Конденсаторный микрофон

 

Изобретение относится к з.чекроакустике. Цель изобретения - повышение надежности работы микрофона при увеличении влагоустойчивости при рабочих температурах выше комнатной. В микрофоне нанесенная на свободную поверхность электретной пленки 2 из оксида кремния защитная пленка 4 выполнена из полиуретана УР-231 и имеет толщину 10-20 мкм. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК,, SU ÄÄ 1697277 А1 (я)5 Н 04 R 19/01, 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ >

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

{54) КОНДЕНСАТОРНЫЙ М!МИКРОФОН (57) Изобретение относится к злекроакустике. Цель изобретения — повышение надежности работы микрофона при увеличении влагоустойчивости при рабочих температурах выше комнатной. В микрофоне нанесенная на свободную поверхность электретной пленки 2 из оксида кремния защитная пленка 4 выполнена. из полиуретана УР-231 и имеет толщину t0 — 20 мкм., ил. (21) 4736163/10 (22) 05.09.89 (46) 07.12.91, Бюл. hh 45 (71) Киевский институт народного хозяйства им. Д.С.Коротченко (72) Г.B.Pÿá÷åíêî, В.И.Красильщикова, А.Г.Розин и И.B,Бербека (53) 534.232(088.8) (56) Патент ФРГ hh 3325961, кл. Н 04 и 17/00, 1985.

Авторское свидетельство СССР

М 1621184, кл. Н 04 Я 19/01, 1989.

Х

1

11

О

1697277

Изобретение относится к электроакустике и может быть использовано при изготовлении микрофонов на основе SlQQ электретов с повышенной влагоустойчивостью.

Цель изобретения — повышение надежности работы микрофона путем увеличения влагоустойчивости при рабочих температурах выше комнатной.

На чертеже показан схематично конденсаторный микрофон.

Конденсаторный микрофон содержит неподвижный электрод 1, представляющий собой полированный до 14-го класса кристалл кремния марки КЭФ 4.5 с ориентацией < ill>, толщиной 300 мкм, размером

6х6 мм, отверстием 0,8-1 мм, оксидную

2 пленку 2 толщиной 1,3 — 2 мкм, полученную методом влажного окисления при 1000 1 С, защитное покрытие 3 толщиной 10-20 мкм, полученное центрифугированием лака УР231 (ТУ 6-10-863-84) с добавками отвердителя ДГУ (ТУ 6-03-388-75), кольцевую прокладку 4 из ПЭТФ толщиной 10-20 мкм, мембрану 5 из полиэтилентерефгалатной пленки толщиной 5 — 10 мкм, металлическое покрытие 6 на поверхности мембраны, обращенное к неподвижному электроду 1; воздушный зазор7 5-10 мкм, отверстие 8@0.8 — 1 мм, корпус 9, акустический объем (полость

10), металлическое (алюминиевое) покрытие

11 на электроде.

Защитное покрытие YP-231 толщиной

10-20 мкм наносят на поверхность оксидных пленок до их электризации в коронном разряде методом центрифугирования при скорости вращения подвижной части центрифуги 5-6 тыс. оборотов/мин. Нанесение лака УР-231 осуществляют на пластины кремния@100 мм, предварительно проскрайбированные с обратной стороны алмазным диском на кристаллы размерам 6хб мм, По2 еле сушки лака при температуре 60-80ОС в течение 6 — 7 ч пластины разламывают на кристаллы и электризуют их в коронном разряде при температуре 160+.5" С и постоянным напряжением 4 — 5 кВ с отрицательным смещением на электроде, состоящем из на. бора стальных игл и перекрывающего полностью рабочую поверхность кристалла.

Расстоя ние от коронирующего электрода до поверхности кристалла составляло 9-10 мм, Температура электризации 160+5 С обус5

35 ловлена тем, что при этой температуре наблюдалась оптимальная влагоустойчивость заряженных пленок S!0z и формировалась наиболее устойчивая модификация гидрофобного кремнийорганического соединения. Толщину пленки YP-231 регулируют скоростью оборотов подвижной части центрифуги и огоаничивают величиной 10-20 мкм в связи с тем, что при опщине менее l0 мкм ухудшались влагозащитные свойства покрытия, а при толщине более 20 мкм уменьшилась чувствительность микрофона из-за. снижения плотности индуцируемого заряда на мембране с увеличением расстояния между заояженной поверхнг-стью Э02 и мембраной.

Покрытие на основе лака YP-231 устойчиво к воздействию морсза, влаги, различных растворителей, например -пирта, бензина, ацетона, обладает высокой адгезией к различным материалам. При использовании данного лака приповерхностная область SION не насыщается высокоподвиж+ + ными ионами Na, К.. Достоинство лака YP231 состоит также в том, что он не заряжается и не разрушается в коронном разряде при температуре электризации 160+5 С. Это одно из важных свойств защитного лака, способствующее стабилизации заряда электр ета.

Темпера.",урные испытания 5!02-электретов при повышенной влажности проводят путем выдержки образцов (кристаллов) в эксикаторе, помещенном в термостат, при

+ 5о Формула изобретения

Конденсаторный микрофон, содержаший неподвижный кремниевый электрод„ полимерную мембрану и изоляционную кольцевую прокладку между ними, причем обращенную одна к другой поверхности неподвижного электрода и мембраны покрыты электретной пленкой оксида кремния и металлической пленкой соответственно, а на свободную поверхность электродной пленки из оксида кремния нанесена защитная пленка толщиной 10-20 мкм, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности в работе путем увеличения влагоустойчивости при рабочих температурах выше комнатной„защитная пленка ьыполнена из полиуретана УР-231.