Устройство для измерения перемещений

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при оптических измерениях Целью изобретения является повышение точности путем повышения контрастности интерференционных полос и увеличения соотношения сигнал/шум Излучение лазера поступает на светоделитель. Часть излучения проходит его, отражается от призмы и пересекается на решетке, выполненной из набора капилляров, с отраженным светоделителем излучением При этом образуется интерференционная картина. Интерференционная картина проецируется объективом на два фотоприемника, которые регистрируют интерференционные полосы При перемещении решетки, которая связана с объектом перемещаются полосы. По числу зарегистрированных полос определяют величину перемещения 1 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 В 11/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4703500/28 (22) 08,06,89 (46) 07.09.91. Бюл. N 33 (71) Институт электроники АН БССР (72) В,Н.Ильин (53) 531.717.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1603189, кл. G 01 В 11/00, 1989. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при оптических измерениях, Целью изобретения является повышение точности путем повышения контрастИзобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при оптических измерениях.

Целью изобретения является повышение точности путем повышения контрастности интерференционных полос и увеличения соотношения сигнал/шум.

На чертеже изображено устройство для измерения перемещений.

Устройство содержит лазер 1, расположенные по ходу его излучения светоделитель 2, отражатель 3, растровую решетку 4, первый фотоприемник 5, объектив;б,расположенный по ходу излучения за решеткой 4, второй фотоприемник

7, расположенный симметрично первому относительно оптической оси объектива

6, отражатель 3 выполнен в виде призмы, .

„„. й2„„1675663 À1 ности интерференционных полос и увеличения соотношения сигнал/шум. Излучение лазера поступает на светоделитель. Часть излучения проходит его, отражается от призмы и пересекается на решетке, выпол, ненной из набора капилляров, с отраженным светоделителем излучением. При этом образуется интерференционная картина, Интерференционная картина проецируется объективом на два фотоприемника, которые регистрируют интерференционные полосы.

При перемещении решетки, которая связана с объектом, перемещаются полосы. По числу зарегистрированных полос определяют величину перемещения. 1 ил. а растровая решетка 4 выполнена в виде набора капилляров из оптически прозрачного материала, расположенных в один слой.

Устройство работает следующим образом.

Излучение лазера 1 поступает на светоделитель 2, который делит его на две части.

Прошедшее светоделитель 2 излучение попадает на отражатель 3, выполненный в виде призмы, который направляет его на растровую решетку 4, выполненную в виде набора капилляров из оптически прозрачного материала, расположенных в один слой. Туда же поступает и отраженное светоделителем 2 излучение. Обе части излучения соединяются на решетке 4 с образованием интерференционн ых полос.

Объектив 6 проецирует полосы в плоскость

1675663

Составитель В.Костюченко

Техред M.Moðãåíòàë Корректор M.Øäpoù

Редактор С,Кулакова

Заказ 2992 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент, r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 фотоприемников 5, 7. Сигналы с фотоприемников 5, 7 обрабатываются известными средствами. При перемещении решетки 4, которая связана с обьектом, перемещаются и интерференционные полосы, По числу зарегистрированных полос определяют величину перемещения, Каналы капилляров могут быть заполнены жидкостью, например водой, спиртом, глицерином. Жидкость может быть окрашена, а ее цвет должен соответствовать длине волны лазера 1. В этом случае решетка 4 выполняет функцию светофильтра и устройство может работать в условиях сильной фоновой засветки.

Формула изобретения

Устройство для измерения перемещений, содержащее лазер и расположенные по ходу его излучения светоделитель, отра5 жатель, растровую решетку и первый фотоприемник, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что. с целью повышения точности, оно снабжено объективом, расположенным по ходу излучения за решеткой, вторым фотоприемни10 ком, расположенным симметрично первому относительно оптической оси объектива, отражатель выполнен в виде призмы, а растровая решетка выполнена в виде набора капилляров из оптически прозрачного мате15 риала, расположенных в один слой.