Устройство для дозирования газа в вакуумные камеры
l785l5
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12.VIII.1963 (№ 852063/26-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.I,1966. Бюллетень ¹ 3
Дата опубликования описания 4.III.1966
ЧПК 6 OII
УДК 66.028:533.59(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы !!зобретения
В. С. Маринченко и А. И. Нахимовский
Рижский приборостроительный завод г ат!в!!тс. !ь
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАНИЯ ГАЗА
В ВАКУУМНЫЕ КАМЕРЫ треугольной, трапецеидальной, круглой н т. д.
Величина проходного сечения паза регулируется микрометренным приспособлением 7.
Давление газа в дознрующем натекателе
5 поддерживается в заданных пределах манометром и регулятором давления. Для регулирования времени истечения газа может быть применено стандартное реле времени, связанное с мембранным пневмопрнводом.
Устройство для дозировання газа в вакуумные камеры, содержащее дознрующнй нате15 катель, мембранный пневмопривод, манометр, редуктор давлегн!я н баллон сжатого газа, отличQrîщееся тем, что, с целью повышения точности дознрования, дозирующий натекатель выполнен в виде шарового подпружинен20 ного клапана и дозирующей иглы со спиралеобразным пазом переменного сечения, регулируемого микрометренным приспособлением.
Известны устройства для дозирования газа в вакуумные камеры, в которых дозирующий натекатель выполнен с постоянным проходным сечением.
В предлагаемом устройстве дозирующий натекатель выполнен в виде шарового подпружиненного клапана и дозирующей иглы со спиралеобразным пазом переменного сечения, регулируемого к!!!крок!етреннык! прнспособл=пнем. Такое выполнение устройства повышает точность дозирования.
На чертеже изображено предложенное дозирующее устройство.
Дозирующий натекатель выполнен в виде дозирующей иглы 1 со спиралеобразным пазом 2 переменного сечения и шарового подпружиненного клапана 8. Дозирующая игла, сидящая на штоке 4, приходит в движение от мембран 5 пневмопривода, открывает шаровой клапан и, пройдя уплотнительную прокладку б, начинает пропускать газ. Форма выполнения паза может быть любой: конусной, Предмет изобретения
178515
Составизсль Н. Г. Рудакова
Редактор Н. С. Коган Техрсд А. Л. Камышникова Корректоры: В. П. Федулова и О. Б. Тюрина
Заказ 412/11 Тираж 1150 Формат бум, 60)C90 /8 Объем 0,13 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Тппог1афия, пр. Сапунова, д. 2
