Патент ссср 167600
Союз Советских
Социалистических республик
Зависимое OT HBT. CBkl LeTe bÑT ¹
Заявлено 30.1.1963 (№ 817111/24-6) Кл. 274 ЗО2 с присоединением з-явки №
Приоритет
Опубликовано 18.1.1965. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 10.II.1965
Государствениый комитет ло делам изобретеиий и открытий СССР
МПК Г 04д
УДК 621.521:621.384.6 (088.8) МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЪ|Й ВАКУУМНЫЙ НАСОС
Подписная групгга № 129
Известны магнитные электроразрядные вакуумные насосы, содержащие анод и распыляемый титановый катод. В них используется разряд пеннинга, в результате которого происходит внедрение ионизированного газа в катоды с одновременным распыливанием катода и сорбцией газа распыленным материалом катода на стенках анода и других поверхностях насоса. С возрастанием энергии ионов оба процесса — внедрение ионов и распыление катодов — интенсифицируются, что приводит к увеличению скорости откачки насоса.
Предлагаемый насос отличается от известных тем, что между анодом и катодом размещен сетчатый электрод, потенциал которого имеет промежуточное отрицательное значение между потенциалом анода и катода. Такое выполнение насоса позволяет увеличивать скорость откачки путем повышения энергии ионов без увеличения напряженности магнитного поля.
На чертеже изображена схема предлагаемого насоса, В насосе разряд горит в системе, ограниченной анодом 1 и сетчатым электродом 2 при анодном напряжении U и напряженности магнитного поля Н, соответствующим обычному насосу диодного типа, Поток ионов, пролетая через сетчатый катод, получает добавочную энергию в электрическом поле между сетчатым электродом 2 и распыляемым катодом 8. Энергия ионов, попадающих в катод 8, больше чем в известных насосах диодного типа на величину, соответствующую напряжению г/„между сетчатым электродом 2 и распыленным катодом 3.
Предмет изобретения
Магнитный электроразрядный вакуумный насос, содержащий анод и распыляемый титановый катод, отличающийся тем, что, с целью повышения энергии ионов и увеличения скорости откачки насоса, между анодом и катодом размещен сетчатый электрод, потенциал которого имеет промежуточное отрицательное значение между потенциалом анода и катода.
Составитель T. Рабчук
Редактор А. И. Байнова Техред А. А. Кудрявицкая Корректор О. Б. Тюрина
Заказ 3!18 Тираж 700 Формат бум. 60 X 90 /s Объем О,1 изд. л. Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Гссудагс-.венного комитета по делам изобретений и СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.
Типография, пр. Сапунова, 2
