Стекло

 

Изобретение относится.к хймичес-ки УСТОЙЧИВЫМ стеклам, предназначенным' для производства фотошаблонных пласттин. С целью снижения дилатометрической температуры начала деформации стекло содержит, мас.%: SiOQ 52,99- 60; AleOa, 14,5-20; MgO 4,6-12,1; CaO 6.,4-15,9; ZnO 2,0-8,8; Na^) 0,01- 3,1; MoOi 0,01-0,02; ZrO^ ,0,1-0,5. Дилатометрическая температура начала деформации 680-700 *t, температура варки 1400-1430^С, КПТР .(35-39) 40""^l/'t. 1 табл.

QOO3 COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„.SU(„) (gl)g С 03 С 3/087

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОВРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4843809/33 (22) 15.05.90 (46) 30.01.92. Бюл. И 4 (75) К.И. Татевосян (53) 666 ° 112.5(088-.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N- 1217804, кй. С .03 С 3/093, 1984.

Автррское свидетельство СССР

Р 151936; кл. С 03 С 3/085, 1987. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится.к химичес- °

Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонных пластин.

Известно стекло К-8, применяемое

9 производстве фотошаблонных пластин, следующего .состава, мас. X: SiO 68,9;

В О 11,5 ВаО 2,8; Na O. 10,4; К О

6,5; Al@O@ 0,3.

Однако указанное стекло по своим физико-химическим свойствам непригод- но для производства больших и сверх больших интегральных схем.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло состава, мас. X: SiOq. 54,595-68,998; AlpOy

6,50-16,50; MgO 5,00-12,00; СаО

1,00-11,30; ZnO 5,00-15„ 0; N O

О, 10-3,00; Г1оО 0,0005-0,005.

Недостатком прототипа является высокая дилатометрическая температура начала деформации, которая осложняет и удсровает производство отжига стеклопластин, т.е. требует сооружения не2 ки устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонных плас-.. тин. С целью снижения дилатометрической температуры начала деформации стекло содержит, мас.Х: SiOg 52,9960; Alg0y 14,5-20; Mg0 4,6-12,1;

СаО 6.,4-15,9; ZnO 2,0-8,8; Nag) 0,01—

3, 1; НоО О, 01-0, 02; ZrOq О, 1-0, 5.

Дилатометрическая температура начала деформации 680-700Ч., температура варки 1400-1430 С, КЛТР (35-39) 10 1/ ;.

1 табл, стандартной высокотемпературной отжиговой печи непрерывного действия.

Целью изобретения является сниже-. ние дилатометрической температуры начала деформации стекла.

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее Si0<, А1 ОЗ, Mg0, СаО, Zn0, NagO, Mo0, дополнительно. содержит ХгО при следующих соотношениях компонентов, мас.У.: Si(!y

52,99-60,00; СаО 8,40-15,90; ЕгОд

О,!0-0,50; Znp 2,00-8,80; А1 0 10,6018 00 Naa0 О 09-2 10; MgO 4 oO =.

12, 10; ИоО 0,01-0,02.

В таблице приведены конкретные составы стекол, сваренных в шахтной печи (в кварцевых тиглях) и выдержанных в ней до полного осветления. TeM- пература варки предлагаемых стекол. не превышает 1440 С, а температура осветления достигает до 1560"С, темпе-- ратура выработки 1200-1260 С.

Синтез стекол осущестн..1яется с ис . пользованием с.. !снующих сырьевых M 1т ! 7ОЗП! ния процента выхода годной продукции, обусловленного меныпим температурным интервалом кристаллизации.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я валов: кварцевь и песок, оксид циркоия, глинозем, оксид магния, мел, I ксид цинка, сода, оксид молибдена, Как следует из данных, приведенных . таблице, вводом и изменением содержа:ия компонентов по сравнению с протоипом достигается не только поставлен ая цель, но также некоторое улучше-! ие физико-химических свойств. 10

Применение предлагаемого стекла

;роме облегчения организации отжига

:текла снижает себестоимость нродук(ии за счет экономии электроэнергии, обусловленной снижением как температу-15

>ы осветления 1560 РС (против 1580— 600сС для прототипа), так и темперагуры отжига, а также за счет повыше! Прототип

Состав и свойства стекол

54,593-6&,998

Отсутствует

6,50.-16,50 .

5, 00» 1 2 ь 00

1, 00-1!, ЗО

5,00-15,50

0,10-3,00

0,0005-0,005.

39-45

60,00

0,10

14,50

8э80

6,40

7Ä08

3,10

0,02

52,99

0,S0

20i00

7,39

10, 30

8,80

0,01

0,0!

52,99

0,10 (8,00

9,10

15,90

:3,40 ,0,50

0,01

54, 70

0,10

17, 00

12;10

14, 00

2,00

0,09

0,01

56,88

0 50 !

6,60

7i00

8,40

8,50 ..2,10

0,02

60,00

0,20

16,68

4,60

8,70

8,80

1,00

0,02

38

695 685

750-780

680 720

680

700

0,016 0,013 0,012 0,02 0,01 ° 0,01-0,017

0,01

930- 920- 940- 920- 900-!100

1070 1080 1050 1070 .

9201050

9401060

Температура варки, G

1410

1430 1420 1390 1430 1410-1440

1400

Составитель К. Татевосян

Техред И.Дидык Корректор It. Самборская

Редактор О. Спесивых

Заказ 400 Тираж Подписное

ВЯИИПИ Государственного комитета по изобрете!!иям н открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Ó êãoðîä, ул. t.» ap .на, 101

БьОо штоф, А1аоз

Н80 СаО

ZnO

НаеО

Нооэ

ТК7!Р к1 0 град"!

Дилатометри-. ческая т-ра начала деформации, С.

Химическая устойчивость к

:НЯ, потери,Х к иавеске Температурный интервал кристаллизации, "С

Стекло, включающее SiO, Al фу ь

NgO, СаО, ZnO, На.20, Ио 20, о т Л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения дилатометрической температуры начала деформации, оно дополнительно содержит Ег02 при следующем соот-. ношении компонентов, мас.7: SiOg

52,99-60,0; AlgOe 14,5-20,0; И О

4,6-12,1; СаО 6,4-15,9; ZnO 2,0-8,8;.

NagO 0,01-3,1; Мо О 0,01-0,02; ZrO!2