Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

 

Использование: измерение сопротивления проводящих пленок толщиной единицы-десятки микрометров в процессе или после их образования. Сущность изобретения: устройство для измерения сопротивления проводящих пленок содержит диэлектрическую подложку 1, первый токовый электрод 2, второй токовый электрод 3, два потенциальных электрода 4,5 и измерительный блок 6. Проводящая пленка покрывает равномерным по толщине и сопротивлению слоем подложку 1 и находящиеся на ней плоские концентрические электроды 2-5. От источника постоянного тока в измерительном блоке 6 ток пропускается от электрода 2 к электроду 3. Разность потенциалов электродов 4 и 5, равная падению напряжения на кольцевом участке пленки, подается на измеритель разности потенциалов в блоке 6. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 R 27/00

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4804783/21 (22) 20.03,90 (46) 07,04.92.Бюл. ¹ 13 (71) Научно-производственное объединение

"Тайфун" (72) А.С.Иваницкий, Ю.К.Часовитин и

В.Г.Чкалов (53) 621,377.211 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 624177, кл. G 01 R 27/02, 1978, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК (57) Использование: измерение сопротивления проводящих пленок толщиной единицы-десятки микрометров в процессе или после их образования. Сущность изобрете„„Ы2„„1725157 А1 ния: устройство для измерения сопротивления проводящих пленок содержит диэлектрическую подложку 1, первый токовый электрод 2, второй токовый электрод 3, два потенциальных электрода 4; 5 и измерител ьный блок 6. Проводящая пленка покрывает равномерным по толщине и сопротивлению слоем подложку 1 и находящиеся на ней плоские концентрические электроды 2-5.

От источника постоянного тока в измерительном блоке 6 ток пропускается от электрода 2 к электроду 3. Разность потенциалов электродов 4 и 5, равная падению напряжения на кольцевом участКе пленки, подается на измеритель разности потенциалов в бло ке 6. 1 з.п,ф-лы, 1 ил.

1725157

Составитель А.Иваницкий

Техред М.Моргентал Корректор ЭЛончакова

Редактор И.Шмакова

Заказ 1174 Тираж .Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к электроизмерительной технике, предназначено для измерения сопротивления проводящих пленок толщиной единицы-десятки микрометров в процессе или после их образования, в частности пленок, образующихся в ходе экспериментов с парометаллическими плазменными неоднородностями, Цель изобретения — повышение чувствительности.

На чертеже представлена структурная схема устройства.

На схеме обозначены диэлектрическая подложка 1, первый 2 и второй 3 токовые электроды, первый 4 и второй 5 потенциальные электроды и измерительный блок 6, направление тока 1, пропускаемого через электроды 2 и 3, и измеряемая между электродами 4 и 5 разность потенциалов h, U, а также геометрические размеры: D> — внешний диаметр электрода 4, Dz — внутренний диаметр электрода 5.

Устройство работает следующим образом.

Проводящая пленка, сопротивление которой необходимо измерить, покрывает равномерным по толщине и сопротивлению слоем подложку 1 и находящиеся на ней плоские, выполненные в виде замкнутых концентрических фигур электроды 2 — 5. От источника постоянного тока в измерительном блоке бток!пропускается отэлектрода

2 к электроду 3, Разность потенциалов Л0 электродов 4 и 5, равная падению напряжения, создаваемому током на сопротивлении

R кольцевого участка пленки, ограниченного этими электродами, подается на измеритель разности потенциалов в блоке 6.

Сопротивление R определяется по закону

Ома, а поверхностное сопротивление Rs получают, исходя из R и геометрических размеров потенциальных электродов. В случае выполнения электродов в виде концентрических. колец используется зависимость гл гк h,u

5 fn Dz/D> jn Dz/D неизменном отношении Ог/0 результат измерения Ь U в блоке 6 может быть выражен непосредственно в единицах Rs.

Принятая конфигурация электродной

10 системы позволяет увеличить площадь токовых электродов и повысить плотность тока, протекающего в исследуемом объекте, и благодаря этому в несколько раз повысить чувствительность, а также расширить пре15 дел измерения минимального значения Rs по сравнению с известным устройством.

Кроме того, в связи с тем, что исключаются наличие электрического поля за пределами второго токового электрода и связь по про20 водящей пленке между любыми электродами, помимо соседних, становятся ненужными маска и средства для ее установки и закрепления, 25 Формула изобретения

1. Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее диэлектрическую подложку с плоскими токовыми и потенциальными электродами, 30 а также измерительный блок, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности,. электроды выполнены в виде замкнутых концентрических фигур, охватывающих первый токовый электрод в

35 последовательности: первый потенциальный, второй потенциальный и второй токовый электроды, 2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что электроды выполнены в виде

40 концентрических окружностей.