Устройство для лазерного сканирования
Изобретение относится к оптикоэлектронным системам. Целью изобретения является повышение точности контроля путем обеспечения постоянства концентрации энергии на исследуемой поверхности. Устройство для лазерного сканирования состоит из лазера 1, средства распределения лазерного пучка , содержащего дифлекторы 2 и 5, связанные с приводами 3 и 6 и с блоками 4,7,14, фокусирующую систему 8, отклоняющие зеркала tl, связанные с приводами 12 и системой 13 управления.Отличием системы является то, что отклоняющие зеркала расположены так, что длина оптического пути от фокусирующей системы до исследуемой поверхности постоянна, а ось лазерного пучка после отражения от отклоняющего зеркала перпендикулярна исследуемой поверхности , что позволяет повысить качество контроля. Кроме того, система распределения лазерного пучка выполнена в виде двух дифлекторов, что повышает скорость и надежность работы. 3 з.п. ср-лы, 1 ил. (Л с
0% (1D
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК () С 02 В 27/48
Г
Ur 11 . ; " 4
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
llO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4696882/10 (22) 10.02.89 (46) 15.05.91 Вюл. Ф 18 (71) Институт физики АН ЛитССР (72) Б.А. Буравлев, Р.-И.В.Канапенас и Ч.-С.И. Сипачичюс (53) 681. 04 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР
Ф 1053618, кл. С 02 В 2/1, 1986., (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛАЗЕРНОГО .СКАНИРОВАНИЯ (57) Изобретение относится к оптикоэлектронным:системам. Целью изобретения является повышение точности контроля путем обеспечения постоянства концентрации энергии на исследуемой поверхности. Устройство для лазерного
i сканирования состоит из лазера 1, I
2 средства распределения лазерного пучка, содержащего дифлекторы 2 и 5, связанные с приводами 3 и 6 и с блоками
4,7, 14, фокусирующую систему 8, отклоняющие зеркала 11, связанные с приводами 12 и системой 13 управления.Отличием системы является то, что отклоняющие зеркала расположены так, что длина оптического пути от фокусирующей системы до исследуемой поверхности постоянна, а ось лазерного пучка после отражения от отклоняющего зеркала перпендикулярна исследуемой поверх-ности, что позволяет повысить качество контроля. Кроме того, система распределения лазерного пучка выполнена в виде двух дифлекторов, что повышает @ скорость и надежность работы.
3 з.п. rp-лы, 1 ил.
С:
1649498
Изобретение относится к оптическим торых снабжена приводом и управляю и электронно-оптическим приборам для щим блоком, что обеспечивает изменение сканирования светового луча- и может угла сканирования с большой скоростью, быть использовано в лазерных систе- 5 кроме того, наличие нескольких ра6омах контроля качества материалов,, чих плоскостей создают условия разпреимущественно, в металлургии для грузки теплового воздействия на одну бесконтактного контроля однородности плоскость, что улучшает надежность стального движущегося слитка путем эксплуатации., генерирования акустического сигнала в 10 определенных точках исследуемого ма- Ф о р м у л а .и з о б р е т е н и я териала с помощью лазерного излуче- 1. Устройство для лазерного сканнния . рования, преимущественно для систем
Цель изобретения — расширение экс- контроля качества материалов, содержаплуатационных возможностей путем обес-l5 щее средство распределения пучка лапечения вертикального 4окусирования зерного источника, фокусирующую сислазерного излучения на исследуемую по- тему, последовательность отклоняющих верхность и повторного сканирования зеркал, закрепленных HR приводах, свяпо точкам на движущейся исследуемой ванных с системой управления, о т л иповерхности, а также увеличение ско- 20 ч а ю щ е е с я тем, что, с целью порости сканирования и повышение на« . выщения точности контроля путем обесдежности эксплуатации. печения постоянства концентрации энерНа чертеже схематически изображе-,, гии на сканируемой поверхности, Фокуно предлагаемое устройство| . ." аирующая система размещена перед средУстройство для "лазерного сканиро- 25 ством распределения лазерного пучка, вания содержит импульеяай лазер 1> а последовательность отклоняющих зерна оптической оси которого Располо- ..кал такая, что длина оптического пути жено средство РаспРеделеиия пучка ла от фокусирующей системы до сканируеsepa, состоящее из направляющей призмы мой яоверхности постоянна, при этом
2 с шаговым приводом 3 и упРавляющим щ ось лазерного пучка, отраженная отклоблоком 4 s виде оптоэлектронного дат- няющнив- зеркалами, перпендикулярна чика и второй направляшщей нРизмы -5, к сканируемой поверхности. с шаговым приводом 6 и таким же управ- 2. Устройство но и, t, о т л и— ляющим блоком 7, Перед призмами 2 и 5 ч а ю щ е e c я тем, что, с целью расположена Фокусирующая система 8, 35 повышения плотности энергии на сканифокусирующая пучок 9 лазерного иэлуче,- Руемой поверхности, средство распредения на исследуемую поверхность 10. Над. 3ення лазерного пучка выполнено в виде исследуемой поверхностью 10 поочеред» Де4лектора, связанного с приводом и но расположены плоские отклоняющие системой управления. зеркала 11 так, что дпина оптического 4О 3. Устройство по пп, 1 и 2, о т пути от фокусирующей системы до иссле- л и ч а ю щ е е с я тем, что, с цедуемой поверхности постоянна. Плоские . лью повышения надежности и быстродей-, отклоняющие зеркала снабжены привода- ствия, за первым дефлектором введен ми 12, обеспечивающими перемещения по второй дефпектор, связанный с привокоординатам Х и Y согласованно, через 45 дом и системой управления. блок 13 сопряжения и блок 14 согласо - . 4. Устройство по п, 1,. о т л ивания с поворотом направляющей приз- ч а ю щ е е с я тем, что, с целью мы 5. Расширения Функциональных возможносСредство распределения лазерного тей, приводы отклоняющих зеркал выпучка выполнено в виде двух поворот- 50 полнены в виде двухстепенных поворотных направляющйх призм, каждая из ко- ; ных устройств, Составитель И. Форманюк
Редактор Л. Пщлинская Техред Л,Сердюкова Корректор А. Обручар
Заказ 1521 Тираж 341 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101
