Кассета для плоских изделий

 

Изобретение относится к транспортировке, упаковке и хранению плоских изделий, в частности к полупроводниковому производству, и может быть использовано при групповой обработке полупроводниковых пластин. Целью изобретения является исключение повреждения изделий. Кассета 1 включает боковые 2 и торцовые 3 стенки. При этом на одной торцовой стороне каждой из боковых стенок 2 выполнены пазы 8, а на другой - зубья 9, боковые стороны которых расположены параллельно между собой и торцовым стенкам 3. На боковых стенках 2 со стороны зубьев выполнены сквозные пазы 10 ориентации начального и конечного положений кассеты. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51)5 В 65 D 1 34, 83 08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНЩ

Н AВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4337955/30-13 (22) 07.12.87. (46) 15.12.90. Бюл. № 46 (72) А.Ф. Музыкант и А.В. Романов (53) 621.798 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 605754, кл. В 65 D 83/08, 1976. (54) КАССЕТА ДЛЯ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛ1 Я (57) Изобретение относится к транспортировке, упако . е и хранению плоских изделий, в частности к полупроводниковому

Изобретение относится к транспортировке, упаковке и хранению плоских изделий, в частности к полупроводниковому производству, и можс.г быть и "пользовано при

r-, пповой обработке полупроводниковых пластин.

На фиг. 1 показана кассета, общий вид; на фиг. 2 — то же, во время работы.

Целью изобретения является исключение повреждения пластин при автоматической загрузке-выгрузке их.

Кассета включает боковые 2 и торцовые 3 стенки. Торцовая верхняя стенка содержит элемент 4 крепления кассеты и ориентирования ее в загрузочно-разгрузочном устройстве, включающем подвижный стол 5, механизм подачи стола 6 и транспортирующее устройство 7.

Боковые стенки 2 выполнены с пазами

8 для пластин, соответственно которым выполнены зубья 9 для управления загрузочно-разгрузочным устройством, боковые стороны которых расположены параллельно между собой и торцовым стенкам, шаг зубьев равен шагу пазов пластин. Для ориентации

„„SU„„1613386 производству, и может быть использовано при групповой обработке полупроводниковых пластин. Целью изобретения является исключение повреждения изделий. Кассета 1 включает боковые 2 и торцовые 3 стенки.

При этом на одной торцовой стороне каждой из боковых стенок 2 выполнены пазы

8, а на другой — зубья 9, боковые стороны которых расположены параллельно между собой и торцовым стенкам 3. На боковых стенках 2 со стороны зубьев выполнены сквозные пазы 10 ориентации начального и конечного положений кассеты. 2 ил. начального и конечного положения кассеты служат сквозные пазы 10, выполненные на боковых стенках со стороны зубьев 9.

Датчик 11 установлен на столе 5, а датчики 12 — 4 — на станине 15.

Кассета используется следующим образом.

Кассету устанавливают на подвижный столик 5, о ее наличии информация с датчика 11, установленного на столе 5, поступает в систему управления, которая выдает сигнал для установки кассеты в начальное положение по отношению к транспортеру 7.

При соответствии этого положения, и. нтролируемого с помощью датчика 12, система управления выдает сигнал на перемешение кассеты соответственно на шаг. При перемещении кассеты на шаг срабатывает датчик шага 13, снимающий информацию с пазов

8, после чего пластина выгружается на транспортер 7. Поскольку положение кассеты контролируется с помощью датчика шага

13 через зубья 9, выполненные строго соответственно пазам 8, то исключается повреж1613386 дение пластин. Кассета перемещается на следующий шаг, цикл повторяется до полной выгрузки кассеты. При верхнем (конечном) положении кассеты срабатывает датчик положения кассеты 14, информация с этого датчика поступает в блок управления, который выдает команду на прекращение работы загрузочно-разгрузочного устройства.

Таким образом, предложенная конструкция кассеты может быть использована для загрузки-выгрузки пластин в автоматическом режиме, например в автоматизированной линии фотолитографии, исключая повреждение их.

Формула изобретения

Кассета для плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, включающая торцовые стенки и боковые стенки, на одной торцовой стороне каждой из которых выполнены пазы, а на другой— зубья, шаг кот ; ых равен шагу пазов, отличающаяся тем, что, с целью исключения повреждения изделий, боковые стороны зубьев расположены параллельно между собой и торцовым: стенкам, а на боковых стенках со стороны зубьев выполнены сквозные пазы ориентации начального и конечного положения кассеты.

1613386

Составитель H. Кирилловва

Редактор Н. Горват Техред А. Кравчук Корректор О. Ципле

Заказ 3862 Тираж 506 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рау шская наб., д. 4 5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 10!