Датчик давления
Изобретение относится к измерительной технике. Цель - уменьшение погрешности нелинейности функции преобразования. Датчик давления содержит корпус с мембраной, на которой размещен подвижный электрод, а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с подвижным электродом рабочий конденсатор . На неподвижный электрод рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины, изменяющейся по закону, определяемому формулой, приведенной в описании изобретения . 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4660404/10 (22) 27.01.89 (46) 15.04.91. Бюл. N- 14 (72) И,Е.Макаров, П.П,Степанов, Д.В.Лебедев и Г.В.Марков (53) 531.787 (088,8) (56) Научно-технический сборник PKT. Cep.
Vl, вып. 9, 1984, с. 11-18, (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель — уменьшение погрешности неИзобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления.
Целью изобретения является уменьшение по решности нелинейности функции преобразования.
На чертеже изображена схема емкостного датчика давления, в котором уменьше-. ние погрешности нелинейности и увеличение чувствительности достигается нанесением слоя диэлектрика переменной толщины.
Емкостный датчик давления содержит изготовленную за одно целое с корпусом 1 плоскую мембрану 2 с подвижным электродом 3 рабочего конденсатора и кольцевым электродом 4 эталонного конденсатора, размещенным на утолщенной недеформируемой части корпуса. На верхней пластине
5, скрепленной с корпусом 1, расположен неподвижный электрод 6 эталонного конденсатора и неподвижный электрод 7 рабочего конденсатора, на который нанесен слой 8 твердого диэлектрика переменной толщины. изменяющейся по определенному закону, „„5lJ 1642287 А1 линейности функции преобразования. Датчик давления содержит корпус с мембраной, на которой размещен подвижный электрод, а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с подвижным электродом рабочий конденсатор, На неподвижный электрод .рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины,.изменяющейся по закону, определяемому формулой, приведенной в описании изобретения, 1 ил.
Под действием измеряемого давления прогибается мембрана 2, уменьшается зазор между электродами рабочего конденса-. тора и соответственно увеличивается емкость рабочего конденсатора.
Нанесение на рабочий электрод слоя твердого диэлектрика, толщина которого изменяется по закону, указанному в формуле изобретения, позволяет весьма существенно снизить составляющую погрешности, — а обусловленную нел иней ностью функции О, преобразования, увеличить емкость и чувст- ф вительность датчика, что значительно рас1р ф ширяет сферу его применения. М
Формула изобретения
Датчик давления, содермащии корпус с «© мембранои, на которои по центру раамещен подвижный электрод в виде круга, а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с no- . д движным электродом рабочий конденсатор, . а также два кольцевых электрода, расположенных зеркально симметрично, один из которых размещен на корпусе, а другой — на пластине, образующих вместе эталонный конденсатор, причем пластина жестко скреплена с корпусом. отличающийся
1642287 да;
R — радиус мембраны.
Составитель О.Полее
Техред M. Моргентал
Редактор M. Бандура
Корректор В;Гирняк
Заказ 1140 Тираж 364 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.; 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 тем, что, с целью уменьшения погрешности нелинейности функции преобразования, в нем на неподвижный .электрод рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины, изменяющейся по закону где dp — начальный зазор между подвижным и неподвижным электродами;
Eo, e — диэлектрические проницаемости соответственно воздуха и твердого
5 диэлектрика; р = "/R -относительный радиус;
r — текущее значение радиуса электро
