Манипулятор для герметизированного пространства вакуумной камеры

 

Изобретение относится к робототехнике и касается манипуляторов, предназначенных яяя захвата и перемещения пластин больших и сверхбольших интегральных схем в вакууме или иной контролируемой технологической среде. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем обеспечения степеней подвижности механической руке. МаниEEU -З-з 1--Г 3 у/ /, 7 12 ,4 75М5йУрьГ г-1Ш%г,а .и-kj в 7 фиг.1 пулятор состоит из полого корпуса 1, смонтированного на вакуумной камере , механической руки 3, установленной внутри полого корпуса 1 посредством подпружиненных опор 2, выполненных в виде винтовых пружин 6, закрепленных на стенке полого корпуса 1 с помощью упругих диафрагм 7 и резьбовых муфт 8 и связанных с |корпус6м 5 механической руки 3 посредством опор 9. Привод линейного перемещения механической руки размещен в полости стаканг. t,a привод поворота механической руки выполнен в виде двигателя 11, размещенного на полом корпусе 1, и ленточной передачи, шкивы которой установлены соответственно на палу двигателя и на одной из опор 9. 2 ил. Ш 9 5 TT- JAfW-ШАМММЛ 1 :ЙЙ11|1 Ь «ii liiiJli . i.ii |.|; Шъ№й№ -vj О Ol O5 cs Хух УХЛХ Х 1чХХХУ У Л.чхУ

СОЮЗ CO=-, ТМ Х

ССЦА|Х;1СТКЧЕ(ЖИХ

r-ссПУБЛИ -(А1 бреу 1 к р у у р ре Фв «Ф & "с г ® н д $ ф IF р,,,",,ил . : „;..., " ».

3 k i.=-"м ью гасам сто".-.н :..;й иСМиткт

ДО ИЯСБРЕ1Б т<Ч И ОТНРЬГГЫЛЫ пРи Гинт ссО (21} 4735304/О8 (22} 27,07.89 (46) 15.0 1.92. Бюл. М 2 (75} Е.В.Руднев (5;} 62-229.72(088.8} (56} Авторское свидетельство СССР и 1618651, кл. В 25 Л 11/00, 1988. (54) ИАнипУлЯтОР glslR ГеРметизиРОВлнНОГО ПРОСТРАНСТВА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ (57) Изобретение относится к робототехнике и касается манипуляторов, предназначенных для захвата и перемещения пластин больших и сверхбольших интегральных схем в вакууме или иной контролируемой технологической средс. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем обеспечения степеней подвижности механической руке. Мани

2 пулятор состоит из полого корпуса 1, смонтированного на вакуумной камере, механической руки 3, установленной внутри полого корпуса 1 посредством подпружиненных опор 2, выполненных в виде винтовых пружин 6, закрепленных на стенке полого корпуса 1 с помоцью упругих дна Ф ра гм

7 и резьбовых муФт 8 и связанных с, корпусом 5 механической руки 3 посредством опор 9. Привод линейного перемещения механической руки размец|ен в полости стакана 4,а привод поворота механической руки выполнен в виде двигателя 11, размешенного на полом корпусе 1, l1 IleHTokH0H а

И передачи, шкивы которой установлеCf ны соответственно на «алу двигателя и на одной из опор 9. 2 ил.

1705069

Изобретение отнпс тсл к робо«>технике и кас«етт л нанл-пуг. ;<пег», пр;-<дназначенных для захгата н перемещення пластин больших и св,рхбольшнх интегральных схем в вакууме или иной контролируемой технслогичсской среде.

Целью изобретения явллется расширение технологнческик возмокностей путем придания манипулятору дополнительной степени своЬоды.

На фиг. 1 изображен м=. Ф1пулятцр, общий вид; на Фиг. 2 - то же, вид в плане.

Манипулятор для герметизированного 15 пространства состоит из полого корпуса 1, закрепленного иа вакуумной ка-, мере, внутри которого аосредством двух соосных подпружиненных опор 2 уста-, новлена механическая рука 3 с приво- 20 дами линейного перемещения и поворота.

Привод. линейного перемещения содержит электродвигатель и червячный редуктор (не показан), эакяюченные в стаканы 4, герметичнсэ укрепленный íà 25 корпусе 4 механической руки 3.

Каждая из подпружмненных опор 2 выполнена в виде винтовой пружины 6, закрепленной на стенке полого корпуса 1 посредством упругой диафрагмы

7 и резьбовой муфты 8, обеспечивающей регулировку поломения геометрической оси механической руки 3.

Для этого в центральных отверстиях резьбовых муфт 8 установлены опорные 35 штиФты (боковые отверстия в этих муфтах предназначены для ключа). Опорные штифты передают осевое усилие через диаФрагмы 7, смсммая таким образом винтовую пружину 6. Иа другом 40 конце винтовой пружины 6 установлена опора 9, выполненная в виде цилиндра с глухой внутренней расточкой,- номинальный диаметр которой равен наружному диаметру винтовой пружины 6. Эта 45 расточка является посадоч ым гнездом закрепляемой в нем винтовой пружины

6. На противоположном торце цилиндров

Ъ вь.полнены захватные губки 10, представляющие собой цилндрическую сед- 50 ловину, радиус которой соответствует диаметру устанавлигаел.го в ней корпуса механичаской руки 3.

Опоры 9 слу> з т длл жесткого закрепления В них СВГ; <одных концов винтовых пружин 6, à заходя гные губки 1О для закрепления корпуса механической руки, Прнтод поворота механической руки выполнен в виде двигателя 11, установленного на полом корпусе 1, и ленточной передачи, ведущий шкив 12 которой закреплен на валу двигателя

il, а ведсмь|й шкив 13 - на одной из опор 9, при этом для герметизации ленты 14 в зонах ее прохода через стенку полого корпуса 1 применены сильфоны 15.

Формула и з о б р е т е н и я

Манипулятор для герметизированного пространства вакуумной камеры, содержащий механическую руку, включающую корпус и схват, в также привод линейного перемещения механической руки, о т л и ч а ю ц< и и с я тем, что, с .целью расширения технологических возможностей путем обеспечения дополнительных степеней подвижности механической руке, он снабжен полым корпусом, закрепленным на стенке ва-куумной камеры, стаканом, установленным на корпусе механической руки, подпружиненными опорами, установленными соосно одна с другой внутри полого корпуса, и приводом поворота механической руки, выполненным в виде двигателя, размещенного на стенке полого корпуса, и ленточной передачи, причем привод линейного перемещения механической руки размещен в полости стакана, а каждая из порпруяиненных опор выполнена в виде упругой диаФрагмы, резьбовой му ты, опорного элемента и винтовой пружины, орин конец которой посредством упругой риаФрагмы и резьбовой л1уФты закреплен на стенке полого корпуса, à лругой посредством опорнсго элемента связан с корпусом механической руки, при . этом вадущ.;й шкив ленточной перадачи установлен на валу двиг<1телл, а ведомый - на сдном из опорных элементов.

Составитель В. иряева

Техрел А.Ераочук, Корректор А.Обручар

Редактср И.Бандура ю е

Ю Ф Заказ 157 Тирам Подписное

ВНИ11ПЛ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ CCCP

113035, Иосква, Ж-35 Раушскэя иаб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул.Гагарина, 101