Способ измерения величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхностями
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении. Целью изобретения является обеспечение возможности измерения величины зазора меньше длины волны и повышение точности измерений. Освещают поверхности, между которыми измеряют зазор, пучком монохроматического плоскополяризованного излучения, плоскость поляризации которого составляет угол φ/4 с плоскостью падения. Изменяя угол падения и одновременно регистрируя сдвиг фаз между P-и S-компонентами, определяют угол φ<SP POS="POST">*</SP>, при котором начинает изменяться сдвиг фаз, после этого освещают под углом φ<SP POS="POST">*</SP>(φ<SB POS="POST">O</SB>*98ф<SP POS="POST">*</SP>*98п/2), регистрируют сдвиг фаз ξ и по полученным данным рассчитывают величину зазора.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
А1 (5!, -5 .1 01 Б 7 02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕЛ!".НИЯ
H A ВТОРСНОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКР!,!ТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4446762/24-28 (22) 11.04.88 (46) 07. 12.90. 1мол. № 4(72) В. H. Антонюк, И. Н. Дмитрук, В. H. Поляков и В. К Р"зунков (53) 53!.717.1(088.8) (56) ОНП, 1982, ¹ 1. с. 18 — 20. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕ:;-1ИЯ ВЕЛИЧИНЫ
ЗАЗОРА МЕЖДУ П РОЗРАЧ НЫМИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ ПОВЕРХНОСТЯМИ (57) Изобретеш,е относится к контрольноизмерительной технике,1 монист быть HcH0Jlbзовано в оптическом риборостроении.
Целью изобретения является обеспечение воз
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в опти - еском приборостроении.
Целью изобретения является обеспечение возможности измерения величины зазора меньше длины волны и повышение точности измерений. !
Способ осуществляется следующим образом.
Пучок монохроматичес".îãо поляризованного излучения на«рагляют на поверхности, между которыми измсряют зазор. Попяризацию освещающего пучка ориентиру от под углом n/4 к плоскости падения. Регистрируют отражение излучения и, одновременно изменяя угол падения пучка и фиксируя .величину сдвига фаз между Р- и S-компо-. нентами, определяют угол (pg, i:ри достижении которого начинает происходвть изменение сдвига фаз с изменением угла падения осве- щающего пучка.
Рассчитывают vo полученным данным показатель п1 преломления диэлектрика. После этого освещают поверхность под углом q>*, удовлетворяющим соотношению т1 (р*(п/2, и при этом угле сопротивления величину сдвига фаз между P- и 8-компонентами. За„„РЯ„„ 1612201 можнл:ти измерения величины зазора меньше длины волны и повышение точности измерений. Освещают поверхности, между которыми измеряют зазор, пучком монохроматическо "0 плосьополяризованного излучения, плоскость поляризации которого составляет угол и/4 с плоскостью падения. Изменяя угол падения и одновременно регистрируя сдвиг фаз между Р- и S-компонентами, определяют угол *, при котором начинает изменяться сдвиг фаз, после этого освещают под углом q (q;n(q. (л/2), регистрируют сдвиг фаз и по полученным данным рассчитывают величину зазора. тем по полученным значениям п ь (p и g no номограмме определяют величину зазора, Формула изобретения
Способ измерения величины зазора меж. ду прозрачными диэлектрическими поверхностями, заключающийся в том, что освещают зазор пучком монохроматического излучения под углом к поверхности и регистрируют отраженное излучение, по параметру которого судят о величине зазора, отличаюи ийеятем. что, с целью обеспечения возможности измерения зазора меньше длины волны и повышения точности, освещение осуществляют пучком с плоскостью поляризации, ориентированной под углом л/4 к плоскости
- падения, при освещении поверхности одновременно изменяют угол падения пучка излучения и регистрируют сдвиг фаз между P- u S компонентами отраженного излучения, фиксируют значение угла q>o, при котором возникает изменение Сдвига фаз, и фиксируют направление освещения под углом q*, удовлетворяющим соотношению qg((p*(Jx/2, а в качестве параметра излучения, по которому судят о величине зазора, используют сдвиг фаз между Р- и S-компонентами.
