Устройство контроля вакуума в электровакуумном приборе

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам контроля вакуума п отпаянных электровакуумных приборах (ЭВП). Цель. - повышение точности. Устройство обеспечивает измерение ионного и электронного токов ЭВП, 1 включенного по схеме ионизационного манометра, в момент времени, соответствую и максимуму ионного тока , т.е0 в момент максимального газовыделения . Устройство содержит два устройства запоминания 1 и 3, блок управления 2, измеритель отношения 5 и индикатор G. Блок управления 2 включен в цепь анода и содержит дифференцирующее устройство, При достижении ионным током максимума происходит выдача управляющего сигнала на управлюящие входы устройств запоминания . На индикаторе фиксируется величина отнопения ионного тока к электронному. 3 ил. 1 ч.п.ф-пы. а « (/ С

СОЮЗ СОНЕТСНИХ

СО1.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ

PECIlYE flHH (19) (11) 1 А1 (51)5 (01 1, 21/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕКНЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

f (21) 4709341/10 (22) 11.06.89 (46) 23.06.91. Бюл. У;. 23 (72) В.П.Харитонов, A.Ë.Ñîêoëoâ и Е.В.Войнова (53) 531.787 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 656 126 > кп . Н 01 J 9/42, 1979 . (54) УСТРОЙСТВО КО11ТРШ1Я ВАКУУИА

В ЭЛЕКТРОВА1(УУМНОИ ПРИБОРЕ (57) Изобретение относится к изл ерительной технике, в частности к устройствам контроля вакуума н отпаянных электровакуумных приборах (ЭВП) ° Цель. - повышение точности .

Устройство обеспечивает измерение

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам контроля вакуума н отпаянных электровакуумных приборах (ЭВП) .

Целью изобретения является повышение точности .

На фиг.1 показана структурная схема устройства контроля вакуума н

ЭВП; на фиг.2 — структурная схема блока управления; на фиг.3 — изменение ионного и электронного токов при разогреве катода ЭВП, включенного по схеме ионизационного манометра, и эпюры напряжений на выходе дифференцирующего каскада блока управления и компаратора.

В устройстве в цепь анода включены запоминающее устройство 1 и блок управления 2, а в цепь катода — запоминающее устройство 3, источник 4 ионного и электронного токов ЭВП, включенного по схеме ионизационного манометра, н момент времени, соответствующий максимуму ионного тока, т.е. в момент максимального газовыделения, Устройство содержит два устройства запоминания t и 3, блок управления 2, измеритель отношения

5 и индикатор 6. Блок управления 2 включен н цепь анода и содержит дифференцирующее устройство, При достижении ионным током млксимума происходит выдача управляющего сигнала на уира вл вящие нх оды ус тройств злпомшлния. На индикаторе фиксируется величина отношения ионного тока электронному. 3 ил. 1 з.п.ф-ль1.

1 питания катода, измерител. отношения 5 и индикатор 6. 1 лск упрлвления (см. фкиг. 2) состоит из дифференцирующего каскада 7, ксл1парлтсрл 8 и источника опорного напряжения 9, Устройство работает следуюг им образом.

ЭВП включается в режиме нонизлционного манометра. После разогрева катода в его цепи появлется электронный ток ?,(, а в цепи анода — ионный

-.îê.I>. Напряжение с сопротивления, включенного в цепь анодл, подает я на вход компаратора, Ва другой вход компаратора поступает напряжение от источника опорного напряжения, отличное от нуля.

Ионный ток I (см. фиг.3) в момент и времени с достигает максимума. По упо равляющему сигналу от блока управле- .

1657991 ния запоминаюцие устройства 1 и 3

1 фиксируют значения 1„ и 1, в момент времени с< и подают на вход измерителя отношений. С выхода измерителя

5 -и отношения значение отношения --T

I подается на индикатор.

Таким образом происходит измереI ние вакуум-фактора P = -- н момент к максимального газовыделения из като- 5 да.

На выходе дифференцирующего устройства напряжение изменяется в соотdIn ветствии с эпюрой — -- (см.фиг,3) .

На выходе компаратора имеется логический нуль (при отсутствии I ), При возрастании 1, (увеличение падения напряжения на сопротивлении R) на вы- 25 ходе компаратора появляется логическая единица (уровень напряжения, например, +4,5 В). Этим уровнем отпираются ключи запоминающих устройств и идег процесс запоминания Iп и Т . B 30 момент с„компаратор снова срабатывает, и на его выходе появляется логический нуль (уровень напряжения примерно +0,2 В). Ключи запоминающих устройств запираются и на их выходе фиксируются значения напряжений, соот1 ветствующие токаи I и I, которые и подаются на вход измерителя отношений. бормулаизобретения

1. Устройство контроля вакуума в электровакуумном приборе, содержащее источник накала катода, источник анодного напряжения, первое запоминающее устройство, индикатор и блок управления с источником опорного напряжения,отличающееся тем, что, с целью повьппения точности, в него введены второе запоминающее устройство и измеритель отношения токов, при этом блок управления подключен к источнику анодного напряжения, а его первый выход через первое запоминающее устройство соединен с анодом электровакуумного прибора, причем второе запоминающее устройство подключено к сетке электровакуумного прибора, управляющие входы первого и второго запоминающих устройств подключены к второму выходу блока управления, а их выходы - к первому и второму входам измерителя отношений токов, выход которого соединен с входом индикатора.

2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е с я тем, что в нем блок управления дополнительно снабжен дифференциатором и компаратором причем вход дифференциатора подключен параллельно анодной нагрузке электровавакуумного прибора, а выход соединей. с первым входом компаратора,второй вход которого соединен с источником опорного напряжения, при этом выход компаратора является выходом блока управления.

1657991

Фиг.2

Редактор Т.Иванова

Заказ 2430 Тираж 351 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина, 101

И II

Составитель А. Зосимов

Техред М.Моргентал Корректор H.Ðåâñêàÿ