Контактное устройство свч-диапазона

 

Изобретение относится к микроэлектронике СВЧ. Целью изобретения является повышение надежности за счет улучшения теплоотвода и повышения механической прочности. Устройство содержит заземляющую пластину 4. закрепленную в корпусе 5 и неоднородные коаксиальные линии 1 передачи с постоянным волновым сопротивлением. На внутренних проводниках линий 1 выполнены цанги 2. в которых установлены зонды 3 в виде стержней с уменьшающимся поперечным сечением. Коаксиальные линии 1 передачи и пластина 4 обеспечивают высокую прочность устройства и хороший отвод тепла от испытуемого кристалла. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s Н 01 R 9/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4788117/07 (22) 01.02.90 (46) 23.02.92. Бюл. 3Ф 7 (71) Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры (72) Ю.M.Ãóëåéêoâ и В.К.Панкевич (53) 621.315 (088.8) (56) Mlcrowaves and RF, March, 1986, vol. 25, N 3, р.93 — 94. (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО СВЧ-ДИАПАЗОНА (57) Изобретение относится к микроэлектронике СВЧ. Целью изобретения является поИзобретение относится к микроэлект ронике СВЧ, в частности к измерительным устройствам для контроля СВЧ-параметров микроэлектронных устройств, в которых контактное устройство является одним из основных узлов измерительных установок для контроля СВЧ-параметров бескорпусных транзисторов и интегральных схем. Параметры контактных устройств во многом определяют возможности измерительной установки.

Известна конструкция контактного устройства, выбранная в качестве прототипа, содержащая копланарную линию, нанесенную на керамическую подложку . С целью снижения индуктивности земляного про-! водника обратная сторона керамической подложки металлизирована и соединена тонкими сквозными металлизированными отверстиями с основной земляной линией..

На противоположном от испытуемого кри.„.. Ж,„, 1714731 А1 вышение надежности за счет улучшения теплоотвода и повышения механической прочности. Устройство содержит заземляющую пластину 4, закрепленную в корпусе 5 и неоднородные коаксиальные линии 1 передачи с постоянным волновым сопротивлением. На внутренних проводниках линий 1 выполнены цанги 2, в которых установлены зонды 3 в виде стержней с уменьшающимся поперечным сечением. Коаксиальные линии

1 передачи и пластина 4 обеспечивают высокую прочность устройства и хороший отвод тепла от испытуемого кристалла. 1 ил, сталла конце керамической подложки копланарная линия переходит в стандартный коаксиальный разьем. Взаимное расположение концов сигнальной и земляной линий фиксировано на одной прямой.

Недостатком этой конструкции является низкая механическая прочность керамической подложки, плохой отвод тепла через контактную площадку, что приводит к перегреву испытуемого устройства и его повреждению, а это не обеспечивает высокой надежности устройства.

Целью изобретения является повышение надежности за счет улучшения теплоотвода и повышения механической прочности контактного устройства, Указанная цель достигается тем, что в контактном устройстве сигнальные проводники выполнены в виде внутренних проводников коаксиальных неоднородных линий, заканчивающихся цангами, в которых фик1714731

10

20

40

55 сированы с уменьшающимися сечениями зонды, расположенные под острым углом к испытуемому кристаллу, земляные контактные площадки которого контактируют с заземляющей пластиной, зажатой двумя частями токопроводящего корпуса. Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что предлагаемое контактное устройство отличается тем, что сигнальные проводники выполнены в виде внутренних проводников коаксиальных неоднородных линий, заканчивающихся цангами, в которых фиксированы с уменьшающимися сечениями зонды, расположенные под острым углом к испытуемому кристаллу, который контактирует сзаземляющей пластиной,,зажатой двумя частями токопроводящего корпуса.

Предлагаемое контактное устройство. отличается тем, что зонды с уменьшающимися сечениями фиксированы цангами, ко-. торыми заканчиваются внутренние проводники неоднородных коаксиальных линий. Такая конструкция позволяет не только крепить сигнальный зонд, но и регулировать его длину, а также позволяет заменять зонды -по мере износа. Наличие заземляющей пластины, соединяющей земляные контакты кристалла, обесйечивает улучшение теплоотвода ui повышение механической прочности устройства.

На чертеже представлено схематически контактное устройство.

Контактное устройство состоит из двух неоднородных коаксиальных линий 1 передачи, внутренние проводники которых заканчиваются цангами 2, в которые вставлены зонды 3, контактирующие с сигнальными площадками кристалла, земляные контактные площадки кристалла соединяются заземляющей пластиной 4 зажатой между двумя половинками корпуса 5 контактного устройства. Надежное контактирование сигнальных контактных площадок и земляных площадок кристалла соответственно с зондами и заземляющей пластиной обеспечивается упругостью зондов и заземляющей пластины.

Контактное устройство (КУ) работает следующим образом, Взаимное расположение зондов контактного устройства и контактных площадок кристалла контролируется микроскопом через отверстие в корпусе КУ, который на чертеже не показан. При совмещении зондов и контактных площадок кристалл поднимается вверх до касания КУ, при этом зонды 3 и заземляющая пластина 4 обеспечивают не только надежный электрический контакт, но и отводят от транзистора часть выделяющейся тепловой энергии. Таким образом обеспечивается повышение надежности и механической прочности устройства.

Предлагаемое контактное устройство реализовано. следующим образом. Корпус

КУ выполнен из латуни, две коаксиальные ступенчатые неоднородные линии передачи расположены под острым углом к испытуемому кристаллу, концы внутренних проводников выполнены в виде цанг, в которые вставлены зонды, выполненные так же, как и заземляющая пластина, из берйллиевой бронзы Бр Б2.

Таким образом, предложенная конструкция контактного устройства позволяет обеспечить лучший теплоотвод от кристалла. Бериллиевая бронза, из которой выполнены контактирующие с кристаллом элементы КУ, позволяет отводить до 1520 g тепла, выделяющегося в испытуемом кристалле, что предотвращает выход его из строя при испытаниях. Применение в качестве земляного проводника пластины резко снижает его индуктивность.

Использование проволочных зондов небольшой длины, вставленных в цанги, позволяет при сборке контактного устройства расположить все его контакты строго в одной плоскости.

Формула изобретения

Контактное устройство СВЧ-диапазона, содержащее токопроводящий корпус, СВЧлинии передачи с зондами. установленными под острым углом к плоскости контактирования, и заземляющие проводники. о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности за счет улучшения теплоотвода и механической прочности, заземляющие . проводники выполнены в виде пластины, закрепленной в корпусе. а СВЧ-линии передачи выполнены в виде неоднородных коаксиальных линий с постоянным волновым сопротивлением, на концах внутренних проводников которых установлены цанги с зондами, при этом зонды выполнены в виде стержней с уменьшающимся поперечным сечением.

1714731

Составитель Ю,Гулейков

Техред М.Моргентал Корректор. IVI.Äåì÷èê

Редактор M,Íåãèíà

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 700 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москве, Ж-35. Раушская наб., 4/5