Устройство для подачи плоских изделий

 

..обрсте ле г тс i подг1ву из;°т1п миьроэ екгро шеи 5 ,87. I I1 Т Jti -v 1 lei С i O v 004-1 ( f riiv г tH J ЗО1 - тХ (. ic fi к 1 С ТОССбсл МЗГ IGTu 1НН Ч i i с1 ле т Li , i3o6perti i-q - п .и Q свт об абчтывдем) v штелии - lu -LI GiCT та c4Gi о ГО; то ме ч icpei рузки Ti з i.e т и-- 3 BLIHO u ицс рь1 sai а 9 с пглвот . о ic то i i, -чагч i i 1 s S - а п 1 г ,j пяю-Lix р iqar° 9 5 захват а до i ц , i nOTheHtlOrO В Я ;С . о TiTHj c гопла елг1 из r -oos a-. jit x С, 1/ с jb civna и 18, 21, стаьоБтеьи гч с вочТР W-J 7/ а f

СС(НЗЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПжЛИН..1) «< II О5 V, 13/02 (I О, ОЛИМНЛЬ ИЗ Бр=(! .=-НИЯ

М А ЗТОРСЙОМУ СВИДЕТЕЛЬ«:ТВУ .-ЛЗЮ«И. =:-" :ЛЛС«7«ЮЯ За«ЮВВВИЕ («+«! «7

7(7

)/7

1I7 (((С1ЯДРСТЯЕЬ+Ц ф (ЖУИТЕ.1.

1 t(3 ИДЕЕ»РЕТЕI,ИЯД И OTRPHT(7»IR(t7j

ПР!- 1 I }(НТ(СССР. (2:) (?,1) (!» (? ) (72) 53 (56) (",Г1 I I

Л(з

- : 0070 0; /:

12,, 89

0О. )0. 9 (. t,.:t(.., 2., Б .. . (0(1 = та:{ т: (НОВ

62! 38, 27 .-.;. 62 i .": =::"- (ОЯЯ. 8)

Ла »РН . (10}(.П,;- 5 О83 7

О1 (. 21/68, 1983.

° 7орск ое сли!1е-.åëüc-:T«<.- ОО»„

8912, к.»1. Л О ;, 21/63, 28 t L - . 87 (5. () У, 1 7»Оф„"ТЯО Ц1г1 1»О,(»1 7((. Ii-:(ОО} ИХ ((8 (г "„7Д, (5 7) (»Г.бее Генно О Г} -, Гся .7;-Во(1-, лодству 7»зц л:-(й ."икроз.-ектрон((ой

1}-17, t .(a -НОС т7, —,О -»а»(Е 170::(РОБО. (ш(кОВь(х I(T acт11н к зО(. ? 1? о." заб» Гкн способом млг((етрон((. Гc яе(",((;, 1 е. В }1зобi»е Ген1 я поаь(((!е»1 .(е .-:."..::ег- .Ва обрабатьжаеь((1:; пзпел((й

1A 7»ГВL rC(I За СЧЕТ ТОГО 7 Что МЕ .

:,:; (зм перегрузки ..(з,;е711(й 3 В»(по((((v.»

В В((О-" рь(чага 9 с пр(1вод(-. ого (Io

О ?< г 1> .ар}.7 (1(1 7 ?(c(»777 1 I П 11

:.„=.-; акля(((Г(7(х р:.(ara 9, закВата д тя (: c1 . :(й „ !пол»»енно Г 0 В 131(,Ic кобО—

o;:;:aaH0r тояка(ег(11 н.-, 1(В "к . --00ра

I 4 7 °

1»,...,. 1 (аст(1н 1 ь 7 1 7 с Бь!с Гу7па,н (Я, 1".: 71 20,. 21, устанorле»1((. х с Воз1653203

20 можностью тззяттттодет"тстлття с кареткой

11., Каретка 11 выполнена с упором

24, огряттттчиваюттим перемещение ГОбря зных пластин 1 6, 1 7, и коромыслом 26, установленным шарнирно за крайний из трех линейно расположепны ня нем пальцев . Ва рычаге 9 Bbl

11зобретение относится к производству изделий микроэлектронной техники, в частности к подаче полупровОдниконе:Ix плясTHEI В зон j их Обра ботки способом магнетронного травления, 1!еттью изобретения явпяется повышени" качества Обрабатьтваемьтх и. делий. !

Ia фиг. 1 изображено предлагаемое ус гройство, общий вид; на фиг. 2

: ="-тение Л-Л ня фиг. 1; на фиг. 3, "::ение Б-Б и В-Б на фиг. 2; на ттттг. 4 — сечение Г-Г на фиг. 3 (пртт исходном положении каретки); на фтт -. 5 — то же, при крайнем правом положении каретки „EIB фиг. 6 — го же, при крайнем левом положении каретки; на фиг. 7 — разрез Л-Д на

6иг, Устройство для подачи плоских изделий состоит из вакуумной камеры

I. держателя 2 Оора.батывяемых пласР

3 5 тин 3 с упругими ()HKcBTîðÿìè 4, кассе-;ы 5 с пласттгнями 3 и няправляюттттттти 6 для них, приводом 7 пошагового перемещения кассеты 5 и механизма перегрузки пластин из кассеты 5 на держатель Z, включающего ус-. тановленный Ila валу 8 рычаг 9 в неподвижной опоре вращения, расположенный в корпусе 10, и каретку 11„ установленную в направляющих 12 рычага 9. Каретка 11 снабжена фрикционным тормозом 13, рейкой 14, направпяющей 15 и захватом, выпоттненным в лиде двух Г-образных пластин 16 и 17 с выступами 18, 19 и 20, 21, 50 установлентптх в направляющих 15 и соединенных с кареткой посредством пружин 22 и 23. Кроме того каретка

11 снабжена упором 24, ограничиваю-.тттм перемещение Г-образных тцтястин 5

16 и 17, и опорой вращения, в которую ттарнирно устяттовлетт пялец 25 коромысла 26. Б коромысле также тттттниттте-ты ттяльцы 37 и 28, литтейнт располт .полцены направляющие 30 и два упора в заим одеAc THóþщих со средним пальцем коромысла 26, другой крайний палец коромысла 26 взаттмодейст вует с дополнительными выступами 21 и 21 Г-образных пластин 16 и 17, 7 ил. женные с пальцем 25. Рычаг 9 соеди—

I нен с опорой вращения через элект— ромягHHòíóþ муфту 29 и имеет направляющие 30 для пластин 3 и два упора 31 и 32, взажтодействующие крайних положениях каретки 11 со средним пальцем 27 коромысла 26.

Выступы 20 H 21 пластин 16 и 17 взаимодействуют с крайним пальцем 28 коромысла 26. Бал 8 соединен с приводом 33 и имеет приводную шестерню

34, взаимодействующую с рейкой 14 каретки 11.

Устройство работает следующим образом. т1ля радиального перемещения каретки 11 одновременно включаются электромагнитная муфта 29 и привод

33, при этом рычаг 9 фиксируется на корпусе 10, а каретка 11 под действием приводной шестерни 34, взаимодействующей с рейкой 14 каретки 11, перемещается по направляютттим 12 рычага 9, преодолевая усилие фрикционного тормоза 13, при этом Г-образные пластины 16 и 17 перемещаются вместе с кареткой 11. При перемещении каретки 11 в крайнее левое положепие в конце ее хода пялец 27 коромысла 26 упирается в упор 31 рычага 9, поворачивая коромысло 26 вокруг пальца 26 по часовой стрелке, при этом палец 28 коромысла 26 перемещает пластину 17 за выступ 21 по направляющим 15 вправо, т. е. в сторону, противоположную перемещению каретки

1 I, сжиттяя пружину 22, а упор 24 каретки 11 перемещает пластину 16 за выступ 20 влево по направлению перемещения каретки 11 (фиг. 6). При персгтеттении каретки 11 в крайнее правое положение в конце ее хода палец

27 7коромысла 26 упирается в упор 32 рычага 9, поворачивая коромысло 26 вокруг пяльца 25 против часовой

«т 1телки, при этом палец 28 коромысла

5 1653? 0

26 перемещает пллсти«у 16 за выступ 20 по ттапрлвлятстгтим 15 влево, r.å. в сторону, противоположную перемещению каретки 11, сжимая пружитту 23, а упор

2 т каретки 1 "i перемешает пластину 17

:л выступ 21 тзпрлво па ттаправле«ттю перемеще«ия каретки 1 (фиг. 5>, Таким образом, в конце ходя каретки 11 вправо или влево расстояние между 10 ;:":,тступлми 18 и 19 пластин 16 и 17 увеличивается, образуя равные зазоры ме сду обрабатываемой пластиной 3 и

18 H 1 9, ilociie Ger О Обра

6; . ттв:-: -.м;я пластина 3 может свободно, 15

«е с,прикасаясь с выступами 18 и 19,, стлттавл.нт- т т c HJIIF сниматься с меха-«иc !!a перетру ткт .паститт. При движс «ии к л;! e! 1 из кр лйних и Ол ожений (rp "вс: -о .ттли левого, в начале 20

;..„О тa и лс титты 16 и 17 по- -ейс"B.Eå. «I „:,::; 22 и 23 сходятся фиксивуя между вь ступами 20 и ?1 обрабатываемую плacòè«ó 3, причем срез плас:ины 3 ориентируется вдоль выстутта 19 r : асти:ты 17 (фиг. ч) .

Для;paöaireëüi,opо движения рыч;r Ei

9 т :к:тто с Eercя:олька IlpH;.Од 33 (элек— э

rpo!.I:. B«;",rIIa«муфта, . B:!!uz»IeEIa), гг;.и э.ом каре. ка 11 год псйствием 30 фрисцио«ного -.Oðõîaa 1 3 Oc Ta eтся неГтадвн>тСНО?т От«ОСттГЕJ!«òòà рвтстаГЛ 9 а притзоднля шестерня 3- E, Baaè!or.åiicl зуя с рейкой 1ст каретки 11, «еподВттткттОИ B Pa, l!.II&«O! I !. a IIPBBI(ЕE IIH > тта

;,рэлчттвлс. - тэьтчлг 9, При злrpyзке пластинами 3 держа теля 2 вклкчаются электромагнитная муфга 29 и прттвад 33 (враш «ие по часовой стрелке), при этом каретка 11 40 с исходного положения (фиг. 1) перемещается в крайнее правое положение и пластина 17 ттходит под нижнюю пласт пту 3 в клсcere 5. R конце хода каретки 1 I пластины 16 и 17 расходят- 45 ся. «осле чего привод 33 отключается, а кассета 5 приводом 7 опускается на ад;.и шаг и пластина 3 оказывается между выступами 18 и 19. Палее опять включается привод 33 (против часовой стрелки) и каретка 1 1 перемещается влево до исходного положе«ия. При этом в начале хо; à каретки 11 пластина 3 фиксируется между выступами 18 и

19, ориентируясь срезом вдоль выступа 19 17, при;тлльнейшем ходе каретки 11 пласги«л 3 выступом 19 перемещается из «aripaBляютдттх 6 к ас се ты в напр автт тттстцие 30

3 рычага 9. Затем электрс мл г«II г«ая муфта 29 выключается, л рычаг 9 под действием привода 33 поворачивается против часовой стрелки на

90 . R этом положе«итт с«овл «клю-о чается муф гл 29 (Iip!E«oq 33 с гаетСЯ ВКттЮЧЕ«НЫМ, BPa! Ia ЯСт ПРС т«Г Часовой стрелки) и клветкл 11 перемещл.ется из исходного палажс Eiия B крайнее нижнее положение, передвигая выступам 19 пластину 3 и. «лпргвля— ющих 30 рычага 9 B упругие фиксаторы 4 держателя 2. В конце хада каретки 11 при достижении ею крлгнега тйтжнего положения плac»,«ы 16 и 17

pac orE=.òñÿ, освабс ждая !..íàñòèFI : 3, ч муфта 29 выклкчлется, а привод 03 пере ключается нл вращение па часовсй стрелке, и ры- лг 9 под действием привода 33 повара тивлется по часовой стрелке в исходное голожение, оставляя ллас ттттту 3 в упругих фикcaòñ рлх ст держателя ? .

Перегрузка «ласти. 3 г держа гсля 2 в кассету 5 осущеcl !ë«årся в

Обратной последавлтелытс1с ги. ф о р м у л а и з о 6 р с. т е н и я

Устройство для Iloila«IE плоских

iEзделт.й, содержацее влкууттттук камеру, рлсположе«ные в вакуум«ой камере держатель с фикса торлмтт, кассегу, механизм перегрузки изделий, выполненный в виде рычлгл с. направляющими, кареткой с фрикцисят«ым тОр мазом, установле««ой в направляющих рьгтлга, захватом и приводом с валом поворота рычага, причем захват размещен на каретке и гыполттен в виде скобообразного толклтеля из двух

Г-образных пластин, о т л II ч л ю щ е е с я тем, чта, с «елью повышения качества, кареткл с«абжена опорой вращения, в каретка ттьтполнены направляющая, упор для переметттения

Г-образных пластин захвлта, выполненных с выступами, ра зметттеттттьтт ттг с вазможностью взаимодействия с упором и соединенных с карегкой посредством пружин, коромысло с гремя линейно расположенными палт-нами, палец одного из концов коромысла размещен в опоре вращения клр"гки, палец другого конца коро тьтсстл выполнен с возможностью взлттт тодеттс г1 65.32() 3 вия с вв1ступамп пластин вахвата а ср РдниЙ пллвц " c B03Г|Ожнoствю в вяи модейстния с в.,нонненнимн»а рннrar е упор агап.

17 18

15 11

165З2ОЗ

Юцг. Ф

1r5З2ОЗ

Г-Г

Щц >

Составитель !О.Капигонов

Техред JI.Олийнык Корректор А,Обручар

Редактор A ..:!ежнина

Заказ 1782

Тираж 501

Подписное

В1ИИПИ Государств ни г, г митета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР!!.1 13 >,,"!в.ква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издат зьг:ий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101