Патент ссср 178917
00 l789I7
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Своз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 20.07.64 (21) 913256/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 05.09.74. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 27.01.75 (51) М. Кл. Н Olj 3/02
Н Olj 27/00
Государственный каинтет
Саввта Мнннстрпа СССР па .целан нзарретеннй
N аткрытнй (53) УДК 621.384.6. .038.61(088.8) (72) Авторы изобретения
О. И. Ехичев, И. М. Карнаухов и Р. П. Слабоспицкий
Известны источники поляризованных ионов с перпендикулярным распространением электронного пучка и атомарного газа. Они содержат круговые оксидные катоды, экраны, введение которых приводит к распространению разряда без искажений, коллектор электронного пучка, оптику Пирса, анод.
В предлагаемую конструкцию ионизатора введен управляющий электрод, соединенный как единое целое с экранирующим электродом и расположенный в пространстве анод — коллектор электронов. В результате помимо подавления фоновых эффектов, увеличения эффекгивности иочизации, уменьшения разброса по энергии ионов обеспечены условия получения максимальной ионизации поляризованных ионов, На чертеже изображен предлагаемый ионизатор.
Атомарный газ проникает сквозь отверстие круглого оксидного катода 1. Оксидный катод
1 и анод 2 создают поток электронов, движущийся соосно с атомарным пучком. Управляющий электрод 3 соединен как единое целое с экраном 4. Коллектор 5 также соединен с экраном 4 Источник ионов укреплен при помощи флянца 6. Все электроды выполнены из меди и крепятся на молибденовых стержнях, поверх которых надеты изолирующие трубки из кварца.
Электроны ускоряются до 1000 — 1500 в и, проходя через отверстие в аноде, попадают в тормозящее поле. Через отверстие в управляющем электроде, расположенном на расстоянии 3 — 5 мм от анода, электроны выходяг с энергией в 200 эв и снова попадают в тормозящее поле между управляющим электродом и коллектором электронов, расстояние между которыми равно 60 — 80 см. Положительные
10 ионы, образованные в этом пространстве, в результате ионизации газа электронами будут устремляться к коллектору и через отверстие в нем выходить из ионизатора.
Предмет изобретения
Ионизатор с трехэлектродной электронной пушкой для источника поляризованных ионов
20 с соосным движением пучка электронов и атомарного газа, содержащий кольцевой оксидиый катод, анод, коллектор электронов, экраны (экранирующие электроды), о т л и ч а ющи и с я тем, что, с целью увеличения эффек25 тивности ионизации, уменьшения разброса ионов по энергии, образованных в данном ионизаторе, уменьшения фонового эффекта, разделения условий получения максимального электронного пучка от оптимальных условий
30 ионизации и получения максимума поляризо178917 22ЕБ Бз
Составитель Б. Попов
Техред Г. Дворина
Редактор Н. Каранова
Корректор Т. Хворова
Заказ 37/! Изд. № 209 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 5Ê-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ванных ионов, в него введен расположенный в пространстве анод — коллектор электронов управляющий электрод, соединенный как единое целое с экраном.
