Устройство для очистки изделий
Изобретение относится к очистке изделий в жидкостях и может быть использовано в микроэлектронике для жидкостной обработки полупроводниковых элементов. Цель изобретения - расширение технологических возможностей устройства. В устройстве на боковой поверхности рычага размещен палец, имеющий возможность периодически взаимодействовать с отверстием на боковой поверхности шестерни за счет осевого перемещения оси и рычага, причем осевое перемещение ось получает от электромагнита, размещенного на каретке. На свободном конце кронштейна имеется ролик, периодически взаимодействующий с направляющей, размещенной вдоль технологических ванн, а вращение шестерни осуществляется от привода через зубчатую передачу. 1 ил.
COlO3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
А1
„„SU„„1606210 (51)5 В 08 В 3/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АBTOPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4616781/40-12 (22) 06.12.88 (46) 15.11.90. Бюл. №.42 (72) Ю. 3. Метельский, Я. И. Кутный и И. В. Качор (53) 621 .314.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1340827, кл. В 08 В 3/04, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к очистке изделий в жидкостях и может быть использовано в микроэлектронике для жидкостной обработки полупроводниковых элементов. Цель
Изобретение относится к очистке изделий в жидкостях и может быть использовано в радиоэлектронике для очистки полупроводниковых элементов.
Цель изобретения — расширение технологических возможностей устройства.
На чертеже изображено устройство для очистки изделий.
Устройство содержит камеру 1, размещенные в ней технологические ванны 2, каретку 3 гбризонтального перемещения с приводом 4, шестерню 5, размещенную в опорах вращения каретки 3 и взаимодействующую с зубчатой рейкой 6, причем кинематическая связь шестерни 5 с приводом 4 осуществляется зубчатой передачей 7, опорные ролики 8 каретки на направляющей 9, ось 10, свободно сидящую в осевом отверстии шестерни 5, на конце которой шарнирно закреплен рычаг 11 с пальцем 12, периодически взаимодействующий с отверстием 13 шестерни 5. К рычагу 11 жестко крепится кронштейн 14, на котором шарнирно закреплена кассета 15 с обрабатываемым материалом, а на свободном конце кронштейна 14 кре2 изобретения — расширение технологических возможностей устройства. В устройстве на боковой поверхности рычага размещен палец, имеющий возможность периодически взаимодействовать с отверстием на боковой поверхности шестерни за счет осевого перемещения оси и рычага, причем осевое перемещение ось получает от электромагнита, размещенного на каретке. На свободном конце кронштейна имеется ролик, периодически взаимодействующий с направляющей, размещенной вдоль технологических ванн, а вращение шестерни осуществляется от привода через зубчатую передачу. 1 ил. пится поддерживающий ролик 16, периодически опирающийся на направляющую 17.
Осевое перемещение оси 10 осуществляется электромагнитом 18 в одном направлении и пружиной 19 в обратном.
Устройство работает следующим образом.
Кассету 15 с обрабатываемым материалом крепят на кронштейне 14 и включают привод 4. При этом вращение через передачу 7 передается на шестерню 5 и каретка получает горизонтальное перемещение, а рычаг 11 — круговое. Таким образом, кассета 15 перемещается в первую ванну 2. В нижнем положении кассеты 15 привод 4 выключается и происходит обработка изделий. 3атем привод 4 включается и кассета 15 выходит из ванны.
В зависимости от программы, возможна обработка в следущей ванне или же перенос кассеты 15 через очередные ванны и опускание ее в нужную. В этом случае при выходе кассеты 15 из ванны, когда опорный ролик 16 занимает положение выше направляющей 17, включается электромагнит 18 и шток
1606210
Формула изобретения
Составитель А. Юодакин
Техрсд А. Кравчук Корректор И. Муска
Тираж 508 !lодниснос
Г> д;>к>ч>р И. Касарда
:1,».;I > !51 >
1.! !11!11!И Государственного комитета но изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
11р»изводствснно-издательский комбинат «!1атент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 перемещает ось 10 вправо, выводя рычаг 11 из зацепления с шестерней 5 посредством выхода пальца 12 из отверстия 13, что ведет к опусканию ролика 16 на направляющую 17.
Далее кассета 15 движется только горизонтально. Если необходимо вновь опустить кассету 15 в ванну, происходит сцепление шестерни 5 и рычага 11 под действием пружины 19. Если же необходимо пропустить очередную ванну, то электромагнит срабатывает и кассета 15 движется горизонтально.
Устройство для очистки изделий, содержащее камеру с последовательно размещенными в ней технологическими ваннами и средство для перемещения изделий вдоль ванн, имеющее каретку, установленную с возможностью перемещения вдоль ванн и несущую держатель изделий в виде рычага с кронштейном, соединенным с кареткой посредством приводной оси, несущей шестерню, взаимодействующую с зубчатой рейкой, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, оно имеет электромагнит, взаимодействующий с при"О водной осью, и направляющую, размещенную вдоль ванн, при этом приводная ось подпружинена и установлена с возможностью перемещения в осевом направлении вместе с рычагом, который снабжен фиксирующим
15 пальцем, шестерня имеет прорезь для размещения пальца, а кронштейн несет ролик для взаимодействия с направляющей.
