Способ получения сегнетоэлектрических пленок на диэлектрической подложке

 

Способ получения сегнетоэлектрических пленок на диэлектрической подложке, включающий нанесение на подложку слоя порошка сегнетоэлектрика и последующую термообработку, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и упрощения процесса, в качестве диэлектрической подложки используют полимерную пленку, при этом, порошок используют с размерами частиц, выбранными из соотношения d = (0,1 - 0,0025)h, где d - диаметр частиц порошка; h - толщина полимерной пленки, а термообработку осуществляют однородным скользящим по поверхности подложки разрядом с объемной энергией (2 - 3) х 10⁵ Дж/м³, числом импульсов 5 - 6, частотой следования импульсов 5 Гц и длительностью импульса не более 2 мкс.