Способ контроля формы вогнутых эллиптических поверхностей

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми зллиптическими поверхностями. Изобретение позволяетупростить контроль путем анализа интерференционной картины с помощью автоколлимационной си'стемы, состоящей из эллиптической пЬверхности и вспомогательного оптического элемента. Освещение эллиптическо.й поверхности производят из ее ближнего фокуса, в качестве которого используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контроли- 'руемой поверхностью и дальним ее фокусом. 1 ил.СОсИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми эллиптическими поверхностями.Известен способ контроля .вогнутых e/i- липтических поверхностей, в котором ко>&нтролируемую эллиптическую поверхность освещают из дальнего ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей. Затем посередине между фокусами устанавливают полупрозрачное зеркало. Лучи, отраженные от полупрозрачного зеркала, создак)т эталонный волновой фронт. Лучи, прошедшие через полупрозрачное зеркало, отраженные от контро'лируемой поверхности и вторично прошедшие через полупрозрач< ное зеркало создают анализируемый волнОг вой фронт.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ контроля вогнутыхэллиптических поверхностей, в котором Сначала подбирают вспомогательное сферическое зеркало в зависимости от параметра и эксцентриситета эллиптической поверхности, вспомогательное сферическое зеркало устанавливают соосно с эллиптической поверхностью и совмещают его центр кривизны с ближним к эллиптической поверхности ее фокусом. Затем эллиптическую поверхность освещают из ее дальнего фокуса гомоцентрическим пучком лучей и по отраженному последовательно эллиптической поверхностью и вспомогательным сферическим зеркалом волновому фронту судят о форме контролируемой поверхности.- Недостатком этого способа является наличие операции подбора вспомогательного сферического зеркала к каждой контролируемой эллиптической поверхности в зависимости от параметра и эксцентриситета последней.XI

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (s1)s G 01 B 11/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

\ (21) 4766213/28 (22) 09.11.89 (46) 15.02.92. Бюл. ¹ 6 (7 ) Научно-исследовательский институт приборостроения (72) Ю.В.Кондратов и Ю.П.Контиевский (53) 531.147.21 (088.8) (56) Пуряев Д,Г. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976, с. 101-104.

Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. М.: Машиностроение, 1974, с. 100-101. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми эллиптическими поверхностями.

Известен способ контроля. вогнутых эл липтических поверхностей, в котором контролируемую эллиптическую поверхность освещают из дальнего ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей. Затем посередине между фокусами устанавливают полупрозрачное зеркало. Лучи, отраженные от полупрозрачного зеркала, создают эталонный волновой фронт, Лучи, прошедшие через полупрозрачное зеркало, отраженные от контролируемой поверхности и вторично прошедшие через полупрозрач1 ное зеркало создают анализируемый волно-. вой фронт.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ контроля вогнутых (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми эллиптическими поверхностями, Изобретение позволяетупростить контроль путем анализа интерференционной картины с помощью автоколлимационной системы, состоящей из эллиптической пЬверхности и вспомогательного оптического элемента, Освещение эллиптической поверхности производят из ее ближнего фокуса, в качестве которого используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контролируемой поверхностью и дальним ее фокусом. 1 ил. эллиптических поверхностей, в котором сначала подбирают вспомогательное сферическое зеркало в зависимости от параметра и эксцентриситета эллиптической поверхности, вспомогательное сферическое зеркало устанавливают соосно с эллиптической поверхностью и совмещают его центр кривизны с ближним к эллиптической поверхности ее фокусом. Затем эллиптическую поверхность освещают из ее дальнего фокуса гомоцентрическим пучком лучей и по отраженному последовательно эллиптической поверхностью и вспомогательным сферическим зеркалом волновому фронту судят о форме контролируемой поверхности. . Недостатком этого способа является наличие операции подбора вспомогательного сферического зеркала к каждой контролируемой эллиптической поверхности в зависимости от параметра и эксцентриситета последней.

1712777

Цель изобретения — упрощение контро- ля вогнутых эллиптических поверхностей.

Поставленная цель достигается тем, что усовершенствуется способ контроля вогнутых эллиптических поверхностей, заключа- 5 ющийся в том, что контролируемую поверхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливают вспомогательный оптический элемент перпендикулярно оси излучения, регистрируют 10 отраженный волновой фронт, по которому судят о форме контролируемой поверхности.

Освещение контролируемой поверхности производят из ее ближнего фокуса, в 15 качестве вспомогательного оптического элемента используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между койтролируемой поверхностью и дальним ее фокусом. 20

На чертеже изображена схема.реализующая способ контроля вогнутой эллиптической поверхности с помощью неравноплечего интерферометра.

Схема контроля включает лазер 1, рас- 25 ширитель лазерного излучения 2, светоделитель 3, эталонное зеркало 4, первый объектив 5, контролируемую поверхность 6, плоское зеркало 7, объектив 8, экран 9.

Контроль вогнутой эллиптической по- 30 верхности осуществляется следующим образом, Излучение лазера 1 преобразуется в широкий пучок с помощью расширителя 2.

Светоделитель 3 делит пучок параллельных 35 лучей на два, один из которых-направляется на эталонное плоское зеркало 4, а другой преобразуется первым объективом 5 в гомоцентрический пучок, Контролируемую деталь 6 устанавливают так, что ближ- 40 ний к ней фокус Fz совмещают с центром гомоцентрического пучка (с задним фокусом первого объектива 5). Затем располагают посередине между контролируемой деталью 6 и дальним ее фокусом Е1 перпен- 45 дикулярно оси излучения отражающую поверхность плоского зеркала 7. Оптические элементы 6 и 7 образуют автоколлимационную схему. Лучи, выходящие из Fz падают на контролируемую поверхность 6, после отражения от нее направляются в фокус

F>. Плоское зеркало 7 собирает лучи в вершине (на чертеже точка F< ) контролируемой поверхности. Лучи после отражения от плоской и контролируемой поверхности собираются в фокус Fz и преобразуются первым объективом 5 в параллельный пучок. Второй объектив 8 строит изображение контролируемой поверхности в плоскости экрана 9 и проецирует в ту же плоскость другой пучок от эталонного зеркала 4. На экране 9 наблюдают интерференционную картину, по которой судят о форме контролируемой поверхности 6.

Предлагаемый способ контроля вогнутых эллиптических поверхностей по сравнению с прототипом исключает необходимость при изготовлении очередной эллиптической поверхности с другими параметрами и эксцентриситетом подбирать или изготавливать снова вспомогательный сферический элемент и тем самым обеспечивает уменьшение числа вспомогательных сферических элементов.

Формула изобретения

Способ контроля формы вогнутых эллиптических поверхностей, заключающийся в том, что контролируемую поверхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливают вспомогательный оптический элемент перпендикулярно оси излучения, регистрируют отраженный волновой фронт., по которому судят о форме контролируемой поверхности, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения контроля, освещение поверхности производят из ее ближнего фокуса, в качестве вспомогательного оптического элемента используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контролируемой поверхностью и дальним ее фокусом, 1712777

Составитель Ю. Кондратов

Редактор М. Васильева Техред М.Моргентал Корректор Э. Лончакова

Заказ 528 Тираж Подписное

В ИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

ВНИИ

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101