Способ регулировки емкости микропленочного

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

177Ф89

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21g, 10от

Заявлено 06.11.1965 (№ 942184/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08.1.1966. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 16.II.1966

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

МПК Н 01g

УД К 621.523:621.8 (088.8) Автор изобретения

Ю. С. Израйлев

Заявитель

СПОСОБ РЕГУЛИРОВКИ ЕМКОСТИ МИКРОПЛЕНОЧНОГО

КОНДЕНСАТОРА

Известные способы регулировки емкости микропленочных конденсаторов, основанные на изменении площади верхней обкладки конденсатора постепенным ее «сцарапыванием» под микроскопом, характеризуются недостаточно точной подгонкой емкости под номинал (не выше 20%) и не дают возможности автоматизировать процесс регулировки.

По предлагаемому способу точность подгонки емкости конденсатора под номинал повышается благодаря управлению подвижным трафаретом при одновременном контроле величины емкости в процессе напыления.

На чертеже приведена схема установки с подвижным трафаретом для пояснения QIIi. сываемого способа.

В вакуумной камере 1 на основании 2 укрепляют подложку 8. Трафарет 4 перемещают по отношению к подложке с помощью двигателя 5 с редуктором (на чертеже не указан).

Через щель 6 на подложку наносят пленку металла от испарптеля 7.

Емкость измеряют прибором и по достнже5 нии заданного значения трафарет автоматически останавливают.

Предмет изобретения

Способ регулировки емкости микропленоч10 ного конденсатора, изготовляемого напылением в вакуумной камере, основанный на изменении площади одной нз обкладок конденсатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности подгонки емкости конденса15 тора под номинал и упрощения автоматизации процесса подгонки, площадь обкладки конденсатора регулируют, управляя подвижным трафаретом при одновременном контроле величины емкости в процессе напыления.

177939

Составитель В. Агапов

Редактор Л. А. Ильина Текред T. П. Курилко Корректоры: Е. Д. Курдюмовап О И Попова

Заказ 208/5 Тираж 1475 Формат бум, 60)(90 /ц Объем 0,13 изд, л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2

Способ регулировки емкости микропленочного Способ регулировки емкости микропленочного 

 

Похожие патенты:

 // 198455

Заявленное изобретение относится к области электротехники и направлено на предотвращение изменения емкости при смещении электродов, расположенных один напротив другого через слой диэлектрика. Емкостный прибор согласно изобретению содержит слой (10) диэлектрика, первый электрод (11), выполненный на заданной поверхности (10а) слоя (10) диэлектрика, и второй электрод (12), выполненный на противоположной поверхности (10b) слоя (10) диэлектрика. Первый и второй электроды (11, 12) выполнены такой формы, чтобы даже в случае смещения первого электрода (11) в заданном направлении относительно второго электрода (12) площадь перекрывающейся области противоположных электродов между первым электродом (11) и вторым электродом (12) оставалась неизменной. Повышение стабильности работы емкостных приборов с переменной емкостью является техническим результатом заявленного изобретения. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 61 ил.

Изобретение относится к радиоэлектронике, конкретно к электронакопительным устройствам

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве тонкопленочных гибридных и монолитных интегральных схем при изготовлении тонкопленочных конденсаторов

Изобретение относится к конденсаторам постоянной емкости

Изобретение относится к электротехнике, а более конкретно к слоистым пленочным электродам для электролитических конденсаторов, слои которых имеют существенные отличия по составу и физической структуре

Изобретение относится к радиотехнике, к радиотехническим элементам, применяемым в электрических цепях с частотной избирательностью, и может быть использовано в трактах промежуточной частоты радиоприемных устройств

Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно к способам изготовления многослойных нанокомпозитов для конденсаторов, в частности наноструктур металл-диэлектрик-металл (МДМ) с нанометровой толщиной слоев
Наверх