при их расстройке некоторое время будут действовать напряжения, соответству ощие напряжениям при точной настройке контуров 4 и 5 в резонанс. Такие мгновенные значения напряжений могут быть измерены пиковыми вольтметрами, если их постоянные времени будут превышать пе2 риод модуляции измерительного генератора 1.

Описанное устройство может быть использовано в автоматических установках для исследования параметров полупроводниковых

ЗО материалов.

166761

Предмет изобретения

Составитель 3. С. Крейнин

Техред A. А. Кудрявидкая Корректор T. В. Муллина

Редактор H. С. Коган

Заказ 3545/3 Тира;к 925 Формат бум. 60 (901/8 Объем О,!3 нзд. л. Цена 5 кон.

ЦНИИПИ Государстве нного комит та по дел м изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для бесконтактного измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, содержащее измерительный генератор, связанный с двумя колебательными контурами, один из которых содержит образец полупроводникового материала с известной величиной удельного сопротивления, а второй вЂ” исследуемый образец, и подключенпые к этим контурам измерители напряжений, соединенные со схемой сравнения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, в качестве измерительного генератора использован генератор качающейся частоты, а измерители напряжения выполнены по схеме пикового вольтметра с постоянной времени, превышающей период модуляции измерительного генератора.