Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия

 

Изобретение относится к контролю герметичности и позволяет повысить чувствительность обнаружения мест негерметичности. Размещают изделие в вакуумной камере и запол- . няют его многоатомным газом, например хладоном-12. Перемещают манометрический ионизационный преобразователь по поверхности изделия. Вытекающий из течи газ диссоциирует в полости преобразователя в результате электронного удара и термодиссоциации на горячем катоде. Масс-спектрометр , настроенный на регистрацию продукта диссоциации (хлора), дает реакцию в месте негерметичности.

А1

„SU„„1651122

Р1) G 01 М 3/04

ОПИСАНИЕ. ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

APH fHHT СССР..(21) 4641556/28 - (22) 26. 01. 89 (46) 23.05. 91. Бюл. Р 19 (72). А.А.Борин (53) 620.165.29 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1252684, кл. G 01 М 3/20, 1984. (54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ МЕСТ НЕГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛОГО ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к контролю герметичности и позволяет по. высить чувствительность обнаружения

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля герметичности полых изделий.

Цель изобретения — повышение чувствительности путем повышения эффективности диссоциирующего воздействия на вытекающий газ.

Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия реализуется следующим образом.

Изделие, размещенное в вакуумной камере, в которой создано разрежение менее 1i10 мм рт.ст., заполняют многоатомным газом, например хладоном-12 (СР С1 ). Перемещают датчик давления — майометрический ионизационннй преобразователь типа ПМИ-2 по поверхности проверяемого изделия на фиксированном расстоянии (например,10 мм). При прохождении датчика давления над течью происходит втекание молекулярного пучка хладо- на-12 во внутреннюю полость датчи2 мест негерметичности. Размещают изделие в вакуумной камере и запол-.. няют его многоатомным газом, например хладоном-12. Перемещают манометрический ионизационный преобразователь по поверхности изделия. Вытекающий из течи газ диссоциирует в полости преобразователя в результате электронного удара и термодиссоциации на горячем катоде. Масс-спектрометр, настроенный на регистрацию продукта диссоциации (хлора), дает реакцию в месте негерметичности. ка, где происходит диссоциация хладона в результате электронного удара и термодиссоциации на горячем ка- тоде. Коэффициент относительной чувствительности ПМИ-2 к хладону-12 . близок к 3. Это говорит о том, что в молекуле хладона-12 происходит обрыв связей, в результате чего образуется молекула молекулярного хлора (С1г). Масс-спектрометр, настроенный на индикацию Cl дает реакцию в месте течи. Местойоложение течи определяют по местоположению датчика давления с учетом постоянного времени процесса откачки.

Были проведены испытания способа в лабораторных условиях на нескольких контрольных течах, установленных на имитаторе иэделия. Исследовалась чувствительность- локализации течей от 0.1 л-мкм рт.ст./с и менее до порога чувствительности. Пример для одной из контрольных течей с потоком по воздуху 2 1(Г л-мкм рт.ст./с. г

1651122 способом. Это происходит потому, что в преобразователь ПМИ-2 входит большая часть потока из течи на из делии,;.которая проходит внутреннюю полость преобразователя два и более раза, где вытекший из течи многоатомный газ успевает диссоциировать.

Ф о р м у л а изобретения

Составитель Л.Пилишкина

Редактор А.Шандор Техред С.Мигунова Корректор Т.Палий

Заказ 1601 Тираж 364 Подписное

ВНИИПИ Государ< твенного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР

1 1 3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

При вакууме в камере в диапазоне от

1 ° 10 до 1 ° 10 мм рт.ст. эта течь не фиксируется вакуумметром ВИТ-3 с преобразователем IIMH-2. При замещении воздуха на хладон-12 по

4 пО вакуумметру течь также не видна, .однако масс-спектрометр, настроенный на С1, дает ощутимые показания. Определить порог чувствительности до 1р настоящего времени не удалось, так . как хладон-12, разлагаясь, дает молекулы С1, количество которых трудно оценить из-за специфичности газа.

НО можно сказать, что на хладоне-12 15 течи порядка 5 ° 10 л мкм рт.ст./с обнаружить можно четко с приемлемой скоростью перемещения ПМИ-2 по повЕрхности изделия.

Сканирование датчика давления по 20 поверхности изделия в месте течи привОдит к образованию нового вещества в количестве, соизмеримом с потоком, через течь, что совсем нетрудно зафиксировать масс-спектрометрическим 25

Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия путем размещения изделия в вакуумной камере, заполнения его контрольным газом, сканирования наружной поверхности изделия средством диссоциации контрольного газа, регистрации продукта диссоциации в вакуумной камере и определения по нему. места негерметичности, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в качестве средства диссоциации контрольного газа используют ианометрический ионизационный преобразователь.