Способ измерения поперечных размеров микроизделий

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля поперечных размеров длинномерных изделий, например оптического волокна . Цель изобретения - расширение видов контролируемых микроизделий за счет обеспечения контроля прозрачных микроизделий путем исключения влияния преломленного пучка на формирование дифракционной картины. Пучком лазера освещают контролируемое микроизделие, наклоняют изделие в плоскости, проходящей через освещающий пучок и контролируемое микроизделие, на угол а 50° и анализируют дифракционную картину контролируемого микроизделия, после чего судят о поперечном размере контролируемого микроизделия . 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sf)s G 01 В 11/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

Щ,"Овлур

) „т:. - .;.

) )Д»

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4636254/28 (22) 12.01.89 (46) 07.01.91. Бюл. № 1 (71) Одесский государственный университет им. И.И. Мечникова (72) Л.З, Касюга, A.Í. Малыхин, Ю.А. Носков и И.П. Шаповалов (53) 531.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 925168, кл. 6 01 В 11/10, 1981. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХ

РАЗМЕРОВ МИКРОИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля поперечных размеров длинномерИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля поперечных размеров длинномерных изделий, например, оптического волокна.

Цель изобретения — расширение видов контролируемых микроизделий за счет обеспечения контроля прозрачных микроизделий.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит лазер 1, держатель 2 оптического волокна, установленного с возможностью поворота на угол а 50 в плоскости, проходящей через освещающий пучок и микроиэделие, пространственный фильтр 3 и фотоприемник 4, расположенный за фильтром по ходу пучка.

Способ осуществляется следующим образом.

Когерентный пучок лазера 1 направляют на микроизделие, оптическое волокно, установленное в держателе 2. В зоне диф„„Я„)„„1619016 А1 ных изделий, например оптического волокна. Цель изобретения — расширение видов контролируемых микроиэделий за счет обеспечения контроля прозрачных микроизделий путем исключения влияния преломленного пучка на формирование дифракционной картины. Пучком лазера освещают контролируемое микроизделие, наклоняют изделие в плоскости, проходящей через освещающий пучок и контролируемое микроизделие, на угол a 50 и анализируютдифракционную картину контролируемого микроизделия, после чего судят о поперечном размере контролируемого микроиэделия. 1 ил.

» ракции Фраунгофера устанавливается пространственный фильтр 3, представляющий собой негативное изображение дифракци- Я онной картины микроизделия с возможностью перемещения вдоль оси пучка лазера

1. Держатель 2 оптического волокна наклоняют на угол a 50 в плоскости, проходящей через пучок лазера 1 и оптическое волокно, при этом преломленная составляющая пучка в дифракционной картине отсутствует. Перемещая пространственный фильтр 3 вдоль пучка лазера 1 с помощью шкалы, проградуированной в соответствии с формулой дифракции Фраунгофера и установленной параллельно пучку лазера, определяют контролируемый поперечный размер. Погрешность измерения прозрачных оптических волокон не превышает

0,57.

Формула изобретения

Способ измерения поперечных раэмеро8 микрбизделий, заключающийся в том, что формируют когерентный пучок, освеща1619016 .

Составитель М.Минин

Техред M. Моргентал

Корректор М,Шароши

Редактор Н.Бобкова

Заказ 35 Тираж Подписное

8НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ют им контролируемое микроизделие, формируют дифракционное изображение, анализируют дифракционное изображение микроизделия и определяют контролируемый размер микроиэделия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью расширения видов . контролируемых микроизделий за счет обеспечения контроля прозрачных микроиэделий, перед формированием дифракционного изображения наклоняют микроиэделие в

5 плоскости, проходящей через освещающий пучок и микроизделие, на угол а «50,