Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям
l75 584
ОП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 31.Ъ" 111.1964 (¹ 919144726-25} с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1965. Бюллетень М 20
Дата опубликоваш|я описания 22.1.1966
Ь;л. 2lg, 36
Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
МПК G 21
УДК 621.384.83 (088.8) В. В. Зашквара, М. И. Корсунский и О. С. Косма
Авторы изобретения
Заявитель
АНАЛИЗАТОР ЗАРЯ7КЕННЬ1Х ЧАСТИЦ
ПО KH HE i È× ÅÑÊÈM ЭНЕРГИЯМ ласть между цилиндрическими электродами, образовал с осью Л прибора угол а=42 20 .
Внешнему электроду сообщается потенциал
Ь, абсолютная ьеличина которого должна
5 !Г 1нх быть не менее, чем — — — (где q — заряд ч частицы, юг — кпнематическая энергия частиц), а знак должен совпадать со знаком анализируемых частиц. Таким образом, между
I0 цилиндрическими электродами создается тормозящее заряженные частицы поле, обладающее свойствами электростатического зеркала.
Отразившись от поля, пучок моноэнергетических ионов проходит через кольцевую щель 4
15 и возвращается в область нулевого потенциала, создавая в точке А изображение источника.
В плоскости изображения располагается диафрагма б с малым круглым отверстием, 20 центр которого находится на оси прибора. За диафрагмои помещается детектор заряженных частиц 7, в качестве которого может быть использован фарадеев цилиндр.
Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям, содержащий два электрода
30 и приемник, отличаюигийся тем, что, с целью
77одписная группа № 97
Известны анализаторы для определения энергетического состава пучков заряженных частиц по кинетическим энергиям, выполненные в виде двух параллельных пластин, между которьв|и создано однородное электрическое поле.
В предложенном анализаторе электроды выполнены в виде двух коаксиальных цили дров, внешний из которых заряжен одноимеп»о с зарядом частиц, а внутренний имеет две кольцевые щели, распологкенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, располохкены на оси цилиндров. В результате чувствительность анализатора значительно повысилась.
На чертеже изображена схема прибора.
Анализатор состоит из двух коаксиальных цилиндрических электродов с и 2, между которыми создается тормозящее заряженные частицы поле. Внутренний электрод имеег две кольцевые щели D и 4, расположенные на некотором расстоянии одна от другой по оси прибора, Источник заряженных частиц 5 размещается на оси прибора. Он так же, как и внутренний электрод, находится под нулевым потенциалом. Взаимное расположение источника и кольцевых щелей выбирается таким образом, чтобы центральный луч ионного пучка, попадающий от источника через щель г в обПредмет изобретения
175584
Составитель М. Пантелеев
Редактор И. Карпас Текред Л. К. Ткаченко Корректор В. П. Федулова
Заказ 3721/1 Тираж 1575 Формат бум. 60)(90 /q Объем 0,13 изд. л, Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по дела.r изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сап иова, 2 повышения чувствительности, электроды выполнены в виде двух коаксиальных цилиндров, внешний из которых заряжен одноименно с зарядом частиц, а внутренний имеет две кольцевые щели, расположенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, расположены на оси цилиндров.
