Способ контроля радиусов кривизны оптических деталей

 

1. Способ контроля радиусов кривизны оптических деталей, заключающийся в том, что формируют коллимированный пучок излучения, устанавливают эталонный оптический элемент, освещают деталь, перемещают ее вдоль оптической оси, измеряют расстояние l между эталонным оптическим элементом и деталью и рассчитывают радиус R кривизны детали, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля деталей с малой апертурой, в качестве эталонного оптического элемента используют плоское зеркало с двумя отверстиями, одно из которых - в центре зеркала, устанавливают зеркало отражающей поверхностью к детали, освещают деталь через второе отверстие в зеркале, совмещают точку пересечения оптической оси освещающего пучка и отраженного от детали в плоскости зеркала и измеряют радиус r зоны контроля на детали и число n следов пучка излучения на детали, а радиус R кривизны детали рассчитывают по формуле

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что второе отверстие в зеркале выполнено на расстоянии 0,25-0,45 светового диаметра детали от первого отверстия.