Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков
Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика. Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков заключается в том, что контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. С помощью приемных антенн 5 и 6 принимают отраженную и прошедшую электромагнитные волны и измерительными блоками 7, 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженного и прошедшего излучений. В блоке 9 обработки, выполненном на основе вычислительного управляющего устройства, осуществляют расчет диэлектрической проницаемости. Способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения. 1 ил.
СОЮЗ COBE ТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4700917/09 (22) 05.06.89 (46) 23.08.91, Бюл. М 31 (71) Институт прикладной физики АН БССР (72) С.А.Тиханович (53) 621.317,39 (088.8) (56) Аээам P., Башара Н. Эллипсометрия и поляризационный свет. — М,: Мир, 1981, с. 381, Брандт А.А. Исследование диэлектриков на сверхвысоких частотах — Госиздат физ-мат, лит-ры, 1963, с. 303. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ЛИСТОВЫХДИЭЛЕКТРИКОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения — повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика. Способ изИзобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения относительной диэлектрической проницаемости диэлектриков в авиационной и радиотехнической промышленности. Цель изобретения — повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика. На чертеже приведена структурная электрическая схема устройства, реализующего способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков. Устройство содержит генератор 1 электромагнитного излучения, поляризатор 2, „„5U ÄÄ 1672383 А1 мерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков заключается в том, что контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. С помощью приемных антенн 5 и 6 принимают отраженную и прошедшую электромагнитные волны и измерительными блоками 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженного и прошедшего излучений, В блоке 9 обработки, выполненном на основе вычислительного управляющего устройства, осуществляют расчет диэлектрической проницаемости. Способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения, 1 ил. излучающую антенну 3, контролируемый диелектрик 4, первую 5 и вторую 6 приемные антенны, блоки 7 и 8 измерения эллипсометрических параметров отраженной и прошедшей электромагнитных волн и блок 9 обработки, Способ реализуется следующим образом. Контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. После взаимодействия с контролируемым диэлектриком 4 принимают с помощью приемных антенн 5 и 6 отраженную и прошедшую злектромаг1672383 нитные волны и с помощью измерительных блоков 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженногоо и прошедшего излучений. Полученные значения эллипсометрических углов отраженной и прошедшей волн поступают на первый и второй входы блока 9 обработки соответственно, выполненного на основе вычислительного управляющего устройства, в котором в соответствии с алгоритмом осуществляется расчет диэлектрической проницаемости 4„ .е Формула изобретения Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков, включающий облучение контролируемого где нотр,мэтр,+p,Alp эллипсометрические р, — угол падения электромагнитной параметры отраженной и прошедшей элек- 35 волны на контролируемый диэлектрик. тромагнитных волн; 1 Составитель P.Êóçíåöîâà Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор А.Осауленко Редактор Т.Иванова Заказ 2837 Тираж 396 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, )К-35, Раушская наб„4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 где фЪтр.Aorp, p,À р- эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн соответственно. Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения. диэлектрика линейно-поляризованной волной под углом к его поверхности, прием 15 отраженной и прошедшей через контролируемый диэлектрик электромагнитных волн и измерение их параметров, по которым определяютт диэлектрическую проницаемость, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений за счет исключения влияния на результат измерения толщины контролируемого диэлектрика, измеряют эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн, а диэлектрическую проницаемость определяют в соответствии со следующим выражением:
