Пленочный датчик измерителя мощности свч

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.Ч1.1964 (№ 904890/26-9) с присоединением заявки ¹

: Приоритет

Опубликовано 17.1 I l.1965. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 12 Ч.19б5

Кл. 21а4, 71

Государственный

«омитет ло делам изобретений и открытий СССР

МПК G Olr

УДК 621.317.38(088.8) Автор изобретения

А. Е. Сергеева

Заявитель

ПЛЕНОЧНЫИ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ

Подписная группа № 89

Известна конструкция пленочного датчика измерителя мощности СВЧ, в которой пленочная термопара измеряет температуру металлического поглотителя через изоляционную,прокладку. Чувствительность такого датчика недостаточна, высокое сопротивление пленочной полупроводниковой термопары не позволяет применять в качестве измерительной мощности стрелочные приборы постоянного тока.

Предложенный пленочный датчик в отличие от известных выполнен следующим образом. На тонкую изоляционную подложку нанесен слой металла, покрытый изоляционной пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части. В месте контакта слоев образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.

На чертеже в двух проекциях изображен предложенный датчик, состоящий из изоляционной подложки 1, металлического слоя 2, изоляционной пленки 8, полупроводникового слоя 4 и электродов: металлических ветвей 5 и полупроводниковых 6. Высокоомный полупроводниковый слой выполняет роль положительных ветвей термопар, а низкоомный слой металла служит отрицательной ветвью и од5 новременно является основным поглотителем высокочастотной энергии.

Чувствительность пленочного датчика новой конструкции повышена в 40 — 80 раз по сравнению с известными, внутренее сопротив10 ление его понижено, что дает возможность применить в качестве измерителя мощности стрелочные приборы постоянного -тока.

Предмет изобретения

15 Пленочный датчик измерителя мощности

СВЧ, содержащий термопары, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, на тонкую изоляционную подложку нанесен слой металла, покрытый изоляционной

20 пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части, в месте контакта образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.

169594

Составитель Э. Фролова

Редактор H. П. Белявская Техред T. П. Курилко Корректор Ю. М. Федулова Заказ 1022/8 Тираж 1200 Формат бум. 60X90 /ц Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2