Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре
Изобретение относится к измерительной технике и усовершенствованием изобретения по an-i.cn, № 1399644. Цель изобретения - унепиченне точности измерений ча CMPI увеличепил эффективно anepr- рн лчнзы.Луч 0 света,ицуший in интерферометр проходит через фокусирующий элемент 3 и с помощью черкала 5, установленного с возможностью попорота, направляется на зеркало 1, ртчмещеппое на контролируемом объекте 2, отр.гжается от зеркала 1 (луч Т() и чоре i юркало 5 почир чпае ггя па фокусируют,-, элемент 3. После этого он отражается уголковым отрадечеиом 4 и снова проходит фокуснрукичип элемент 3, черкало 5, черкало 1, черкало 5 и i фокусирующий элемент 3 вочврагаае i н в интерферонеiр. 1 пл. eg со с
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1627827
А2 (51)5 G 01 В 9/02
t л
tlat.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТБУ
1399644. Нель изабре) ения — у!)(.— пичение точности иэмер(нии )а сче i увеличения э()Аективно) l)tc р Ури зы. Луч 1, света,иду)))ий иэ ин) с р(рераг) ° гр:i, проходит через А()кусиру)()г)и! ..)л(:и(нз
3 и с но) )()!))ью )еркала 5, уст l)tot)!Ic! tl ного с возможн((т! I<) паваратп, направляется н» зерна«а 1, !).).)мс)асин(с ii;i контролируемом oC) üeiò(I ?, (тр;гмн(гся от зеркала 1 (луч Т ) и ч(р(i еркало 5 I)() iiip:) I(I(i (я н;) фа к; (-.))р ) )!!!„! элемент 3 . loc Jl(.) таг() oti (тр ) ))<:i e f ся уголк()вым o fрпж(Istic м А и снов» прах()г(ит (I)AI< veitp)?)()) ii) I i э t(It(ll т ), ) (:,)— кало 5, зеркало 1, эер);ало 5 и (с! с )
g)()I )) и) )тор()(. р o)1() р, 1 )i 11 . разом. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (61) 1 399644 (21) 4457961/?8 (22) 11.07.88 (46) 15.02.91. Вюл. № 6) (71) Ненинградски)(государеII)et!)II)t университет (72) A.И,Недбай (53) 531,715(088.8) (56) /(вторскае свидетельство 000Р ¹ 1399644, кл. C О! B 9/0?, 1988. I (54) УСТР0!! TRO;! IlH МН01 Г)!(Р((! Н1!1 ОТРЛЖВН1!!! В )!ВУХ!!У<Н .В(6! ИН 1:!)Ф1;!Ч)МЕТРЕ (57) Изобретение относится к изм(.pitтельной I ex)t»i Изобретение а flloc) II к It lite рительной технике ° 11ель изобретения — увеличе)и)е точности измерений эп счет увеличения Ъ эд)(1)ективнаг(апертуры (н(нэы. На чертеже предсгавлена принципиальная схема предлаг» Mol () устройства для многократных отражений в двухлучевом интep(t)epаметре. Устройства содержит г)toci 3 в виде собирающей линзы, уголковьш отражатель 4 и плоское зеркало 5, установленное на пути лучей между линзой 3 и зеркалом 1 с воэмомностью поворота и направляюцее сходящиеся на зеркале 1 лучи ° УС1 рай(с тп() раба1 ee i СЛЕД ГЮ)гн)Г) )f)Входной луч светл 1, !)дуга)й llз и HHI ер())е!) )M(. р(1 (не пака:)ало) па дает на линзу 3 параллельно с(а»тнческой оси, прохс )!IT ee ll с п м(пи ю зеркала 5 направляется на эерк )J)а 1, oIражается от зеркала 1 (лу 1 зеркалом 5 возвращается н.! ()инэу 3, после которой отражается уголкавь)м отражателем 4, праха;(ит л))нзу 3, отражается последовательно от зспкплп 5, плоского зеркала 1, c)to),а () r зеркала 5 и через линзу 3 (луч 1 ) .:o.)вращается в интер(,ераметр, в кот po)t используется предлагаемое устра)((.: I)n многократг)ых отражений. 1627827. рения интерферометром с использованием данного блока при любом расположении относительно контролируемого объекта, т.е. поворотом плоского зеркала согласовать направление лучей и интерферометра с положением поверхности контролируемого объекта. Ф о р м у л а и з о 6 р е т е н и я Составитель И.Минин Техред М.Дидык Корректор M.éàðîøè Редактор II.Середа Заказ 330 Тираж 376 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 Поворотом зеркала 5 луч, отраженный от поверхности контролируемого объекта, изменяет место своего прохождения через линзу 3, как при первом своем прохождении, так и при последующих, и благодаря этому появляется возможность изменять кратность отражений,т.е. регулировать чувствительность интерйерометра. Например, 10 при изображенном на чертеже повороте зеркала 5 из положения g в положение б количество отражений увеличива"тся до трех. (последовательность прохождения лучом элементов блока много- 15 кратных отражений в этом случае показана штриховой линией). Поворот зеркала может осуществляться и не только вокруг оси, перпендикулярной плоскости чертежа, но и во- 20 круг других осей, за счет чего появляется возможность производить измеУстройство для многократных отражений в двухлучевом интерЬерометре по авт.св. У 1399644, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью увеличения точности измерений, оно снабжено дополнительным плоским зеркалом, оптически сопряже ным с зеркалом, устанавливаемым на контролируемом объекте, и собирающей линзой, установленным с возможностью поворота.
