Стекло
Изобретение относится к составам стекол, применяемых в электронной промышленности, в частности для изготовления фотошаблонов С целью снижения температуры начала деформации и исключения кристаллизации стекло имеет следующий состав, мас.%: 510г 55-63; Бг03 0,8-12; А1203 8,10- 13, 0,01-2,9; СаО 0,01-3,99; ВаО 0,01-7,6; ZnO 6,11-10,99; ЫагО 1,1-3,9; Кг.0 0,01-3,88; SrO 0,01- 5,9; 0,1-1. Температура начала деформации 570-587°С. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 С 03 С 3/093
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
„ »»
i:
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОЬРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГНКТ СССР (21) 4692856/33 (22) 18.05.09 (46) 23.04.91. Бюл; Р 15 . (72) К.Н.Татевосян и Г.С.Вртанесян (53) 666. 112 ° 5(080 ° 0) (56) )Куравлев Г.И.Стекла дпя электронной техники.— Нурнал всесоюзного химического общества им. Ненделеева, 1982, 27, Р 15..
Авторское свидетельство СССР
Р 391076, кл. С 03 С 3/093, 1971.
Изобретение относится к составам стекол, применяемых в электроннои промышленности, в частности для изготовления фотошаблонов.
Целью изобретения является снижение температуры начала деформации и исключения кристаллизации.
В таблице приведены конкретные составы стекол и их свойства.
Дпя изготовления шихты применяют обогащенный кварцевый песок, а остальные материалы — номенклатуры Ч.
Варку стекла осуществляют в кваро цевых тиглях при 1500-1570 С с
2-часовой выдержкой при заданной температуре. Температуру завершения процесса осветления определяют визуально лупой (х7) по отобранным пробам. !
Физико-химические свойства опре, деляют; изотермической выдержкой закаленных образцов стекла в интервале
„„SU„„1643487 А 1 (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к составам стекол, примеияеьягх в электронной промышленности, в частности для изготовления фотошаблоиов. С целью снижения температуры начала деформации и исключения кристаллизации стекло имеет следующий состав, мас.
SiO2 55-63; В20з 0,8-12; A120q 8, 1013,99;" Н80 0,01-2,9; СаО 0,01-3,99;
Вао 0;01-7,6; ZnO 6,11-10,99 Ка20
1,1-3,9; К20 0,01-3,88; SrO 0,015,9; Li 2-6 ч — кристаплизационную способностью на приборе ДКВ-2 — ТКПР и дилатометрическую температуру начала деформации; ускоренным методом П!С - химическую устойчивость к Н О; на спект- Й рофотометре СФ-26 - светопропускание 1 ф через пластины (P 3 мм) для Х 365 нм., Предлагаемое стекло предназначается для изготовления фотошаблонов взамен; применяемого. листового стекла, получаеМого. флоат-способом. Применение стекла повысит выход годных фотошаблонов sa счет исключения KpHC TBJIJIH зации Формула изобретения Ъ ° ий Стекло, включающее 810,, В Оз, А1<0>, ИВО, СаО, ВаО, ZaO, Яа О и К20, о тлич а ющ е е ся тем, что, с целью снижения температуры начала деформации и исключения ðè1643487 сталлизации, оно дополнительно содержит SrO и Li<0 при следующем соотноше- нии компонентов, мас.7: S i02. 55,0-63,00 ВО 0,80-12, 00 A>ZOs 8, 10-13,99 МеО 0,01-2,90 СаО ВаО ЕпО Ма О 1 0 Sr0 Li О 0,01-3,99 0,01-7,60 6,11-10 99 1, 10-3,90 0,01 3,88 0,01-5,90 О, 10-1,00 Данные стекла состава 3 (Параметры 1 2 Состав, мас.%: SiOR В20э А1гОз Мес СаО SrO ВаО ZnO Li О, ИааО а Свойства: TKJIP > 10т град в интервале 20-300 С дилатометрическая температура начала деформации химическая устойчивость (гидролитическая классификация) кристаллизация 63,00 2,00 0,10 2,90 0,49 0,01. 7,60 10,99 1,00 3,90 0,01 56,00 0,00 10,00 0,01 3,99 5,90 7,00 10,00 1,00 2,10 3,20 55,00 12,00 13,99 2,90 0,01 4,90 0,01 6,11 0,10 1,10 3,80 60,00 3,00 13,90 2,00 0,10 0,10 7,10 10, 90 0 00 2,00 0,10 43 575 570 501 507 Не кри сталли1 Не крист аллизуеТся Не крис талли1 Не кристаллизуется зуется зуется температура о осввтления, С светопропускание для ф = 365 мм 1540+10 1550+10 1520+10 1550+10 80 Составитель Г. Буровцева Редактор И. Дербак Техред А.Кравчук Корректор А. Обручар Тираж 311 Заказ 1215 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101
