Устройство демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и удаления с него бракованных полупроводниковых кристаллов
Изобретение относится к электронной технике и позволяет автоматизировать демонтаж гибкого носителя от рамки-спутника и повысить надежность работы устройства. Устройство включает механизм /М/ 2 подачи и М 3 приема рамки-спутника 4, установленную на основании 1 между М 2 и 3 несущую плиту 6 с пневмодорожкой 7, с соплом 9, с окном 8 и с упором 10, М 14 захвата гибкого носителя 13 с приводом к М 17 отрыва бракованных кристаллов с носителя с приводным валиком /В/ 44 и с отделительным клином 39. Устройство имеет М 12 отрыва носителя от рамки-спутника 4 в виде вертикальных направляющих, смонтированных на плите 6, и установленной в них подпружиненной траверсы 22 возвратно-поступательного перемещения с приводом 21 и с пуансоном 24, проходящим через окно 8. На плите 6 смонтированы основная и дополнительная горизонтальные направляющие, на которых установлены в одной плоскости основная и дополнительная подпружиненные каретки /К/ 30, 40. При этом М 14 выполнен в виде четырех В 25, 26 и 27, 28, расположенных под окном 8 попарно и параллельно с возможностью взаимодействия с носителем 13. Одна пара В 25, 27 установлена на плите 6 через кронштейн, а другая пара В 27, 28 - на К 30. Кроме того, М 14 включает два дополнительных В 33, 34, смонтированных на плите 6 под В 25 - 28, и направляющие 15, 16 носителя. На К 30 закреплен В 44, а клин 39 - на К 40 с возможностью прохождения между В 25 и 26 и 27 и 28 и взаимодействия с носителем. При этом В 26 выполнен приводным, а В 25 имеет тормоз. Рамка-спутник 4 подается М 2 на плиту 6 и перемещается пневмодорожкой 7 до упора 10. Включается привод 21 и пуансон 24 отрывает край носителя от рамки-спутника 4. Край носителя через окно 8 подается между В 25, 26 и В 27, 28 прижимаясь к В 25, 26 соплом 9. Пуансон 24 возвращается в верхнее положение, а К 30 перемещается к краю носителя 13 и зажимает его между В 25, 26 и В 27, 28. Сопло 9 отключается, а К 40 с клином 39 выдвигается между В 24, 26 и В 27, 28 и клин 39 перегибает носитель. Приводится во вращение В 26 и осуществляется перемещение носителя и отделение от него кристаллов. 1 з.п. ф-лы, 6 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (! 9) ()1) (н)5 В 65 G 47/31
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Ф%
° в
Ъ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4736373/03 (22) 12.09.89 (46) 23.08.91. Бюл. М 31 (71) Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (72) В.Ф.Масленков, К.И.Завада и А.В.Ярош (53) 621.869 (088.8) (56) Патент США
Я 4607744, кл. В 65 G 47/31, опублик, 1986.
Патент США
1Ф 4702365,кл, В 65 G 47/32, опублик. 1987. (54) УСТРОЙСТВО ДЕМОНТАЖА ГИБКОГО
НОСИТЕЛЯ ОТ РАМКИ-СПУТНИКА И УДАЛЕНИЯ С НЕГО БРАКОВАННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к электронной технике и позволяет автоматизировать демонтаж гибкого носителя от рамки-спутника и повысить надежность работы устройства.
Устройство включает механизм (M) 2 подачи и М 3 приема рамки-спутника 4, установлен1671574
30 ную на основании 1 между М 2 и 3 и несущую плиту 6 с пневмодорожкой 7, соплом 9, ог,ном 8 и упором 10, М 14 захвата гибкого носителя с приводом M 17 отрыва бракованных кристаллов с носителя с приводным валиком (В) 44 и с отделительным клином 39.
Устройство имеет М12 отрыва носителя от рамки-спутника 4 в виде вертикальных направляющих, смонтированных на плите 6, и установленной в них подпружиненной траверсы 22 возвратно-поступательного перемещения с приводом 21 и с пуансоном 24, проходящим через окно 8. На плите 6 смонтированы основная и дополнительная горизонтальные направляющие, на которых ° установлены в одной плоскости основная и дополнительная подпружиненные каретки (К) 30, 40. Пои этом М14 выполнен в виде четырех В 25, 26 и 27, 28, расположенных под окном 8 попарно и параллельно с возможностью взаимодействия с носителем 13.
Одна пара В 25, 27 установлена на плите 6 через кронштейн, а другая пара В 27, 28—
Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники, а именно к устройству демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и удаления с него бракованных полупроводниковых кристаллов, Целью изобретения является автоматизация демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и повышение надежности работы устройства, На фиг, 1 приведено устройство демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и удаления с него полупроводниковых кристаллов; на фиг. 2 — механизм отрыва гибкого носителя от рамки-спутника; на фиг. 3— вид А на фиг, 2; на фиг. 4 — механизм захвата с гибкого носителя; на фиг. 5 — механизм отрыва бракованных кристаллов с гибкого носителя; на фиг. 6 — разрез Б-Б на фиг. 1, Устройство содержит основание 1 (фиг.
1), механизм 2 подачи и механизм 3 приема рамки-спутника 4 с кассетой 5, несущую плиту 6 с пневмодорожкой 7, окном 8, соплом 9 и упором 10, расположенную на стойках 11, установленных на основании 1, механизм 12 отрыва гибкого носителя 13 от рамки-спутника 4, расположенный нзд окном 8 несущей плиты 6, механизм 14 захвата гибкого носителя 13 с направляющими 15 и 16 гибкого носителя 13 и механизм 17 отрыва кристаллов,8, расположенные под окном 8 несущей плиты 6, емкость 19 для на К 30. Кроме того, М 14 включает два дополнительных В 33, 34, смонтированных на плите 6 под В 25-28, и направляющие 15, 16 носителя, На К 30 закреплен В 44, а клин
39 — на К 40 с возможностью прохождения между В 25, 26 и 27, 28 и взаимодействия с носителем. При этом В 26 выполнен приводным, а В 25 имеет тормоз. Рамка-спутник 4 подается М 2 на плиту 6 и перемещается пневмодорожкой 7 до упора 10. Включается привод 21 и пуансон 24 открывает край носителя от рамки-спутника 4. Край носителя через окно 8 подается между В 25, 26 и B 27, 28, прижимаясь к В 25, 26 соплом 9. Пуансон 24 возвращается в верхнее положение, а К 30 перемещается к краю носителя и зажимает его между В 25, 26 и В 27, 28.
Сопло 9 отключается, а К 40 с клином 39 выдвигается между В 24 26 и В 27, 28 и клин
39 перегибает носитель, Приводится во вращение В 26 и осуществляется перемещение носителя и отделение от него кристаллов, 1 э.п. ф-лы, 6 ил, сбора кристаллов 18 и емкость 20 для сбора гибкого носителя 13, Механизм 12 отрыва гибкого носителя
13 (фиг. 2) от рамки-спутника 4 содержит привод 21, например пневмоцилиндр, подпружиненную траверсу 22, установленную с возможностью возвратно-поступательного перемещения по вертикальным направляющим 23, закрепленных на несущей плите 6, пуансон 24, закрепленный на траверсе 22 и проходящей сквозь окно 8 несущей плиты 6, Пуансон 24 выполнен в виде сегмента, (фиг. 3).
Механизм 14 захвата гибкого носителя
13 (фиг. 4) содержит четыре попарно-параллельных валика 25, 26 и 27, 28, расположенных под окном 8 несущей плиты 6 с возможностью взаимодействия с оторванным гибким носителем 13. Одна пара валиков 25 и 26 установлена на кронштейне 29, закрепленном к несущей плите 6, а вторая пара валиков 27 и 28 — на подпружиненной каретке 30. установленной с возможностью возвратно-поступательного перемещения по основным горизонтальным направляющим 31 от привода 32. например пневмоцилиндра. Направляющие 15 и 16 гибкого носителя 13 выполнены в виде замкнутых лент, установленных на нижних валиках 26 и 28 первой и второй пары и двух дополнительных валиках 33 и 34, расположенных под ними на кронштейнах 35 и 36. Валик 25
1: уста Iof3>len с i- c<çìci:I!>:Oc>üþ при< .3><г<о ке
HvIR oT >ор>лоза 3 7 (ф<лг. 6), а I3 3>II I >; 26, 41< выполнен веду<шлм ог привода,3.
Механизм 17 огрыгя крл; i;»Iлпв 18(ф«г.
5) содержит отдели гег<ьны<1 клин 39, распс- 5 лож 3HHb>A с возможно>-.тью прохожден«я между валиками 25, 26 и 2 7, 28 пер>ой и второй пар механизма 12 захвата г<>бкснг носителя 13 на под>,руж<л»енной до><олн. тельной каретке 40, установленной с воз- 10 можностью возврагно-поступательного перемещения о3 привс3ца 41, ><апример пневмоцилиндра, по дополнительным направляющим 42, установленным снизу к несущей плите 6 в одной плоскости с кареткой 15
30 механизма 12 за.-.вата гибкого носителя
13, на которой установлен склиз 43 и приводной валик 44 отрыва крисгаллов 18 о1 гибкого носителя 13. Ва.i>1,< 44 кинематически связан с приводом 45.
Перед началом работы устройстьа демонтажа гибкого носителя 0Т pal Ic1K-c»yT>l<1Ka 4 и удаление 03 него бракова><ны: полупроводниковых кристаллов 18 опер;3 тор должен уст »Оп«T> ка< се<у 5 (фи<. 1) рамками-спутн«vами 4 B меxa>ièa>1 2 nc<äa i« рамки-спутника I и уст 3>io««ь пуг.lyio "i! сету 5 в меха>«<з>1.3 nl.ii! ...<ь р;<><к>»у3 « ка 4.
УстройсгBO дег, 0»f ажа f >l>1Koi о носи.;-.— Р ля от раглки-ci
Меха»из>1 2»с3, 3 <<1 ) i;.I. > и-cf;y3 >
Меха><из>1 2 под:I <и п,<м .и-сnyTH, V,< 1 подает pal Ivy-спутник. 1 >ia»нев>10дорожку 10
7 (фиг. 2) несущей пл«;ы 6 «по»0, г О;360 чую зону, где фиксиру< гся у><оро>л 10 так. что край рамки-cTyn»i;, 3 1 нахо ji*,T!:я »;-.,, Окном 8 несущс.й пли» i: f10!, д .йствие>л пр«Вора 21»0д! Пу ". < <ная тр;3: .pca 22 ь 45 закрепленныгл аа н=; ny-ii о»ог<24. i3c; Beр тйкальнь>м направляющ«м 23 переглещается вниз. Пуансон 24.:iepe> ащаясь низ открывает край >«б>с»o I<00«-ëB 1 1 OT р;3,".1 ки-cnyTH«va 4. по,,ает е 0 в oviic; 8 >,
13 (фиг. 4). От 3р: =:»i» i«к,>ай гибкого ногителя 13 Гф«г. 2.:ii-i»l » <ый адгез.;",Bii>с<> поверхностью к nуанcn; у 24, воздушныг; 55 потокогл из соп«а 9 f1c!« V, мается v. nape валиков 25 и 26 Iiiexafi<;-: ла 14 захвата r«bкого носителя 13 (ф,;;. 4) и удержива<е-<ся а таком положении, предохраняя от прил. 24. ко<прь и погле отрыва гибкого носителя 13 oт рамки-ступника 4 возвращается в верхнее положе><ие Послс того, как пуансон 24 вернулся в «ер: нее положение, а Оторванный край гиб>3огс> носителя 13 прижимают воздушным »стоком к паре валиков 25 и 26 механизма 1:1 захвата гибкого носителя 13(фиг, 4), под пруж«ненная каретка 30 механизма 14 захвата гибкого носителя 13 с парой валиков 27 и 28 под действием привода 32 перемещается по направляющим 31 в направлении oTopBa»nolo края гибкого носи1еля 13, прижатого воздушным потоком к валикам 25 и 26. Валики 27 и 28 взаимодейc i Byi0T с гибким носителем 13 и прижимают его к вал«кам 25 и 26, в результате чего оторванный край гибкого носителя 13 оказылается зафиксированным между парами B:-3n>1>coB 25-28 Воздушный поток отключается, и упор 10 у>опает и расфиксирует рамкус»угни" 4, До»ол;<«гель»ая <>одпружи»енная кареТха 10 (фи>. 5) с отдельным клином 39 1exа»изма 12 огрьiB;I бракос<энных кристалa0B 8 под дс.иств«еr< привода 41 переме>«а> тгя по I»3 vi ая гибкого >i!3c«feT ii!бкi »с n-.; -щ< ния по отделительному клину 39 ги>3 .Oi. ><0-.«геля 13. Далее включается при: сд 3" (фи>.:1). который приводит Во враще»«е ><вдув>ии валик 26 механизма 14 i ivi<0 i,". i l1ái:nI o»с3си3<зля 13, тем самым осущ с >;ляется перемещение гибкого носителя 1 При праще><ии ведущего валика 26 пе>30>л!:Iöaeòñÿ направляющая 15 гибкого нос.и> ая 13 и вращается валик 33, а так как f ибк«и носитель 13 зафиксирован между парами яликов 25-28, то вращение передаетс«ч,-.p;:з гибкий носитель 13 и на ведомые .3ал« ", "Ь, 27 и 20, направляющую 16 и на >:а,,и.- 24. В результате этого происходит с<а„;сч 1671574 35 Перемещаясь по отделительному клину 39, гибкий носитель 13 перегибается, в результате чего происходит частичное отделение гибкого носителя 13 от кристалла 18. Одновременно с включением привода 38 (фиг. 4), перемещения гибкого носителя 13 включается привод 45 (фиг. 5) валика 44 отрыва кристаллов 18, который вращается навстречу движения гибкого носителя 13 и открывает кристаллы 18, которые по склизу 43 поступают в емкость 19, Гибкий носитель 13, очищенный от кристаллов 18, поступает по направляющим 15 и 16 в емкость 20 (фиг. 4). Гибкий носитель 13 к направляющим 15 и валику 34 не прилипает, так как они покрыты антиадгезивным материалом, например, лак антиадгезивный. После удаления гибкого носителя 13 с рамки-спутника 4 последняя по пневмодорожке 7 (фиг, 1) несущей плиты 6 поступает в кассету 5 механизма 3 приема рамки-спутника 4. Механизм 3 приема рамки-спутника 4 пошагово перемешает кассету 5 с рамками-спутниками 4, освобождая, тем самым, гнездо для следующей рамки-спутника 4. Далее происходит отключение всех приводов. Каретка 30 (фиг. 4) и каретка 40 (фиг. 5) под действием пружин возвращаются в исходное положение. Механизм 2 подачи рамки-спутника 4 (фиг. 1) перемещает кассету 5 пошагово вниз до плоскости несущей плиты 6. Следующая рамка-спутник 4 подается в рабочую зону, и цикл работы устройства повторяется. Формула изобретения 1. Устройство демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и удаления с него бракованных полупроводниковых кристаллов, включающее механизмы подачи и приема рамки-спутника, установленную на основании между указанными механизмами несущую плиту с пневмодорожкой, с соплом, окном и упором, механизм захвата гибкого носителя с приводом и механизм отрыва бракованных кристаллов с гибкого носителя с приводным валиком и отделительным клином, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью автоматизации процесса демонтажа гибкого носителя от рамки-спутника и повышения надежности в работе устройства, оно снабжено механизмом отрыва гибкого носителя от рамки-спутника, выполненным в виде смонтированных на несущей плите вертикальных направляющих и установленной в последних с возможностью возвратно-поступательного перемещения подпружиненной траверсы с приводом и пуансоном, закрепленным на ней с возможностью прохождения через окно несущей плиты, и смонтированными на последней основными и дополнительными направляющими, при этом механизм захвата гибкого носителя выполнен в виде четырех валиков, попарно-параллельно расположенных под окном несущей плиты с возможностью взаимодействия с гибким носителем, одна пара которых смонтирована на несущей плите посредством кронштейна, а вторая — посредством установленной в основных горизонтальных направляющих подпружиненной каретки возвратно-поступательного перемещения, двух дополнительных валиков, смонтированных на несущей плите под основными валиками, и направляющих гибкого носителя, выполненных в виде замкнутых лент, установленных на нижних валиках первой и второй пар валиков и на дополнительных валиках, причем приводной валик закреплен на подпружиненной каретке механизма захвата гибкого носителя, а определенный клин установлен посредством дополнительной подпружиненной каретки возвратно-поступательного перемещения, расположенной в дополнительных направляющих в плоскости основной подпружиненной каретки, при . этом отделительный клин закреплен с возможностью прохождения между первой и второй парами валиков и взаимодействия с гибким носителем, нижний валик одной из пар валиков выполнен приводным, а другой — имеет тормоз. 2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что пуансон выполнен в виде сегмента. 1671574 А1 Фые Ф 1671574 Редактор М. Бланар Заказ 2797 Тираж 469 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва. Ж-35, Раушская наб„4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Ф! Составитель Б. Толчанов Техред М,Моргентал Корректор С. Черни
