Способ контроля плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем обеспечения контроля одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины. В способе формируют интерферограмму контролируемой пластины, преобразуют ее в электрический сигнал и механически воздействуют на пластину в точках, соответствующих временам уширения спектра электрического сигнала до достижения шириной спектра минимальной величины. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (l9) (! 0 (51)з G 01 В 21/00

ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4472184/28 (22) 05.07.88 (46) 23.08.91. Бюл, hk 31 (71) Кау асс и о итех ичес ий им . А.Снечкуса (72) А.В.Рагаускас, K.Á.Hýðóøåâè÷þñ, Я.Ш.Шнейдерис и Г.А.Даубарис (53) 531.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1364865, кл. G 01 В 11/24, 1986. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ

ПЛАСТИНЫ В ПРОЦЕССЕ ЕЕ РАДИАЦИОННОЙ МОДИФИКАЦИИ (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, Цель изобретения — расширение функциональных возможностей путем обеспечения контроля одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины. В способе формируют интерферограмму контролируемой пластины, преобразуют ее в электрический сигнал и механически воздействуют на пластину в точках, соответствующих временам уширения спектра электрического сигнала до достижения шириной спектра минимальной величи- 3 ны. 1 ил, 1672213

Заказ 2829 Тираж 367 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Г1роизлодгтвгнно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля отклонения поверхности твердотельных пластин.

Цель изобретения — расширение функци- 5 ональных возможностей за счет обеспечения контроля одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины.

На чертеже представлена блок-схема устройства, реализующего предлагаемый спо- 10 соб.

Устройство состоит иэ оптически связанных лазера 1, светоделителя 2 и объектива 3, предназначенного для оптической связи с контролируемой пластиной, отража- 15 теля 4, оптически связанного с лазером 1 через первую грань светоделителя 2 и расположенного под углом а к направлению распространения лучей от лазера 1, последовательно соединенных растрового фото- 20 электрического преобразователя 5, аналого-цифрового преобразователя 6, блока 7 цифровой обработки и графического дисплея 8, телевизионного дисплея 9, вход которого подключен к выходу преобраэова- 25 теля 5, плоского столика 10 с системой 11 вакуумного присоса контролируемой пластины, матричного блока 12 с п иглами с приводами, предназначенными для механического воздействия на контролируемую 30 пластину, столик 10 выполнен с п отверстиями, в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питания, выход которого подключен к входу питания блока 12, вход управления блока 12 подключен к второму выходу 35 блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучения, предназначенного для модификации контролируемой пластины, Преобразователь 5 оптически связан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, 40 что направление сканирования его растра параллельно плоскости, проходящей через направления распространения лучей от объектива 3 и отражателя 4. 45

Способ реализуется следующим образом.

Источником 14 модифицируется пластина 15. С помощью лазера 1, светоделителя 2, объектива 3 и отражателя 4 в плоскости 50 преобразователя 5 формируется интерферограмма пластины 15, форма которой отСоставитель М.Куз

Редактор T. И ванова Техред М,Моргент клоняется от плоской под действием модифицирующего излучения. Интерферограмма сканируется с помощью преобразователя 5 и контролируется с помощью дисплея 9. Сигнал с преобразователя

5 оцифровывается в преобразователе 6. При идеально плоской форме поверхности пластины 15 интерферограмма пластины и редставляет собой систему полос с синусоидальным профилем, следовательно, с выхода преобразователя 5 снимается синусоидальный сигнал.

Отклонение формы поверхности пластины 15 от плоскости приводит, к искажению системы полос, что приводит к уширению спектра сигнала на выходе преобразователя 6. В блоке

7 вычисляют координаты точек, соответствующих уширению спектра сигнала с преобразователя 5. По сигналам с блока 7 блок 12 осуществляет механическое воздействие на пластину 15 до достижения минимальной ширины спектра сигнала с преобразователя 5.

Формула изобретения

Способ контроля плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации, заключающийся в облучении контролируемой пластины когерентным излучением, формировании опорного когерентного пучка, распространя1ощегося наклонно к направлению распространения излучения, рассеянного контролируемой пластиной, формировании интерферограммы контролируемой пластины путем смещения излучения опорного пучка и излучения, отраженного контролируемой пластиной, и преобразовании интерферограммы в электрический сигнал путем ее сканирования, о т л и ча ю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем обеспечения контроля одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины, сканирование интерферограммы осуществляют в направлениях, параллельных плоскости, проходящей через прямые, параллельные направлениям распространения опорного пучка и излучения, рассеянного контролируемой пластиной, и осуществляют механическое воздействие на контролируемую пластину в точках, соответствующих временам уширения спектра электрического сигнала до достижения шириной спектра минимальной величины. нецов ал Корректор О.Кундрик