Способ измерения толщины слоев многослойных изделий
Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для контроля толщины слоев, выполненных из диэлектрических материалов в многослойных изделиях. Целью изобретения является повышение точности измерения. Способ реализуется следующим образом. При изготовлении изделия 1 между его слоями размещают межслойные элементы 2, выполненные в виде шайбы. Элементы 2 размещают согласно определенной схеме. После изготовления изделия 1 приводят разметку его наружной поверхности в соответствии с указанной схемой. Размещают на поверхности изделия 1 преобразователь 3 и перемещают его над межслойными элементами 2, регистрируя на индикаторе 4 экстремальное значение сигнала преобразователя 3. Экстремальное значение сигнала является информационным параметром, по которому и определяют толщину контролируемого слоя изделия 1. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 В 7/06
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4405980/28 (22) 07.04.88 (46) 23.07.91.Бюл. М 27 (72) В.Г.Герасимов, Э.В.Кузнецов, М.С.Маруняк, Л.В.Мякинькова, Ю.Я.Останин и Д.А,Рапопорт (53) 531.717.11:620.179 14 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
М 777404, кл. G 01 В 7/06, 1978 (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ
СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНЫХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для контроля толщины слоев, выполненных иэ диэлектрических материалов в многослойных иэделиях, Целью изобретения является повышение точности
Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для контроля толщин слоев, выполненных из диэлектрических материалов, в многослойных иэделиях.
Целью изобретения является повышение точности измерения, которая достигается эа счет обеспечения соосного размещения преобразователя над межслойным элементом в процессе контроля.
На чертеже показан возможный вариант реализации способа измерения толщины слоев многослойных изделий, где приняты следующие обозначения: 1 — изделие, 2 — межслойные элементы, 3 — вихретоковый преобразователь, 4 — индикатор . межслойные элементы 2 выполнены из проводящего материала в виде шайбы (кольца).
Способ реализуется следующим образом.
„„Я)„„1665221 Al измерения. Способ реализуется следующим образом, При изготовлении изделия 1 между его слоями размещают межслойные элементы 2, выполненные в виде шайбы.
Элементы 2 размещают согласно определенной схеме. После изготовления изделия
1 проводят разметку его наружной поверхности в соответствии с указанной схемой.
Размещают на поверхности изделия 1 преобразователь 3 и перемещают его над межслойными элементами 2, регистрируя на индикаторе 4 экстремальное значение сигнала преобразователя 3, Экстремальное значение сигнала является информационным параметром, по которому и определяют толщину контролируемого слоя изделия 1.
1 ил.
При изготовлении изделия t межслойные элементы 2 в виде шайб размещают на поверхности очередного слоя, размеченного в соответствии со схемой измерения толщины, перед изготовлением следующего слоя так, что- . бы середина межслойного элемента 2 совместилась с размеченной точкой. После изго- M товления изделия 1 проводят разметку его 1,) наружной поверхности в соответствии со схемой измерения толщины слоев. На поверхности иэделия 1 располагают вихретоковый преобразователь 3 над межслойным элементом 2 и перемещают преобразователь 3 по поверхности изделия 1 относительно межслойного элемента 2 в двух взаимно перпендикулярных направлениях, регистрируя на индикаторе 4 экстремальное значение сигнала, которое соответствует совмещению оси АА преобразователя 3 с осью BB" межслойного элемента 2 (! = О).
1665221
Составитель А.Черных
Редактор Т.Иванова Техред М.Моргентал Корректор М.Демчик
Заказ 2385 Тираж 391 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент". r. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Г1о полученному экстремальному значению сИгнала, являющемуся информационным параметром, определяют толщину контролируемого слоя изделия 1.
Формула изобретения
Способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, ч!го при изготовлении изделия между его слоями размещают межслойные элементы, ыполненные из проводящего материала, ад одной из поверхностей изделия над межслойным элементом располагают вихретоковый преобразователь и по параметру сигнала этого преобразователя определяют толщину слоя, отличающийся тем, что, 5 с целью повышения точности измерения, используют межслойные элементы, выполненные в виде шайбы. вихретоковый преобразователь перемещают относительно межслойного элемента, а в качестве инфор10 мационного параметра сигнала используют его экстремальное значение.
