Интегральный преобразователь давления

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить чувствительность устройства. В преобразователе кремниевая мембрана 3 выполнена в виде равностороннего треугольника. Вдоль высоты треугольника размещены два тензорезистора 1, соответственно, на расстоянии 0,52 A и 0,35 A от основания. Вторая пара тензорезисторов 1 расположена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на 0,1 A. Каждый резистор второй пары отстоит от вершины близлежащего угла треугольника на расстоянии 0,25 A, где A - длина стороны треугольника. Воздействие измеряемого сопротивления на мембрану 3 преобразователя вызывает изменение сопротивления тензорезисторов 1 с контактными площадками 2 каждой пары с разным знаком. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (п)э G 01 1 9/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

II / g с;

Ю\

О O

Ос V (л)

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3965917/10 (22) 04,07. 85 (46) 30.08,91, Бюл. М 32 (71) Институт физики АН КзССР (72) А.М,Пашаев, Т.А,Асланов и А,А.Кулиев (53) 531.687 (088.8) (56).Заявка ФРГ

hh 2903253, кл.GQ1 3 9/04, 1980, Заявка Франции

hk 2446471, кл. G01 1 9/06, 1980.

Авторское свидетельство СССР

М 1027550, кл, G01 1 9/04, 1983. (54) ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и позволяет повысить чувствительность устройства, В

„,50„„1673394 А1 преобразователе кремниевая мембрана 3 выполнена в виде равностороннего треугольника. Вдоль высоты треугольника размещены два тензорезистора 1 соответственно на расстоянии 0,52 и 0.35а от основания,Вторая пара тензорезисторов1 расположена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на 0,1а; Каждый резистор второй пары отстоит от вершины близлежащего угла треугольника на расстоянии 0,25а, где а - длина стороны треугольника. Воздействие измеряемого сопротивления на мембрану 3 преобразователя вызывает изменение сопротивления тенэорезисторов 1 с контактными площадками 2 каждой пары с разным знаком. 1 ил.

1673894

Составитель А.Зражевский

Техред М.Моргентал Корректор А.Осауленко

Редактор Ю.Середа

Заказ 2911 Тираж 343 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат" Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных сред.

Целью изобретения является повышение чувствительности.

На чертеже схематично изображен преобразователь. Интегральный преобразователь давления содержит четыре тензореэистора 1 с контактными площадками 2.

Тензорезисторы размещены на мембране 3, выполненной в виде равностороннего треугольника, Одна пара тензорезисторов 1 размещена вдоль высоты треугольника так, что один тензореэистор иэ этой пары расположен на расстоянии 0,52а, а другой

- на расстоянии 0,35а от основания. Другая пара тензореэисторов 1 размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на расстоянии . 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника. Величина а равна длине стороны г треугольника.

Интегральный преобразователь давления работает следующим образом.

Измеряемое давление, воздействуя нэ мембрану, вызывает ее деформацию, а следовательно, и изменение сопротивления тензореэисторов 1. При этом изменение сопротивления тензорезисторов каждой пары происходит с разным знаком, что приводит к увеличению чувствительности. Выбранная геометрическая форма выполнения мембраны также приводит к

5 увеличению чувствительности эа счет увеличения значений деформаций.

Интегральный преобразователь давления обеспечивает повышение чувствительности примерно в два раза по сравнению

10 с интегральным преобразователем, в котором мембрана имеет прямоугольную форму выполнения, при одинаковых значениях площадей мембран.

Форма изобретения

15 Интегральный преобразователь давления, содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорезистора, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем мем20 брана выполнена в виде равностороннего треугольника, причем одна пара тензореэисторов размещена вдоль высоты треугольника, один тензорезистор иэ этой пары расположен на расстоянии 0,52а, другой25 на расстоянии 0,35а от основания, при этом другая пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1 а, причем каждый тенэореэистор

30 этой пары расположен на расстоянии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника, гдеа-длина стороны треугольника.