Вакуумный клапан шиберного типа

 

Изобретение относится к опорным устройствам высоковакуумньи сиетем. Целью и обретения является повышение ремонтопригодности, уменьшение габаритов и расширение эксплуатациейных возможностей. Это досгигается за счет того, что каретка 16 снабжена вкладышем 26, в отверстии . 8 которого , имеющем ограничительные поверхности 29, на шарнирной оси 24 ус L 16 27 25 | А ШТПЯ 2В 2« тановлена поворотная серьга 23, соединенная с запорным органом, который , в свою очередь, соединен с кареткой 16 с помощью пружин. В положении Открыто серьга 23 опирается на переднюю ограничительную поверхность 29, в положении Закрыто - на заднюю поверхность 29. При переходе HJ одного положения в другое запорный орган проводит верхнюю мертвую точку, что обеспечивает надужную герметизацию фланца 2. Снабжение червячного колеса тягой, соединенной с ходовым винтом посредством ас.ицевого стержня, и расположение тяги и винта в резьбовых отверстиях ступиц, имеющих разный шаг речьбы, сокращают габариты привода. Расположение уплотняемых поверхностей фланцев на равном расстоянии от направляющих 6 и 7 каретки 16 дает возможность устанавливать запорный орган к любому из фланцев 2 и.ш 3.2 з.п ф-лы, 5 ил. (Л 21 22 L J | ТП5 2 wl/ ж О5 СО Ј СО сл

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СО1.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК.Яц« яя9.я (51)5 Е !6 К 3/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

21 22

5 2

Л 2У

Фиг 4

Þ7 55 Зб

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А BTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4445949/29 (22) 23,06,88 (46) 15 ° 03 91 ° Бю» ° N 1О (72) В„А„Макаренко, JI,ß .Варлов, .В,M,Ëóêüÿíoâ, А,Н,Рыбин, Ю,С,Самойлов и Г.Н Колосов (53) 621 ° 646(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 - 429212, кл> F 16 К 3/04, 1973 °

Авторское свидетельство СССР

1275175, кл, F 1б К 15/02, 1986. (54) ВАКУУМНЫЙ КЛА11АН ШИБЕРНОГО ТИНА (57) Изобретение относится к запорным устройствам высоковакуумных сис» тем ° Целью изобретения является п" вышение ремонтопригодности, уме,,ьше иле габаритов и расширение эксплуата I«OH» ных воэможностей. Это достигается эа счет того, что каретка 16 снабжена вкладышем 26, в отверсти» 28 которого, имеющем ограничительные поверхности 29, на шарнирной оси 24 ус2 тановлена поворотная серы-а 23, соединенная с запорным органом, который, в свою очередь, соединен с кареткой 16 с помощью пружин, В положении "Открыто" серьга 23 опирается на переднюю ограничительную поверхность 29, в положении "Закрыто" на заднюю поверхность 29, При переходе из одного положения в другое запор ный орган »роходит верх»юю мертвую точку, что обеслеч«влет надужную гер» метиз ацию фланца 2 Снабжение червяч» ного колеса тягой, соециненной с хо» довым винтом посредством ж;ицевого стерж»я, и распаложе»ие тяги и винта в резьбовых отверст»ях ступиц, имеющих раз»ый шаг резьбы, сокращают габариты пр»вода Расположение уплот» няемых поверхностей фланцев HB рав» ном расстоянии or направляющих 6 и 7 каретки 1б дает возможность устанав» пинать запор»ый opra» к любому из фланцев 2 и.лп 3. 2 з ° п, ф»лы, 5 ил, 16349! 5

Изобретение относится к арматуростроению, в частности к вакуумной арматуре, и может быть ислользовано в сверхвысоковакуумных системах в различных областях народного хозяиства.

Цель изобретения - повышение ремонтопри годности, уменьшение габаритов и расширение эксплуатационных возможностей устройства, Поставленная цель достигается за счет обеспечения проведения ремонтных работ как в открытом, так и в закрытом состоянии клапана, создания равномерной деформации эластичного элемента, Уменьшение габаритов обеспечивается сокращением хода тяги датчиков, а рас1ш»ре«1ие функциональньгх возможностей достигается обеспечением работы клапана на сверхнизких давл ениях °

Па фиг.l изображена схема клапа» на; на фиг.2 - червячный редуктор, продоль«гый р «эре»; на фиг 3 разрез

А-А на фиг.2; на фиг ° 4 - запорный орган, продольный разрез, в открытом состоянии; на фиг.5 - то же, в закрытом состоянии °

Вакуумный клапан шиберного типа содержит коробчатый корпус 1 с присоединительными фланцами 2 и 3.

Внутри корпуса 1 на его боковых сте нках си мме трично о тно сительно уплотняемых поверхностей 4 с коггусными расточками 5 размещены параллельные направляющие 6 и 7, Корпус 1 снабжен г ерме тиз и рующей крышкой 8, к которой прикреплен привод 9, состоящий из червячного колеса 10 со ступицами 11 и 12, ходового винта 13 и сильфонного талкателя 14, герметично закрепленного на крышке 8 Сильфонный толкатель 14 систелгой рычагов

15, связанных между собой шарнирно, соединен с кареткой 6 клапана. Кро» ме того, сильфонный толкатель 14 с помощью штифта 17 соединен с ходовым винтом 13, который1, в свою очередь, снабжен шпицевым стержнем 18, соединяюгцим его с тягои 19 датчиков 20 крайних положении, Каретка 16 содержит четыре горизонта«1ьпых и четыре вертикальных опорных ро„гика > рс1 улируемый упор и соединена с запорным органом 21, содержащим кольцевой уг1лотнитель и упорный ролик "2, посредством поворотной серьги 23, оси 24 и сферического шарнира 25„

В регулируемом вкладыше 26, встав» ленном в отверстие 27 каретки 16> выполнено прямоу1 ольное отверстие 28 с ограничительными поверхностями 29 поворота серьги 23 °

Каретка 16 соепинена с запорным органом 21 при помощи пружин 30.

В корпусе электромеханического привода 9 выполнены сквозные монтажные Окна 31, расположенные в месте установки штифта 17.

В ступице 12 колеса 10 червячного выполнено червячное отверстие 32, а в ступице 11 дополнительное резь» бовое отверстие 33 для тяги 19 датчиков 20 положения

2р Во фланце 3 выполнены кольцевая проточка 34 для уплотнителя, герме» тичный канал 35 для подвода охлаждакг щей жидкости, гнездо 36 для термопарного устройства и теплоотводящее

25 кол ьцо 3 7 °

Вакуумный клапан шиберного типа работает следующим образом, Электродвигатель привода 9 передает движение червячному колесу 10, 30 при вращении которого ходовой винт

13, находясь в винтовом соединении с ре зьбой, выполненной в отверстии

32 ступицы 12, совершает осевые ли» нейные перемещения„

Ходовой винт 12 передает линейные перемешения сильфонному толкателю

14, герметично присоединеннол1у посредством сильфона к крышке 8 °

Через систему рычагов 15 линейное

4р перемещение сообщается каретке 16, которая пачинает движение спорными роликами по направляющим 6 и 7.

При дв ж!»и к уплотняемым фпанцам 2 и 3 каретка 16 касается упор45 ным роликом 22 передней стенки корпуса 1 и совместное движение запорного органа 2! с кареткой 16 прекращается, В этом положении ось запорного органа 21 совмещена с общеи осью отверстий 2 и 3 °

При дальнейшем движении каре ки

16 до касания ее регулируелгым упором поверхности корпуса 1 происходит по» ворот серьги 23 относи тельно оси 24, 55 при этом запорный орган 21 вместе с роликом 22, прижатым к поверхности корпуса 1, перемешается вертикально вверх к уплотняелгой поверхности 4 °

16

В открытом положении запорным орган 21 перемещается по направлю«ш1м

6 и 7 с заданным зазором к уплотняе«ь«м поверхностям 4 ° 11ри этом запорный орган 21 и поворотная серьга 2.3 под действием пружин 30 прижаты соответственно к каретке 16 и к перецней ограничительной поверхности 29 отверстия 28, Б закрытом положении запорный орган 21, перейдя верхнюю мертвую точку, упирается серьгой 23 в заднюю ограничительную поверхность 29 отверстия 28.

Таким образом обеспечивается герметизация отверстий 2 и 3 посредством заклинивания системы корпусгерметизирующий напорный органсерьга - каретка даже при снятии на" грузки на каретку 16 от привода 9, что поз воля ет пр оиз водить демонтаж электромеханического привода 9 как при открытом, так и при закрытом (рабочем) положении вакуумного клапана

В уплотняемой поверхности 4 предусмотрена конусная расточка 5, которая ограничивает горизонтальное перемещение запорного органа 21 прп возвращении каретки 16 в положение

"Открыто" °

При вращении червячного колеса

10 линейные перемещения col«epII1;«,. и тяга 19, размещенная в до1.олнпт:;и,ном резьбовом отверстии 33 c ãóïl«ø,.

11 червячного колеса 10 °

Вниду того, что резьба в «творе» тиях 32 и 33 имеет разные 1 гн, т»1 а

19 и ходонои винт 13 совер111 11.,1 различные линейные перемещени», что позволяет уменьшить габариты Ваl.у . 1ного клапана.

При примен нии вакуумного «лапппа для сверхвысоковакуумных систем нео обходим его прогрев до 380-400 С.

При этом кольцевой уплотнитель раз™ мещается в кольцевой проточке 34, охлаждаемой жидкостью, подаваемой под давлением в герметичннй канал 35.

Ко нтрол ь за те мпер атурой о сущест;;ляется термопарным устройс твом, ус тановленным в гнезде 36.

Симметричное расположение направляющих 6 и 7 относительно уплотняемых поверхностей 4 присоединитепьных фланцев 2 и 3 позволяет устанавливат1-. каретку 16 так, что запорны««орган

34915

21 взаимодействует с охлаждаемой по" верхностью 4 фланца 3 °

Форм улаизобретени

1 ° Вакуумный клапан шиберного типа, содержащии корпус с присоединйтельными фпанцам11, уплотняемь«ми поверхностями и направляющими, каретку с запорным органом, .соединенную посредством системы рычагов с сильфонным толкателем, герметично установ ленным на крышке корпуса, привод„ включающий червячное коле со со ступицами, ходовой винт, установленный в реэьбовом отверстии ступицы и соеди" ненный с сильфонным толкателем при помощи съемного штифта, и датчики крайних положений кпапана, о т л ич и ю щ v и с я тем, что, с целью повышения ремонтогригодности, карет» ка снабжена регулируемым вкладышем с шарнирной осью и пружинами, во вкладыше выполнено отверстие с ограничительными поверхностямн, а привод соединен с крышкой сильфонного толкателя, причем эапорный орган подвижно соединен с кареткой пружинами, а с вкладышем - серьгой, установленной шарнирной Оськ в атвер тии вкладыша с возможно с Гью В «11«м«11еиствия с pl o ограничительными по верхи« стями °

2. Клапан по п.l, o т л и ч э юшийся тем, чго„с цел I умень1«1ения габаритов, червячное колесо снабжено тягои, ц«лицевым =тержнем и дополни тельным p«э ьбо BbIM Отверс тием вып олнен11ым I«ступице соо снО с ос» ионным ре «ьбовы;1 Огверстием и имекгщим ме ьш1«11, чем у основного, шаг ре «ьбы, гри«ем тяга соеди11< ва с ходов:.«м E èl«òoè посредством UI„IHll,eâoг 1 стс1»1 ья и у стано««.«ева в до:1«длительном реэьбоном oтверстии с воэмож;loc» тьк« вэаимодейс;-вия с „атчиками крайних по 1оже««ий 1«1апан;« „

3 ° Клапан по пп.l и 2, о т л ич а ющи и ся тем, что, сцелью расширения э к сплуатацио нных нозможнос гей, на уплотняемои поверхности ф11а«1цев ныполl«e««a конусная расточка, а В одном иэ присоединительных фпанцев - герметичный канал охлаждения и кольцевая проточка и установлен теpMQJ«dpHbM элемент, при этом канал охлаждения расположен под кольценой проточкой, а уплотняемые поверхности рас «оложсны на равном расстоянии от

1. апранля ющ1.1х ко рпу са»

1634915

163и91 5

qua Z

А-А

7Z

Ф г.5

23

29