Приспособление для исследования образцов в электронном микроскопе

 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к средствам исследования образцов материалов под нагрузкой в электронном микроскопе Цель изобретения - упрощение конструкции. Приспособление содержит вакуумируемый корпус 1 с основанием 2, нагружатель из двух соосных С-образных элементов 3 и 4, изготовленных из материалов с термомеханической памятью , и закрепленные на полках элементов захваты 5 образцов 6. При нагреве элемента 3 он разгибается, вызывая растяжение образцов и изгиб элемента 4. Разогрев элемента 4 приводит к снятию нагрузки с образца и приведению нагружателя в исходное состояние. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (siIs G 01 и 3/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР.

ОПИСАНИЕ ИЗСЬРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4754070/28. (22),30.10.89 .(46) 07.03.92. Бюл. № 9 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) С. Д. Прокошкин, Т. В. Морозова, А, И.

Феклистов, А. И. Никифоров, В. Г, Копылов и В. Г. Веприк (53) 620.172.087(088.8) (56) Проспект фирмы Raith KG, Information ¹

9, febr, 1986. (54) ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ОБРАЗЦОВ В ЭЛЕКТРОННОМ

МИКРОСКОПЕ Ы „1718010 А1 (57) Изобретение относится к испытательной технике, а именно к средствам исследования образцов материалов под нагрузкой в электронном микроскопе. Цель изобретения — упрощение конструкции. Приспособление содержит вакуумируемый корпус 1 с основанием 2, нагружатель из двух соосных

С-образных элементов 3 и 4, изготовленных из материалов с термомеханической памятью, и закрепленные на полках элементов захваты 5 образцов 6. При нагреве элемента 3 он разгибается, вызывая растяжение образцов и изгиб элемента 4. Разогрев элемента 4 приводит к снятию нагрузки с образца и приведению нагружателя в исходное состояние. 1 ил.

1718010

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к средствам исследования образцов материалов под нагрузкой в электронном микроскопе, Известно приспособление для растя>кения образцов при проведении исследований в электронном микроскопе, содержащее вакуумируемый корпус, размещенный внутри корпуса нагружатель и привод нагружателя.

Недостатком известного приспособления является его сложность, обусловленная соединением привода с нагружэтелем подвижными тягами и их уплотнениями в корпусе.

Целью изобретения является упрощение конструкции.

Указанная цель достигается за счет выполнения нагружателя в виде двух соосных

С-образных элементов из материала с термомеханической памятью. полки обоих элементов жестко соединены с захватами. Для срабатывания С-образных элементов предусмотрен их нагрев и охлаждение от электроисточника и термобатареи. При фазовых переходах в материале с памятью формы происходит деформирование С-образных элементов и исследуемых образцов. Элементы установлены так, что в каждом из них может происходить только прямой фазовый переход(от мартенсита к аустениту), причем при этом переходе один из стержней разгибается, а второй, наоборот, сгибается. Герметизация ввода электродов из атмосферы в вакуум обеспечивается следующим образом. В отверстие обечайки, ограничивающей вакуумируемый объем, вставлены две коваровые трубки (не показаны) и по наружным диаметрам загерметизированы остекловыванием. Внутри этих трубок размещены медные электроды, приваренные в вакуумной области электронным лучом к трубкам. На чертеже представлена схема при-. способления.

Приспособление содержит вакуумируемый корпус 1 с основанием 2, связанные с ним нагружатели, каждый из которых состоит из двух соосных С-образных элементов 3 и 4, изготовленных из материала с термомеханической памятью, и закрепленные на полках элементов захваты 5 для образца 6.

С каждым из элементов 3 и 4 по скользящему контакту состыкованы медные элек5

35 троды.7, выведенные из вакуума в атмосферу до контакта с термобатареями 8 и источником электропитания (не показан).

Коваровые трубки, в которые помещены электроды 7, герметизированы остеклованным уплотнителем 9.

Приспособление работает следующим образом.

В захватах 5 закрепляют образцы 6, герметизируют корпус 1 и проводят его вакуумирование, После этого осуществляют резистивный прогрев электротоком одного из С-образных элементов, например 3. Поскольку предварительно перемещение элементов 3 в зависимости от параметров питающего электротока откалибровано, то требуемую величину их деформации и образца 6 получают путем нормирования параметров питания. При прекращении подачи электроимпульсов на электрод 7, а следовательно, и на элемент 3 последний, разогнувшись, остается в этом положении.

Второй элемент 4 также разогнется, но не на фазовом переходе, а путем обычной линейной деформации изгиба, Для возвращения верхнего элемента 3 в исходное положение проводят его охлаждение и прогревают до осуществления фазового перехода элемент 4, При необходимости повторного нагружения образца указанные операции повторяют в том же порядке.

После завершения исследования первого образца основание 2 поворачивают и проводят нагружение следующего образца.

Формула изобретения

Приспособление для исследования образцов в электронном микроскопе, содержащее герметичный корпус, размещенные в корпусе пассивный захват для образца и активный захват с нагружателем и привод, связанный через уплотнения в корпусе с нагружателем, о т л и ч а ю щ е е с я тем,.что, с целью упрощения конструкции, нагружатель выполнен в виде двух соосных С-образных элементов из материала с термомеханической памятью, захваты жесткО закреплены на полках обоих элементов, привод выполнен в виде батареи с термо- и электроисточниками, а связь батареи со стойками каждого из элементов выполнена с возможностью переключения по скользящему контакту.