Трехкоординатное устройство для прецизионного перемещения изделий

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной аппаратуры в условиях особо чистых технологических сред и в вакууме. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей, а также упрощение конструкции -достигается тем, что приводы по координатам X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью, привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, также герметичной и заполненной жидкостью. Все приводы соединены с узлом регулирования давления. Зз.п.ф-лы, 1 ил. fe

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4696131/21 (22) 16.02.89 (46) 07.02.92. Бюл. М 5 (71) Московский институт электронного машиностроения л (72) А.Т.Александрова и И.Г.Гуськова (53) 621.382(088.8) (56) Иванов А.А. Проектирование систем автоматического манипулирования микроминиатюрными изделиями. — М.:

Машиностроение, 1981, с. 220

Там же, с. 221-222. (54) ТРЕХКООРДИНАТНОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной. аппаратуры, в частности к устройством ориентации и поштучной подачи на позиции обработки микроминиатюрных изделий, и может быть использовано для производства микросхем в условиях технологических сред и в вакууме.

Цель изобретения — расширение эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощение конструкции.

На чертеже представлено трехкоординатное устройство для прецизионного перемещения изделий, общий вйд.

Устройство состоит из двух кареток, рабочего стола и независимых приводов пере- . мещения по осям Х и У, расположенных

„„ Ы,, 1711270 А1 (зй)з Н 01 L 21/50, Н 05 К 13/00 (57) Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной аппаратуры в условиях особо чистых технологических сред и в вакууме.

Цель изобретения — расширение эксплуата ционных возможностей, а также упрощение конструкции — достигается тем, что приводы по координатам Х и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью, привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, также герметичной и заполненной жидкостью. Все приводы соединены с узлом регулирования давления. 3 з.п,ф-лы, 1 ил, одна к другой под прямым углом, и поворотного устройства.

Привод перемещения по оси Х содержит каретку 1, к которой жестко прикреплены две герметичные, параллельные, соединенные трубопроводом гибкие трубки 13

2 и 3 эллиптического сечения, связанные с узлом регулирования давления, состоящим С) из сильфона 4. Ктрубкам прикреплен столик

5 для перемещения по оси Х. Сильфон 4 связан с источником внешнего перемещеЛ ния, находящимся вне рабочей среды или вакуума. Привод перемещения по оси Y выпол нен аналогично и состоит из каретки 6; прикрепленной к столику 5, трубок 7 и 8 и припаянного к ним. рабочего стола 9 для перемещения по оси Y. На рабочем столе находится перемещаемое изделие.

1711270

45

55

Поворотное устройство состоит из винтовой, герметичной, упругодеформируемой, заполненной жидкостью трубки 10 эллиптического сечения, жестко закрепленной торцами к фланцу 11 и каретке 6. Узел регулирования давления во всех случаях одинаков. Во всех случаях сильфон и трубки, соединенные трубопроводом, заполнены жидкостью.

Устройство работает следующим образом.

При сжатии сильфона 4 от внешнего источника перемещения повышается давление внутри системы, состоящей из упругодеформируемых трубок 2 и 3, трубопровода и сильфона 4. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы трубок 2 и 3 эллиптического сечейия, при этом уменьшается большая ось эллипса и увеличивается малая, параллельная оси Х, что вызывает перемещение по оси Х. Поскольку жидкость малосжимаема, то все усилие идет на изменение геометрической формы трубок. Аналогичным образом при повышении давления внутри трубок 7 и 8 происходит перемещение по оси Y. Перемещение по угловой координате достигается путем повышения давления внутри винтовой, упругодеформируемой трубки 10 эллиптического сечения, которая начинает раскручиваться. При снятии давления система возвращается в исходное положение.

Последовательность, направление и величина перемещения по каждой координате могут задаваться каким-либо программным устройством, например ЭВМ. Предлагаемое устройство дает возможность независимого перемещения по всем трем координатам.

Формула изобретения

1. Трехкоординатное устройство для

5 прецизионного перемещения изделий, содержащее рабочий стол, приводы для перемещения соответствующих кареток по координатам Х и У и поворотный механизм с приводом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с

10 целью расширения эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощения конструкции, приводы перемещения по осям Х и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых эле15 ментов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулирования давления посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхностях каждой пары привода,соот20 ветствующей координаты.

2. Устройство по п,1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, гер25 метичной, заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулирования давления.

3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что длина герметичных трубчатых

30 элементов эллиптического сечения в приводах перемещения по координатам Х и Y превышает максимальную ширину в шестьдесять раз.

4. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е35 с я тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещения по координатам Х и Y выполнены с ромбовидным сечением.

Составитель В.Сутормин

Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор М.Демчик

Заказ 346 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101