Устройство возбуждения высокочастотного газового разряда

 

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано в электровакуумной технологии, атомной физике, спектросг.-лшн, лазерной технике и др. В предлагаемом устройстве для повышения однородности высокочастотного (ВЧ) поля в резонаторе , с -одновременным увеличением знерговхлада в плазменный объем, к ВЧ-резонгтору 1, который выполнен кольцевым , в точках, отстоящих друг -от друга на tt/2 + 2nN радиан (,1,2...), че- pei; волноводные тракты 4 подюгнэчены синхронизированных кагнетронных генератора 2,3, причем в пелновсдшли тракт генератора 3 ьключ ен фазоврапгдтель 5. При работе устройства в резо-- наторе возбуждается электромагнитное поле, имеющее вид бегущем волны, и происходит суммирование энсг-пш от двух генераторов. 2 .ил. a 3 f

ГОС -Д/ РОТЕ:=ККЯ1 КСЯИТЕТ

ПО РЕБР"ТЕКЙЯ14 И О ИРЫТИ@4

ПРИ ГКНТ С . ю 7

М ЯЬЗЮ9

Ф (21) 46о 391/21 (22) 23.05.89 (46) 15.01.92. Бюл. ",- 2 (71) Новосибирский электротехнический инстит тт (72) К. P. Пивчик, Н. В.Якушева, В.А. Хрусталев и Л,M. Геллер (53) 621.387(088 8) (56) Гойiжан В,Х., Гольдфарб В,М.

Высокочастотнь и HH, ) кциОиный нагpc >

М,, 1974, Райзер 1), 1. Физика газового разряда. M. Наука, 1987, с. 462-453. (54) УСТРОЙСТВО ДХГ ВОЗ чЕДЕШ1Я ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА (57) Изобретение относится к газораэрядной технике и мокет быть использовано в элект1 овакуумной технологии, атомной физике, спектрос -эпин, лазерной технике и др. F> предлагаемом устроистве для говышения опнородности высокочастотного (ВЧ) поля в резонаторе, с одновременным увеличением знерговклада в плазменный обьем, к ВЧ-резон..тору 1, которьй выполнен кольцевым, в точках, отстоящих друг от друга на я/2 + 2 3 радиан (И=+0,1,2...), чере= волноводные трактв 4 подк гочеиы л-,а синхроннэированньис магнетронных генератора 2, 3, причем в ".-,oiI .оводы,1й тракт генератора 3 включ .н фазовра"tатель 5. При работе устройства в резо наторе возбуждается электромагнитное поле, имеющее вид бегуп,ей волны, н про;сход;:г суммирование энергии от двух генераторов. 2 ил.

Ю Р Я

СОСТЛ)liiTOcl ° С . !) i:iil1l!

Тс:,..Ц,)1. j,ттдьц,)-. 1 0;>р, I(Top p. ;p);).1; р.Д 11; Т,-Р I, т ог

° ..т 1 - 3 1(30

1)0,!1)711 710i . цp)!

0 11" )! pi i 0331 17 0 .м) I 10) р

Г Г Г Е.

1 3 )3 3 $ o, „" o г -т> 1 ., с;.а" 1!аб. l 4/.) !

)Гзот".э! 37„.:с; 7! в в o-))а;,) )1 с. 11.01;)тi» ко." . ) 3)та ; 1 i i с i "Г, 1 )):;. o, o,z -c i 1) f ) p) f а у

Го 73)3(.-ДС)П) 710,ло. 1)ИТРЛ)ü))Ã4 ))) )С0КОЧПCTOT )tb)if 1 : )! 07) а -,op с 1)n:7 )10Б 07111) 04 тp 3)l—

ТО;.! CZ !I pO)fZI.3) lp 073))fifl т:.т С OC)IO;-i llf l. f

Г е ) ер «Л т op 0l! тт фа 3 01 . р ".II(0 T (л ь, 0 о с с !1 сч)тт)а:.:;::,"! с,;, 1)Г г)а,„; !"/2., Гр!т тс-: ре.- o/-/ кятотз т) ))ол!)етт кол) !те-3)т:т, а до)тол)313-Тi 3if>)fi i;, . Ст;< Ра-" );i Пот!);.77:7)Ч П К )С. 30)таТо у ".. ре:4 <1)азоврт)) fëTC ü, )IJ и . то.;—

Ка )i i, !) тт!д .!е)1 3Ë Г l ОрО) 0 i 0) l р, 1, ),i5 К рсаОlтатоpу Отс ГО lт oò То 1)".1 по ."пк)чс п !): и Р))оz 0 )тд !i /? 4 / li Ра,, та i у )Де 1 — целое ч!!сто.

t3 :G т