Теплоэлектрический вакуумметр

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам контроля вакуума. Цель изобретения - расширение диапазона измеряемого давления. Это достигается за счет изготовления чувствительного элемента составным из.проволочной части 5 и 6 и пленочной части 2, которая нанесена в виде тонкой пленки на подложку 1, закрепленную в поддерживающей рамке или вилке при помощи растяжек 5, 6. При этом одна из растяжек выполняет также функцию проволочного преобразователя теплового вакуумметре. Тонкопленочная и проволочная части теплового вакуумметра соединены электрически последовательно. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕ CKHX

РЕСПУБЛИК (19) (l I) (5))э G 01 3 21/10

ГОсудАРстВен(ый КОмитет

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 4

О (л)

О

О

ОО

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4713768/10 (22) 10.05.89 (46) 07.01.92. Бюл. hk 1 (71) Научно-исследовательский, проектноконструкторский и технологический институт тяжелого машиностроения

Харьковского завода "Электротяжмаш" им.

В.И.Ленина (72) И.А.Циммерман (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

O 304468, кл. G О1 L 21/10, 1971. (54) ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВАКУУММЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам контроля вакуума. Цель изобретения — расширение диапазона измеряемого давления. Это достигается за счет изготовления чувствительного элемента составным из.проволочной части 5 и 6 и пленочной части 2, которая нанесена в виде тонкой пленки на подложку

1, закрепленную в поддерживающей рамке или вилке при помощи растяжек 5, 6. При этом одна из растяжек выполняет также функцию проволочного преобразователя теплового вакуумметра. Тонкопленочная и проволочная части теплового вакуумметра соединены электрически последовательно.

1 ил.

1703998

Формула изобретения

Теплоэлектрический вакуумметр, содержащий корпус. в котором установлена поддерживающая рамка, снабженная электрическими выводами, к которым подключена тонкая металлическая проволока, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения вакуума, в него введена пленочная подложка с изолирующим слоем, на поверхность которого нанесена тонкая металлическая пленка, при этом подложка закреплена на поддерживающей рамке при помощи растяжек, а тонкая металлическая пленка подключена электрически последовательно с тонкой проволокой к электрическим выводам.

Составитель А.Зосимов

Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор С.черни

Редактор M.Áëàíàð

Заказ 56 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам измерен и я ва куума.

Целью изобретения является расширение диапазона измерения вакуума в сторо- 5 ну более высокого давления, при сохранении высокой чувствительности в области низкого давления.

На чертеже показана схема теплоэлвктрического вакуумметра. 10

На тонкой прочной подложке 1 (например, окисленная металлическая фольга) нанесена пленка 2, выполненная из материала с высоким температурным коэффициентом сопротивления (например, платина). На кра- 15 ях пленки 2 к контактным пластинам 3 и 4 присоединены с надежным механическим и электрическим контактом растяжки, выполненные иэ тонких прочных нитей 5 и 6, иэ которых, как минимум, одна выполнена из 20 материала с высоким температурным коэффициентом (например, вольфрам). Кроме того, имеются растяжки, присоединенные с надежным механическим контактом к подложке 1. Все растяжки свободными конца- 25 ми присоединены с натягом к установочной рамке 7, причем в случае, когда установочная рамка 7 выполнена из металла, токоподводящие растяжки 5 и 6 присоединяются к ней через диэлектрические разрывы с кон- 30 тактными пластинами 8 и 9, к которым присоединяются провода внешней цепи

10 и 11.

Теплоэлектрический вакуумметр работает следующим образом. 35

По проводам внешней цепи 10 и 11 через растяжки 5 и 6 по пленке 2 пропускается электрический ток. Теплоэлектрический saкуумметр может работать в режиме постоянного напряжения, постоянного тока либо 40 при постоянной температуре вне зависимости от режима работы под действием электрического тока пленка 2 и растяжки 5 и 6 нагреваются. Как.минимум одна из растяжек 5 и 6, а также пленка.2 выполнены иэ 45 материала с высоким температурным коэффициентом сопротивления, поэтому их сопротивления в результате нагрева увеличиваются, Молекулы остаточного газа, находящиеся в объеме, где установлены манометр, ударяясь о растяжки 5 и 6 и пленку

2, забирают часть энергии, т.е. охлаждают их. Величина охлаждения, а следовательно, и величина электрического сопротивления растяжки и пленки пропорционально зависят от величины остаточного давления.

Когда вакуум в системе высокий, то максимальная чувствительность будет у пленки

2, так как она имеет значительно большую площадь поверхности, чем площадь поверхности растяжки 5 или 6, одна из которых изготовлена из материала с высоким температурным коэффициентом сопротивления.

В этом случае чувствительность растяжки 5 или 6 будет много меньше чувствительности пленки 2, и растяжка будет просто балластным сопротивлением в цепи. Напротив, с ухудшением вакуума чувствительность пленки 2 понижается и становится много меньше чувствительности растяжки 5 или 6, выполненных из тонкой проволоки, т.е. в области низкого вакуума растяжка 5 или 6 является чувствительным элементом схемы, а пленка 2 становится балластным сопротивлением.