Способ откачки полости многоступенчатым эжектором

 

Изобретение относится к струйной технике , преимущественно к многоступенчатым эжекторам для откачки полостей. Целью изобретения является снижение времени откачки и расхода высоконапорного газа. Многоступенчатый эжектор, в котором реализован способ откачки, содержит последовательно установленные эжекторные ступени 1-4 и линии 13-16 подвода пассивной среды, сообщены между собой параллельно при помощи обводных линий 17-20. В период запуска подвод высоконапорного газа в ступени 1-4 осуществляют последовательно , начиная с последней от откачиваемой полости по мере достижения рабочего давления в низконапорной части включенной ступени эжектора. 1 з.п.ф-лы. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю F 04 F 5/20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4634637/29 (22) 09.01.89 (46) 30.04.91, Бюл, М 16 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт гелиевой техники (72) В.В. Усанов1 В,С. Байков и Е.В. Сидоров (53) 621. 694.2(088.8) (56) Патент Германии М 295278, кл. 27 б, 1, опубл. 1916, (54) СПОСОБ ОТКАЧКИ ПОЛОСТИ МНОГОСТУПЕНЧАТЫМ ЭЖЕКТОРОМ (57) Изобретение относится к струйной технике, преимущественно к многоступенчатым эжекторам для откачки полостей.

Изобретение относится к струйной технике, преимущественно к многоступенчатым эжекторам для форвакуумной откачки различных полостей, Цель изобретения — снижение времени откачки и расхода высоконапорного газа.

На чертеже представлена схема многоступенчатого эжектора, на котором реализуется способ откачки полости.

Многоступенчатый эжектор содержит последовательно установленные эжекторные ступени 1 — 4, линии 5 — 8 подвода высоконапорного газа которых параллельно через регулирующие вентили 9 — 12 подключены к источнику активной среды, и линии

13 — 16 подвода пассивной среды сообщены между собой параллельно при помощи обводных линий 17 — 20, а последние снабжены регулирующими вентилями 21 — 24. Линия 16 подвода пассивной среды через регулирующий вентиль 25 подключена к линии 5 подвода высоконапорного газа. ЫПП 1645653 Al

Целью изобретения является снижение времени откачки и расхода высоконапорного газа. Многоступенчатый эжектор, в котором реализован способ откачки, содержит последовательно установленные эжекторные ступени 1-4 и линии 13 — 16 подвода пассивной среды, сообщены между собой параллельно при помощи обводных линий 17-20.

В период запуска подвод высоконапорного газа в ступени 1 — 4 осуществляют последовательно, начиная с последней от откачиваемой полости по мере достижения рабочего давления в низконапорной части включенной ступени эжектора. 1 з.п.ф-лы. 1 ил, В режиме запуска эжектора высоконапорный газ при открытом вентиле 21 подается на регулирующие вентили 9-12, которые открываются поочередно, начиная с вентиля 12 (последняя ступень 4), и далее

11, 10 и 9 по мере выхода каждой ступени на режим, близкий к расчетному.

Схема позволяет форсированно проводить режим промежуточного вакуумирования, т.е. вести постепенную откачку, непосредственно подключая поочередно эжекторные ступени к полости откачки. При этом пуске одновременно с вентилем 12 открывается вентиль 24.

При достижении достаточной степени вакуумирования подключается предыдущая ступень (третья), для чего закрывается вентиль 24 и одновременно с вентилем 11 открывается вентиль 23. Далее подключается вторая ступень, при этом закрывается вентиль 23, а открывается вентиль 22. При подключении первой ступени вентиль 22

1645653

Составитель С. Ковбаса

Редактор Л, Народная Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Л. Пилипенко

Заказ 1550 Тираж 367 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 закрывается и система откачивается всеми ступенями эжектора в режиме предельного вакуумирования, При работе в этом режиме в целях экономии рабочего газа возможна подача части смеси сред из линии 16 через вентиль 25 в эжекторную ступень 1 в качестве высоконапорного газа. При этом вентиль 9 на линии

5 закрыт.

Таким образом, путем поочередного подключения ступеней эжектора в период запуска достигается сокращение времени откачки и расхода высокоиапорного газа.

Фо рмула изобретения

1, Способ откачки полости многоступенчатым зжектором, включающий подвод высоконапорнога газа к активным соплам ступеней эжектора и последовательную подачу смеси от предыдущей ступени к( низконапорной части последующей ступени, отличающийся тем, что. с целью

5 снижения времени откачки и расхода высоконапорного газа, подвод высоконапорного газа к активным соплам ступеней эжектора осуществляют последовательно, начиная с последней от откачиваемой полости по мере

10 достижения рабочего давления в низконапорной части включенной ступени эжектора.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что подачу газа из откачиваемой поло15 сти осуществляют непосредственно в ниэконапорную часть последней иэ включаемых в работу ступеней.