Устройство для измерения электрофизических параметров материалов

 

Изобретение относится к вакуумнон электронике. и может быть использовано для определения электрофизических параметров металлов н полупрсзодннков. Целью изобретения является распиренне функциональных возможностей устройства, а также noBi.nue.Hiie чувствительности и точности измереии: -. Устройство содер сит источник эл ктронов 2, ось которого направлена на образец/ установленный в держателе 3, эллиптическое зеркало 4 с фокусом на образце. Второй фокус зеркала 4 расположен на узкополосном светофильтр. 6. За ним находится детектор излучения 7. Система регистрации содержит два канала 9, 10, 11 и 12, 13, 14, содерж. дне синхронные детекторы (СД) Юн 13. Опорные входы СД подключены к генератору 15. Блок развертки 16 осуществляет сканирование по энергии электронов. Снимая вольтамперную кривую на обгазце и находя перегиб, находят уро .ень энергии вакуума. Одновременно снимают изохроматный спектр и точку перегиба на нем. По этим данным находят сродства к электрону исследуемого образца . 1 ил. i Q S3 А

р,- р р р В.Е рр, Г ".рЗ r-..«,;,Лр! i a. i!! p, !" .» ЛрргЧ J r « ! i I !i / f )

Ij ь " !e ЬВ Ы ь )г Ь Е р - "

0 1Я!.. j j T::; г .".1 °, рн .

Г-1 гД,г )- гг

i-.;1 4 »а »а г а

И

1= "» (. ась

OCYггАК: 1.=, - "-j !1 НО)гг1ТЕТ

rlO И -- ;Э ..РЕТсг! !Г 4 И OT 1РЬ1 Ф .ЯМ

ПРИ П-!Ч1 СС .Г (21 ) 4 7 68284! 21 (22) 13. 12. 89 (46) 15,01, 92. Бюл. )р 2 (71) Ленинградский государственный университет (72) 0.11.Артамонов, С.H.Самарин

H H.И..яковлев (53) 621.384(088.8) (56) Б гаыЬ ..". еc а1. Р"jysi cal

Reviews, 1986, v В 15, р. 2607-2614. т1атент 1 .ПВ " 00654.56, кл. 0 01 1 73!225, опубл :к. 1982. (54) УСРО1 СТМ т Л 113 .1г.1! ..HTL1 ЗГГКТРОЖЗИ П С13Е )U РА ПТР )В 1,ЛТЕР1У„зг)В (57) 11з обретение относится к Вакуумной электронике. и кожев быть использовано для опреде:-ения электро"»изических параметров металлов и полупрсводHHKoF, !1елью изобретения является рас иирение фуги;циоиальиь",.; возможностей

УСтРОйетва, а танжЕ ПОВг,ГиЕНИЕ ЧУВСтВИР1) H 01,1 377252 г; 01 11 21/66 тельиости и точности измерени . Устройство содержит источник элг ктронсв

2, ось которого направлена на образец, установленный в держателе 3, эллиптическое зеркало 4 с фокусом иа образце.

Второй фокус зеркала 4 расположеь на узкополосном светсмЬильт1. 6. За иим находится детектор излучения 7 ° Система регистрации 1 одержит два канала

9, 10, 11 и 12, 13, 14, содерж, .;ис синхронные детекторы (С,,) 10 и 13.

Опорные входы С;1 годключг ны к генератору 15. Блок развертки 16 осуц ствляет сканирование по энергии электронов.

Снимая вольтамперную кривую на об"азце и находя перегиб, находят уро..еиь энергии вакуума. Одновре:ыннс снимают изохроматный спектр и точку перегиба на нем. По этим даиньпч находят э; эргию сродства к электрону исследуемого oGразда. 1 ил . !

j 1j n >р (T(? It !< . . "!! < . (ГГ< . )! 1< l!:> 1<,". fi!0:,f .)J(! ")"> (l! i(К Е (",.f! > ".(". (1 (7 ° 1(:10" >i <>!К> 1:О

t!T>ll < О 3!1;tf!)!1{ !! >>t>,;tj>(!!;(! ;;i,I-«» .!:< C.! Р р?1<) Тп!< лл7(?роп !I г., 7 ((>)>t!«рcхоц . .<

){ Дj) ó ) ))л Тi3t )>Д< >7P)ll! l!l i < C (.>! )1111

;1 :! !»1(!1 . р "rill() ((?! <>й р . К)1 .>> 1(> 111>

<1, .;>;()(), (Ã;;, :,» "- Г, i, (<>В . ;<Г!,л".) ) !

!i о (tt 1((3 (>, !!; !, !! 1 l 0«j>

7) I!:! > i t.ñ :?>3 l(13 р(>j>: e. (, .",">, uJi:;i!! . (Il . j, . Л 7 t .. I! . );7 .;: i i l C КО(3

Э lt? Å >, >i!! t!<)! Ilj) l >! < .,);!! . !, (Х 13 (>)3!>Е! !(. Н

1l >Hi Т(Х(!!(1<(\ iJI i Ilk l«>l! Гj>!)!1 r, 11(3((, )(зоб>>, т(.нпя — рлуlli<—

ЦИ<) и t Jthi()Х 13<). 3 fn>K)tn(ГЕI I Tt!JÒ ?() I .. tt P L < p ! и!(я 7i!! р, )11! Ср(!Ст! л к Гс!< «Тропу в !!еталла;< и ifn)ryttj>n))nÄr)()(i

Ус Гройств<> содер?Ки г установленные в влкуу))(ой ;.-л." ере 1 источник элеkTðîнов ? (.> tHi<троп ;!я пуи(кл), пл оси пучк" эм){тт){ру(л()гх эaLIntrn7 p7ctlоло-2р

iKLн дер>)<л7 ел! образца 3, между источником 2 и дер;-:лтелем 3 установлено эллиптич(?ское зеркало 4 с oTr«?рстием для T(lpn»;:: 1(H пу(!Ка электронов, (ак, (то один егn ((j)o«ус co:-.!1:)дает с, место- 25 поло,. itH(м образца, )>т< ро» (?(к=. :" "(ем к окну узкополосном све" О<>)!11ьтре (>.;-;a оп ";1чеcl нлх(>дится д(-.тектnp gp излу !ен)(я 7 (на: ример, (>=>У) . <(ер;).атель образ r7 3 coc;rl!»i"H (repen 7 j>(!j<с<<)ор(!атор 8 с одним It!3 каналов систе..ы j>F. гистр-:ц)1.:r ток;1 3 о(.ра )це, (одев>):,7!31-» ( уст;! !Овне?(н).1(? Посл j(ni)ательно . селек35 т!!13!((1:(Вольты тр 9, c):)!õpn i»?;(д(те«в тор 10 (t регистратор В)..!ход!(ого сигнала (само !(сец) 11.;, ругой капал регистра--!, Ии >, !Д(lf 1 3 (-(?1! ;f Г(L!P (30M У > Tj>>(со(<пи ?{ел

1 ; дете« 1np y ) ; 7. !у((е 1)lя г )! соде)7)?л! т уста нов !«Нные I roc Jt(?ДО)3(1 i е>) iу ПО (-елеi< тивп(,","(польти .тр 12, снн:,j>n?!ftbt;{ детектор 11 )! регистратор выходногo сигнала (са !<>" исец) I 4.

О!(О>>(ые Входы сиft>p01(н."гл у еTL кто 45 ром )О 13 с<> .T(){ <ен f c )31131((!Ом l;nсл(1!1!й сое (1!П((и(ч(?3>ез т,)л,,c—

>nt) -1 1T<7р1!у)0 С З)(.)Ь i у С КЛТОц<(М Э)3(":<Тр(>)! 10;f !(у(яки - ) то 11(..:.<а эле <тронов 3. ,(1>3!Ок р;. 3»«pTI(." 1(>>,:::и:,((et!It!.". «1 «!(ь и

О! p(7! цл э по зоняет ocóù(. ст . (я Г- с! а )n! > э " > " и эл(кт!)о. (<>Г). 1::и j><"1!!; 1;Ояж =:;);>1 -).,:- j - !< < !>!> <17

Ъ

7 НО»Л <, > Г;1;: (C„. ;у- (л<,-> .f (> >!

) <1 30! (< >!!! (К " 1 ))у! :.,)В : К: ! (.> Г<>.;, О и().c -,:, -.>»(у и 3 г:! .,: >т «РК:!.ПО, {.)ГОТ(. .C 1:)!ОЕ tt3 <, !Т . ((.CKO( и>

<. !?i<Ла (1л- >) С Похрк! i if(t)(if:.,l:Мl(П)IЕ

1; >;(IT!1«it«)t .1 1(а :."= t с 1-я, . )>:(: . ()ГÎ :: г?(ия (тОл (но)> »1)) «pj);! О у) О и)!) ) co б!(рлет;(з г,—.r<-:.* .: ., )3;>-.». k;!::,;., »;>1{ Об@ л:<(они!1 О-:>7лзца > В т(lt сном ъгле 1, 4 я стер адил H. 1!злучен)(е проходн7 после

))ра:ке и я от Itntttj»(!{nñòlt: е,>кала, во

Втор<>й (j>or

>."! э<одп(7>(Окне ваку>-.t;{n)(к,: (еры 1, и, проходя ч;>ез окно 5, попадает в инте?<)((пут Р, Г{РОПУСклю1(и:(излуч(? ние Опред !IL!ii! < (,(Длины

Волны., !(т(?«тор ){ .3.1>:÷L!(Ия 7 j !! Г<> . рует <>отон)! с энергией, со ò: „".Ст!3,:,:, Г{е?{ пропуска(.".)ому через с ет(. 7)(льтр 6 и >лу(!ению, фя определения кинетичесКОй Э.(t?j>ir7»! ЛЕКТРОНСВ F. Or.",.e;tа)71(:.. пр.-:;Jr) çðèòåëüíî 1>ол(,т(??П)ер. t, .o «p:ÿóro

ocl,icH)(ости тока нл Образец от разнос);! Потенциалов между образцом и

>т > 10 ° l !пт > ° ° .," ". 2 ЗЛС";Tj:Oi{013

1 аз!10< ть потевl;(i >ПОР 3 сcОтветств;7<>!<{ая точке пеэегиба ВО;(ь(а.(IIPpHQH

I(ум Ip())I >водl:Oй <17/(1Ч) ) хлр. «теризует поло>кение уро:; f2 э!{(?р-!

31!){ (371у?{е ° I("){P ll(t(.c .". 7н(?р! ) ю э .: ;-:, и, .л<) t.< .!а 0()p{7(ц при пр <лож() .".=;-:;ду катодом ис-o: r п{ка 2

1(",РаOL,7М j>" ПОСТ (.Отп,{1{:(;-. )ОВ )1>

Отсняты>>лют OT у;.01 .> э .:(?ргии ва<уум : I: = (1(1>У-(1„), где е — зл;)яд эпектP0)1«i . т

1>арллл .и". > с рег){ст)>а!(?(е;". -Ольт— а:.нерпой i

j>e3.T(cтрац!{;7 )!з -. .ро..7 r;ro1 спе <тра (зл((:(<.11?(Ост;;,!1{т)!Си!?Ности и -.fó rå— (п» «Т! п)(кс!{рэ? -.!!:."; (л« "." -1 Я> от эг .,>г!(?{,.n!:1(-, и< t!c Jt;- я;; т(кто;:> 1(злу((. "! 7, . ;:1(:! Рй(!: .!(а>! С.<емы р(ги . ";. »)Jt){ (12-1 )- l )) . :!(>е:!ел) 3 точКУ П(P I »(1;>. 1" 1 "3 !, )0:.f < "ГО ! У Т >:) J! « : . :!(Т i r . (й(НЛЧ(!IНЕ

РЛ,.; —;07 и ПОТ((з(>;Jz,;07 ),f, (<.7, <".<ИКОВ ,Гро!OВ 2 и Обрл3. !! « ;:.in(T.(t))!3 л (у

> >

1",о»,у: 1 э!!)(Д.> к ° !!,. . (у ) (,> (>7) >(3!3>1 "тел ° н2 о б спд" ! 1 > (-c(!-" и, .l j) <. < 1 0 i o 1< Обt,i

KO! ((- I >(С>(. С ОС . 0;(Н >12 . .:11 >»Ч С)(3 !,0 ГО I! C P (. кодл бы i(> с;;!н. Э>(лчнп ()>и>:с;.р >;iл!!и «(.«>?», зи у;.6в(я <, < р:..if (в с у (лс .".() <-Л)(3)>л) илн, 5

З<) < !>! (, -,<ПП" .1 ) > (;;-т

ПРО>>С>

1<>ЕСТНОВ)>Н>?Я ТЛКОГП С,<;П;:.Л ЯВЛЯ ТСЯ УСловие >с>3 — энергия квлп701> ) «!<б ) I< >><, iлs l>()> ис рл?l) 1:) (10

cpc>)lc7L0 к " "", >! < ., T»< i ".. 0 бр<;(i 01. )

ЕС3(И Ч)>Я ЗЛ > г .i;, ; ("Г 07<1 С>) i <3 4! 1» !!2»e i EiáÎ11 к);! < ;;:: 1 (, () >» 8 (ч> ) (О>>г> )дa

>OT ) TO НЕО ° >? О). )(. » >< ., Jiii(>." Ь ЧГ>СТОТЫ

Ц„ио>са )е про лп-" ся сдвиг fi ). f5

Для то 11)o! о опре,.e)>e>tlf энергстиЧССКОГО JioPOI ВОЗНИК!IΫe>i)>Я СВЕ1(ЕНИ>( ГОКЛ Н t! e JI! f G<>,) а 3!<, 1 гш. Электро?(ог. с но<1<зць>о геиератоиа с>п:-. Cnl? —.:>л>,ного напря;Гения 15 чер < з трл . .,>0><.f.eтор 1 <, В качеств( (.: з«у:озогn) rc«ерлторл 1!лп!)яг:е?>ия:(Ожет быть использован, напри !ер, г< ератпр ГЗ-56/1, > ото;>(:l с>с>есле и:lice T синус ".-(лльн(е из>;енение готениилз!а катода относит.:;>ь«о з M и . В цепи

lI lI обг)лз(.а cTn. .7 -.")>I) т-п > "1 ) . с втп— ричной об>:с - ки которого пере!.енн(»й с:игнал подается >lл в>".од селективного вольт.<Стра гз (7>il>2 У2-6) „на строеп) ного на час«:7. модул цпи. Усиленный сигнач пода. тг а 1 л вкпд спи«яро«ног и дс .тектo)>H 10, нл кп>пр. Гй o)!Hc>I;p<:)((>!t— но подается о .Орион напря) (е>!Ие с генератОра 1 э. В 1 а«с(от« 2 син:. pni i!01 0 де- 35 тектора 10 и 13 >(0)лет б>ГГ>, (хпс 31(,зов л н д (. т е 1; (<.) р "» ) — 2 . 1 О с т 0;: 1 <: (>;. (с и Г и л

С PЕТС;,-Тс))1;-,;„.71);)а < >>Л Н-;,и-> y O 1--;—

СтРЕ -ОРЛ вЂ” (Л)!О)П .i .. ..;ЕГО «072:tl; 10!I< тРа (типа ЛЕ)1 4-003), > л «код Х подается 40 напри)<зине - .— з>зертк") 1 . <.

П р и f!. е р 1. 1<.зготп«или э.><3п(пти>ес -02 зе).:.л. о пз опт

К-8 с 07ре -:;3 .И((по>.рыт! .с tf из Ял>о)п(н>!О>10 1 илеH!;H покр.!To:I пленкой ()>то- 45 ристого t .(IJ "нн -: тп)-. ii.:6й,0;r<, для

ape;Io::.рлне«1!я от СТНре«! tÿ. 13 сп ктрлльной пп)! с, 120-1200 н:; коэ()>)>!(".J>tент отр-1)>;()HIM Të сой I!oil(>ркности состл1;ля 7 0,8.;;ил((" р з .ркл)!л 160 .>>(. 50

Рлсстоя<ер(1»!Н(l зеркала (отl>срс .— т>1(.,дл>l 1>1»пд.,:1 I< i(7)>Р! .0>>) до (>301(УСOГ

50; . « ; >0).. : а 0(.. i it > 1«1>(» >> !nc! Ой и)> !c7!l!!! 1), (е 1 .! 1 <>J;0 !о 10,10 !>))>- (Iы;il

Ji .:< . .. i <)ji!!<", „>;(. ) .Э Г) (1)). );;,.<1 ° I <, ° i -<, ),;", :><»,1)1 ) >cn >« °, »

)1: : . >< . . > ) >!!: ° .!,, > i <1. ...; j > <)() < !,, (; . - . .. :;.(. с )) л" 01 1) ) (. . !г!,)< i)<)! !((1 ) )i ) г

<>) (! ", )>, 1< () < ) ((,,;.. )< ) );(.-1

)>(ер>ии эз(< l <-ронo« !«оду(.!Ирп>зл.<>ась с (лстп> u> ; 1 (сГ>1 и амп<(еl гу),«ере«:(ион". !й c«ь>-р (((с;. >;лксии-.",(гропус::))ill!I т!»> Q > ) > HI< (,. (37ЕКTC>P !IÇË >)IC

HlIst / p21!iCT))Ирует H(I ".. < Ой 1!!«e >CR(t>f ты >i 11;«(и((>(с эи: ргией hCc>,=3,83 эВ, 8» > liIс.!!Iic)!!т ио!(1г> л. (нерп >д K)) >i« ó)д Х (V)

c»(p2,, !НГ)т из с .;:ро)13(711»>(! с(;е«тр 8 (>!), Обс j)е! 1> с т)>ируе ;-,I() зав> fc!f. (. ("! <(«! (БО< >1 Г НЛ ) Еi ИСЛ )>а < 0»Ы И <зи)10 (Е -i Г I О ки перегиба кс» >ой кр< I)n:f> соответстну!о.,}у<о разность потенциалo!1 и );a)Icc . Норт!во сродства к 0)ic>cTp(>;

Определ)(>от энерги>о cðî;„.. > ва к электро< .у для лант! IHQ па вс)(ь()>рамово>!

t!rд.!О.! e. Ч (110), РЕГИСТрЛПИ>О ВОЗНИIc:(!3)it о эл(.:Tpol;аг;и;тног(. Нзлу(< н(гя

JI>)0>i 0>< iI>.< ° На <)> — ) . с 1fi f ) Э>.< >) 1 ИЯ (В ЛН

ТОН ИЗ <1;1 «03<112 1>С<}

=3,83 эВ. Вел !ч! На кинети . c cñãi энергии, F. <> IIP; I K070POI+ BO il ii(JIO элеlст)>О>(агни>.нс<е изл <(ение нл данной частоте, для элс ктpo>io> состаl>>(яс.т О, 7 эВ.

О (РЕДеЛЯ!)Т ЭНЕ)>Г>(>О CPO;ÄСт> а К ЭЛСКТР»< н для лл>(тана еХ=3,83-0.7=3.13 ЭВ, Ч ГО H(1 >со,,ИГСЯ Н Хоро"12)1 СОГ3(асии С табл)1«н(..3! Э(:лчеи?fe;f ОХ д)(я JIJ«1;.< 3, 3 эВ.

П р и;(с р 2. Определяли срод(.71<0 к э л е к т р О? !у к p c).Г(! . f s! и р и т с х Г<с е п ар л мегрд>с ((пил})-.17,, (ii ре;)>и(ак, !сак;3

iIp!i.fep< 1. Регистрлци><3 воз IK;I.с<((С? 0

Г<НЕ(СТРП(ЛГ (ИтНОГО ИЗЛУЧСН . i ПРО>)ОДИ— ли >;л д>пп(е вол!Ii:. Ql =322 и!1 (.,;,, ргия

KJ)2 JI7o!) ()(<) >=)3 8> ) э)3) ° )pl> э70м точ? .и пс регпбл 1!а >(р.)?з(>к T(v)) и ."-(>,() Совпа3(if в иро !.ц>п. 1(а ось абсц>>cс, что го>)орит î Ilpr )f,!:tc«>fи энергии срп)!ства к электро э<(ергии квантов воз>?Ика>о>((еГО излу>, Знс рг>ид з. к "ooi(OH пл да>оцего пучка электр IH0>3 >(овчспли и;— те(-1 изие>:ения разности потенциалов >>е)кду. Истпчни(со)! 2 и обрлз(!с>(1 и пр, .:зводи)1(. Измере>п(е инт. «с>!вност; «Озникл>о<его >31<. Тро((л<гн>. >!с)ГО излу lсния нл другой д)ппiå волны, и;>стро?!в свет0

Г>>И31>,тр н(! Я =250 нм> что соотгетств T

>1(ер l ° llf к?1 >1170?3 h(>}() -< .i > з ° ) . .<арcrl "т

Plf>! <>I> i!i!<()1)З) КРI < Г". >Е } (! <) It с (< ) C) <)Г ?t()

)(руг от>>псительио другл 1(л 1» >и !Jti(y с> с) .- ><

0) > з > ° ). po)1(71:О К ЭЛ KT) с>. 1)< Оп, ед(IH

3I! !Iз соот>(о:<,ен !я c,C=-)>,9). Э — 0 8 ЭВ= i, (:>13, )3 (> !,! . >) l< (> < Ifp)>7<>Till!. ) 1«>тol (: (i (. . <> .1 >! () ° Il ° .i )i() 10! I i,> «< » t) <". >1:,;; (<>(i u: i i>i) i <;; „. i . ej>> >, I!1><,;f.i0 ; < " »е УстРГЯ(ств,> «U ;>Я(т 1

<;)It<>. с<>, < ;{(1 70Г,() l /) .(() ° ({ с >ТЛ;1 (!! с! i> i 1.. > < . !!" 1 i>«!! <. . Г(3, I: >.! . >Ji:.:<, (,: }. < >.1. . ОР 1 ){в .. э!(е:t 1 в и . . < l I!.< < . и ) {1. (>:3:! сс. .! <> )!1! . <со с" 1<

С <у !ПЕ Пl>:) ВОД? l! (Ка Ка,>ПКТ(I! }", ;,с < (.<{ И 3лу 1 .! 1 I< М If сл! }{ Г(1 )(» «< 11) (;- .«)

1<0. >Ь(0 с<) :)}1(>PГI(1! <Г< () < (. 1 (

СТ <);1!C, L )((>?х H;lРа{(ЕТPO< НГ 1.(ЕС «, I<Р}1 <Е, с НЕТ

lIPit .(ЦИГТИПХ!}>НОГО Рсlзлl(,ИЯ М(.>?<Д r ИЗ— 1О ...ере{;(ем сродс < }>а к эл(кг",()ну .(еталла if !10 Iупро> (<ä}{! .ê I пОСKGJ{b!xy Efe

Хс! }!ИЗ! fOi i > ОГ

-; >»1 с> >(<1 1(<)P07?IOHOJ!l(0Вy{() 1"рсапн<{)r ИЗ.Пу {о}IIIH ВОЗИ{{К}11<)<<{ЕГО ггри облучении о(. разца электронами

15 является рад{!а !Ион?(ьг(захват эле .,грона твердь?ь! тело;.((а}(ализи>э Jf{M матеРИНЛОМ . (<>ОРМа 1:О<>СТ};ОБО:И<ОВОЙ ГРПНИ-

Ц!и На(!.7}(>ДаЕМОГО I! >ЛУЧЕI{1 ?I И ф(>;)МЯ }fapacTa»1!я г}ольта!(Перног{ крив!). < (,1(реде20 г(>7ь)тся одним (р}ктором — функцией распредепения элект;)онов в падз.о(:(е(! на

Образец пучке электронов, Д?(:- < >Иксацl(и поло; ?(

-, к конотков >11. >1?О"! -Ра(??П<ы (7?(PHтРа, 25 так и порога по!(Вле!(Ия тока на образец (of!pLJ >!ен ?е уровня з((ергit» Вак"-. ума, 13?,!б".,);låìîãс .}а начало Отсчет;1 кинети !ееi(oi! энерг(г! элек7ро;{OQ) )ыоиDd} нь-.{)раи д )c7;a о(<но кр,пн},?<(и; сг!Та{) по оси энергии, 0-.. {{о опреде:".{ть треб" ?ь?е з{ (>чг}{}1>1 ):.ерг}.{; с точ»nc7- о, д;<:7}<га(.«,". .{ 0,0, эБ.

35 < OrC((()С1! Ка Пу, ; (Гс, р<>ЗОЛ;! 1 1. >С} fr!, (r> .;СЗньяи ра..<() oc;l э {ектронс }3 но Hîрь(.}л!.1{о,"1

С С С Т а 13 11 >7 (С: „ Е Й С «О (! О С < И ) Ч Т 0 Вс }>?Р а:Ка Е Т С и

}3 СУ((а({1{{! УЧ.,CТ (;1 Hà(>аста!Гс<Я ВОЛЬТамперно; . .})Иво."< и увели {енин т )чпости, 0IiP ЕДЕ}1 . } ; И>< < ",„01 О, (О < < с> (><си)

; < с 4PaI.Terr>:lс,< C 10 ; I.P(Д(1-

ЛЕНця,<(рг ИИ; < <0TH H 3?(ЕКТрсз}1>Г т НООбх Димс < " ?< реГ><(.7p;;:,)0 3ать Пол«.ость .> (1<{; ктр,<11>i! >е рзс р.-целе} < ., Но-.

<15

СК()ЛЬ). «.. O 7(>i: . P(! Г? !,);l }((!с< с, 1!> Н<Э Го

>>«.1CTÜ 1< С(? Е}ТР (! . 0)Х?ГО ОП,) ЕДР > IТЬ ИСК О 1 <70 В СЛ ЧИНУ а

< (" "- <<-g" "С" ""

}т<)(3! < J (. 1 а?! ?<1>>и!!о < !.-if c(} . °

}1Г 1> В(ГО 1, -.,!<>(! ".О <Га Еряем (х п,с{э.(етр(; }. а;.:p?(I Il>с> < >I >rt(< с„-. il »".- <") <>и <, " и;:; <е <ел? >0:3; < : УГ

-f<-, <)!, а}<1>(, сл - .." "<. -,.-. с., ! > 0}(у > т. i. (с f : :к,l к . } ..3,,(! <а То. ; I <>,>? (!),) с 11{.." > (}н < (Дего? 7 с 1 < . г 07. 1 .:)p l l { .,"(Гу .>.! к.3;!.1}1 < . . }".. р ".)(07э: »(i 0 "(1> ) i! !(СО Ijl{H<- H

-« ; Ору: <:,, (Е;- (> 7 „L, р;*.7> Г yC «,1i0HJILHHllL Г!0(.. < g,i< 1 f <. <1) (О СЕЛ(К Г! З} с.<:i ГОЛ.> i °:<. Г<),:.1.:::<)О;}, " . ",- ГЕКтор 10 и р гис;ратор 1 l. . Входы синкрс?t?I-Iõ Детекторов 10(и !Qn со д!(Неr ны с выходом гонор;тора си{!! Со.:даль:()I o напряжения 12, прич(. посл i)i.пй соединен Hope.". Tp 7! 0(Jop>!7771>? (у:-з с катодОм элект1>онно}! IfymIH — источниКа. OJELKTPOHO!3 -, >ЛОК P 7;: >ЕРТК;! В HJL<)".åHI{Hé в цепь регистратора тока в образце 3, позволяет осу:,; .. г(3>7ять скан .!рование по энерг{??1 электр(}(ов, ib o p )! y J(a и з о брет е н и я

Устройство длл взм(>ре}(:(к электро . фиэ .! -I<>.c};è)- параметров !(атсрж пон, вк>?{<><{а?<)!<(ее разь{е:це;!:Ные в. ва:..,. . Ой ка .(ЕРс> ИСТОЧИI!с{ ЭЛС(. Ро ОЗ . ДГ>7: 7> Е "Ь с(разц(1, а т(. кте,"..Тектор:!Эл) {(}ния о т л и ч а I<)?ЕННя Ь<у}{К?(ИГ;-<а.l} }li!fi ВОЗмо;(}<Остеи из (еренля зне<>гии

<1;>:, :, 7?)а к .".". i.:Тро:;у в:: «плах и по" .<УН,;О<3ОДНИКак,:! ТЕК;; r- ПОЗ}7< :(ИЯ <Г;BCTН "ЕЛЬНЮСТИ И ТСЧЕ!О ТИ ИЗМЕРЕНИЙ) оН0 пОпО) ни гельно снаб>ке}{0 э. (>(иптиЧЕ" КИ;{ >(.ÐHOHOÌ, У" та}.îr3JIC :I>I:;С МЕ.Г7У

1

0 {>р < зпа !1070;> >0 .".f(- (07 (> 07ие для

1}ВО;lсl ((У«Ка Э:: ?! 1 <)OEIOI3 > "ЗКС(1СЛОСН}. >с{ светофш}ьтро. () Ус.а !G н?I H}Hþ(:":а входе

ДотоКтОРа И >:(-iClt!<ß, МЕСТО: с).:<Э -..НИЕ

iio7îð0ã0 совме(епо (одним з фокус . з)!ли(!тического зеркала, руг it <рокус

1.070<)ОГО СОВП;IД Г С МЕC70110:. } гп}{ЕМ

>{<;)-1:ца, дну-. Ка}(а!1ь;:О.! cHc .,>й р >Ги=

1 Г! 1<,- <И ОД 1 < > I!2..< Кото})0! с) чен ?(дете ;Тору и .. .уче»<(н, а J(!> . Gаз(,у,. 1:; -; ":и -;.., {;,;::;а({(}л с-, р 0 7""" 3r<Т<. > "<О (< 1 с

«-){> И (., а,