Дозатор барботажного типа

 

Изобретение относится к дозирующим устройствам и позволяет повысить точность. Газ-носитель через входной канал 2 поступает в камеру 1 подачи и начинает вытеснять жидкость 11 в камеру 3 насыщения и камеру 6 подпитки, которые сообщены каналом 5, расположенным ниже выходного канала 4, но выше торца 9 второго колена U-образной трубки, пропущенной в камеру 1 подачи через дно камеры 3 насыщения. С момента, когда уровень жидкости в камере 1 подачи опустится ниже торца 9 пторого колена, длина которого больше расстояния от открытого торца 8 камеры 1 подачи до канала 5, жидкость из U-образной трубки вытеснится в камеру 6 подпитки , а из камеры 1 подачи через открытый торец 8-в камеру 3 насыщения. По достижении канала 5 излишек жидкости 11 из камеры 3 насыщения перетечет в камеру 6 подпитки. После - полного вытеснения жидкости из каме- «ры 1 подачи начинается барботаж в .камере 3 насыщения и дозирование в выходной канал 4о 1 з.п. ф-лы, Кил, (Л с О Ј2 1C со Сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1631295

А1 (д1)5 G 01 F 13/00

»

6МИЗИМ

» ! а7.;:".. ; =..::. - -;;:,:,," .:

»» ° »„,» . 5

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ .Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

11

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

j(2) ) 4658018/10 (22) 01 . 03. 89 (46) 28.02.91. Бюл.Р 8 (72) В.Н.Рябов (53) 66.028(088.8) (56) Гришин В.М. и др. Аппаратура для диффузии и эпитаксии. — Обзоры по электронной технике. Сер. Полупроводниковые приборы.M., 1975, вып.3(282), с.6, рис.lж. (54) ДОЗАТОР БАРБОТАЖНОГО ТИПА (57) Изобретение относится к дозирующим устройствам и позволяет повысить точность. Газ-носитель через входной канал 2 поступает в камеру подачи и начинает вытеснять жидкость

11 в камеру 3 насыщения и камеру 6 подпитки, которые сообщены каналом

5, расположенным ниже выходного ка2 нала 4, но выше торца 9 второго колена U-образной трубки, пропущенной в камеру 1 подачи через дно камеры

3 насыщения. С момента, когда уровень жидкости в камере 1 подачи..опустится ниже торца 9 второго колена, длина которого больше расстояния от открытого торца 8 камеры 1 подачи до канала 5, жидкость из 0-образной трубки вытеснится в камеру 6 подпитки, а из камеры l подачи через открытый торец 8 - в камеру 3 насыщения.

По достижении канала 5 излишек жидкости 11 из камеры 3 насыщения перетечет в камеру 6 подпитки. После . полного вытеснения жидкости из каме- а

° ры 1 подачи начинается барботаж в..камере 3 насыщения и дозирование в выI ходной канал 4. l з.п. ф-лы, 1 .ил, Ъ

3 1631295 4 жидкости в камере 1 подачи опустится ниже торца 9 второго колена, жидкость из U-образной трубки 7 вытеснится в камеру 6 подпитки, а из камеры 1 подачи через открытый торец 8 в каме-. ру 3 насыщения. По достижении канала

5 излишек жидкости ll из камеры 3 насыщения перетечет в камеру 6 подпит ð ки. После полного вытеснения жидкости

11 из камеры 1 подачи начинается барботаж в камере 3 насыщения и дозирование в выходной канал 4.

После переключения вентиля во вторую позицию уровень жидкости во всех камерах 1, 3 и 6 выравнивается посредством перетекания ее по U- образной трубке., Дозатор подготовлен к следующему

20 циклу

Изобретение относится к дозирующим устройствам и может быть использовано для получения парогазовых смесей при наращивании и легировании полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является повышение точности дозирования за счет восстановления уровня жидкости в камере насыщения.

На чертеже схематично представлен дозатор барботажного.типа.

Дозатор содержит камеру 1 подачи с входным каналом 2 для газа-носителя, открытую снизу и размещенную в камере 3 насыщения с выходным каналом

4. Камера 3 насыщения сообщена каналом 5 с камерой 6 подпитки, донная часть которой сообщена с одним из колен 0-образной трубки 7, второе колено которой герметично пропущено через дно камеры 3 насыщения в камеру 1 подачи. Длина второго колена больше расстояния от открытого торца 8 камеры 1 подачи до канала 5, который по высоте расположен ниже выходного канала 4, но выше торца 9 второго колена, установленного не ниже торца 10 первого колена.

Объем камеры 1 подачи, ограниченный по высоте открытым ее торцом 8 и торцом 9 второго колена, равен объему камеры 3 насыщения, ограниченному по высоте торцом 9 второго колена и каналом 5.

Входной и выходной каналы снабжены узлом выравнивания давления (не показан), например, в виде двухпозиционного вентиля, который в одной из своих позиций сообщает входной канал 2 с источником газа-носителя, выходной канал — с потребителем, а во второй позиции — входной и выходной каналы сообщены между собой.

Дозатор барботажного типа работает следующим образом.

При установке вентиля в первую позицию газ-носитель через входной канал 2 поСтупает в камеру 1 подачи и начинает вытеснять жидкость ll в камеру 3 насыщения и камеру 6 подпитки. Уровень жидкости в камерах 1, 3 соответственно подачи и насыщения одинаковый. С момента, когда уровень

Формула изобретения

1.Дозатор барботажного типа, со25 держащий камеру подачи с входным каналом для газа-носителя, открытую снизу и размещенную в камере насьпцения с выходным каналом, сообщенной каналом с камерой подпитки, донная часть которой сообщена с одним из колен U-образной трубки, второе колено которой герметично связано с дном камеры насыщения, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения точности, в него введен узел выравI нивания давления для входного и выходного каналов, второе колено пропущено в камеру подачи, его длина больше расстояния от открытого торца камеры подачи до канала сообщения камер насыщения и подпитки, который по высоте расположен киже выходного канала но выше второго и колена, установленного не ниже торца

45 первого колена. с 2.Дозатор по п.l, о т л и ч а ю— шийся тем, что объем камеры по- . дачи, ограниченный по высоте открытым ее торцом и, торцом второго колена, равен объему камеры насыщения, ограниченному по высоте торцом второго колена и каналом сообщения камер насыщения и подпитки.