Многодисковый станок для резки

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для обработки неметсллических материалов и может быть использовано при резке хрупких и твердых ма ериалов, а также при резке полупроводниковых пластин на кристаллы, и позволяет увеличить выход годных кристаллов. Это достигается тем, что после резки в отверстие 20 подают под давлением масло , поршень 14 идет влево, головкой 16 поворачивая корпус 6 вокруг оси 9 и поднимая дисковые пилы вверх. После чего стол отводится на исходную позицию выгрузки-загрузки . 2 ил. (Л С о VI оо о СА) сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з В 28 D 1/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4752196/33 (22) 23.10.89 (46) 23.09.91. Бюл. % 35 (71) Научно-исследовательский институт технологии и организации производства (72) В.Н.Вилков, А.Г.Елизаров и Г,В.Шуваев (53) 679.8.053 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

% 613908, кл. В 28 О 1/04, 1977. (54) многодисковый стАнокдля Резки

{57) Изобретение относится к технологическому оборудованию для обработки неме„„5U ÄÄ 1678635 А1 тзллических материалов и мажет быть использовано при резке хрупких и твердых мг- ериалов, а также при резке полупроводниковых пластин на кристаллы, и позволяет увеличить выход годных кристаллов.

Это достигается тем, что после резки в отверстие 20 подают под давлением масло, поршень 14 идет влево, головкой 16 поворачивая корпус 6 вокруг оси 9 и поднимая дисковые пилы вверх. После чего стол отводится на исходную позицию выгрузки-загрузки. 2 ил.

1678635

Изобретение относится к технологическому оборудованию для обработки неметаллических материалов и может быть использовано при резке хрупких и твердых материалов, а также при резке полупровод- 5 никовых пластин на кристаллы, Целью изобретения является.увеличение выхода годных кристаллов.

На фиг. 1 показан станок, общий вид; на фиг. 2 — шпиндельный узел и узел подъема 10 его.

Многодисковый станок для резки состоит иэ рабочего стола 1 с приводом, шпиндельного узла 2 с приводом, механизма регулирования глубины реза и механизма 15 подъема шпиндельного узла. Привод рабочего стола выполнен в виде направляющих

3, по которым перемещается стол 1 с по" мощью гидроцилиндра 4.

Шпиндельный узел 2 состоит из двух, 20 частей корпуса 5 и корпуса 6, один иэ кото. рых,5 установлен с возможностью перемещения относительно второго 6. Корпус 5 шпиндельного узла несет дисковые пилы

7, установленные на валу 8 шпинделя. Вал 25

8 вращается от привода, например электродвигателя (не показан).

Корпус 6 шпиндельного узла несет на себе корпус 5 и установлен на валу 9 с возможностью качания вокруг него. Корпус 6 в 30 нижней части имеет паз 10, а в верхней части микровинт 11, с помощью которого по направляющим 12 перемещается корпус 5 шпиндельного узла. Механизм регулирования глубины реза выполнен в виде со- 35 пряжения "ласточкин хвост", которым соединяются корпус 5 и корпус 6 шпиндельного узла и микровинтэ 11, с помощью которого осуществляется перемещение.

Узел подъема шпиндельного узла вы- 40 полнен в виде гидропривода; содержащего корпус 13, в котором перемещаются поршень.14 и упор 15. Поршень 14 снабжен головкой 16, которая входит к паз 10 качающейся части 6 шпиндельного узла. 45

Корпус 13 гидроприводэ имеет две полости 17 и 18 и отверстия 19, 20, связывающие эти полости с резервуаром (не показан), На рабочем столе 1 закрепля- 50 ется полупроводниковая пластина 22 и он имеет вертикальную ось 23. Рабочий стол, шпиндельный узел и узел подъема шпиндельного узла установлены на станине 21. 55

Устройство работает следующим образом.

На столе 1 закрепляют полупроводниковую пластину 22. Включают гидропривод.

Масло через отверстие 19 под давлением подается в полость 17, перемещая поршень

14 в правое крайнее положение. При этом шпиндельный узел, поворачиваясь вокруг оси 9, опускается в крайнее нижнее положение до упора 15. Затем микровинтом 10 корпус 5 шпиндельного узла поднимают в верхнее крайнее положение.

Стол 1 с пластиной 22 перемещают с помощью гидроцилиндра 4 по направляющим 3 до совпадения вертикальной оси 23 столика 1 и оси шпиндельного узла 2. После этого микровинтом 10 корпус 5 плавно опускают вниз до контактирования алмазных дисковых пил с пластиной, что регистрируется прибором, например емкостным датчиком (не показан). После чего по нониусу микровинта устанавливается требуемая глубина резания, затем пластину разрезают. После окончания резки в отверстие 20 подают под давлением масло, поршень 14 идет влево, головкой 16 поворачивая корпус 6 вокруг оси 9 и поднимая дисковые пилы 7 вверх.

После чего стол 1 отводится на исходную позицию выгрузки-загрузки.

Далее станок работает в автоматическом режиме, точно выдерживая глубину резания: загрузка пластины на рабочий стол, перемещение стола на позицию резки, опускание шпиндельного узла вниз до упора 15, прореэание пластины; подъем шпинделя, возврат стола на позицию разгрузки-загрузки.

Формула изобретения

Многодисковый станок для резки, включающий рабочий стол с приводом, шпиндельный узел с набором алмазных дисковых пил, и механизм регулирования глубины реза, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных кристаллов, он снабжен механизмам подъема дисковых пил, выполненным в виде гидроцилиндра, при этом корпус шпиндельного узла выполнен в виде неподвижной и шарнирно соединенной с ней подвижной части, в которой расположен механизм регулирования глубины резания, а в неподвижной части размещен гидроцилиндр механизма подъема дисковых пил, шток которого размещен в подвижной части корпуса шпиндельного узла.

1678635

Составитель Е. Булеков

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Т. Палий

Редактор А. Мотыль

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3173 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5