Устройство для селекции дефектов фотошаблонов

 

Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах анализа изображений. Цель изобретения - повышение точности устройства -достигается введением второго формирователя апертуры, селектора кривизны, компаратора , второго блока памяти, элемента задержки , третьего счетчика, что позволяет выделять дефекты произвольной формы. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (l 9) (I I) (sI)s G 06 К 9/46

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4738984/24 (22) 20.09.89 (46) 07.04,92, Бюл. М 13 (71) Московский институт электронной техники (72) В.Н,Ботнева, В.Ю.Елизарьев, В.И.Кондратьев и В.А.Таран (53) 681.327.12(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 955126, кл. G 06 К 9/46, 1980.

Авторское свидетельство СССР

М 1401274, кл. G 01 В 21/00, 1986.

Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах анализа изображений.

Цель изобретения — повышение точности устройства.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг, 2 — схема формирователя апертуры; на фиг. 3 — выходные сигналы первого формирователя апертуры; на фиг. 4 — функциональная схема селектора кривизны; на фиг. 5 — примеры, поясняющие работу устройства.

Устройство (фиг. 1) содержит первый формирователь 1 апертуры, селектор 2 кривизны, первый элемент И 3, первый элемент ИЛИ 4, второй формирователь 5 апертуры, компаратор 6, первый элемент

7 задержки, третий счетчик 8, второй блок

9 памяти, первый счетчик 10, первый блок

11 памяти, второй счетчик 12, генератор 13 синхроимпульсов.

Формирователь апертуры (фиг. 2) содержит девять элементов 14 задержки и десять регистров 15 сдвига.

Селектор кривизны (фиг. 4) содержит груп пу элементов И С КЛ ЮЧАЮЩЕ Е ИЛ И (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ (57) Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах анализа изображений. Цель изобретения— повышение точности устройства — достигается введением второго формирователя апертуры, селектора кривизны, компаратора, второго блока памяти, элемента задержки, третьего счетчика, что позволяет выделять дефекты произвольной формы. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

16,второй и третий элементы ИЛИ 17 и 18, первый и второй элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 19 и 20 и второй элемент И 21.

Устройство работает следующим образом.

Сигналы С1, С2, СЗ поступают через элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 19 и 20 на входы. второго элемента ИЛИ 18, таким образом выделяются перепады яркости по горизонтали (С1, С2) и по вертикали (С2, СЗ), т.е. контурные точки объектов изображения.

Сигнал на выходе третьего элемента ИЛИ 18 содержит контуры всех объектов контролируемой топологии (фиг. 5б).

Группы сигналов (а }, {bi} поступают через элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 16 группы на входы второго элемента ИЛИ 17.

Таким образом, центральной точке окна (фиг, 3) присваивается единичный уровень яркости, если она находится на прямолинейном отрезке контура фигуры топологии, пересекающем противоположные стороны окна.

Сигнал на выходе элемента ИЛИ 17 содержит участки контура с радиусом кривиз1725238 ны больше R (фиг. 5в); на элементе И 21 выделяются все участки с радиусом кривизны меньше R (фиг. 5г).

Во втором блоке 9 памяти хранятся предварительно записанные в порядке возрастания (соответственно нумерации на фиг, 5д) координаты угловых точек эталонного изображения (фиг. 5д). В начале сканирования кадра изображения на выходе второго блока памяти установлены координаты первой угловой точки (фиг, 5д), Они поступают на первую группу входов компаратора 6, на вторую группу входов которого поступают координаты текущего положения сканируемого элемента изображения с первого 10 и второго 12, счетчиков, В момент равенства координат на входах компаратора 6, на его выходе появляется сигнал, соответствующий угловой точке эталонной топологии, по которому через время 1з изменяется состояние третьего счетчика 8 и на первом входе компаратора 6 устанавливаются координаты второй угловой точки. Установка в "0" третьего счетчика 8 производится по кадровым синхроимпульсам, поступающим на его вход "Сброс" с первого выхода генератора 13 синхроимпульсов. Таким образом происходит формирование изображения угловых точек эталонной топологии.

С выхода элемента ИЛИ 4 изображение зон (фиг. 5ж), построенных на угловых точках эталонной топологии, поступает на инверсный вход элемента И 3, на прямой вход которого поступает изображение криволинейных участков контуров объектов контролируемого изображения (фиг. 5 r), Если в контролируемом изображении все фигуры выполнены с требуемой точностью, то выделяемые селектором кривизны 2 углы этих фигур совпадают с зонами, поступающими с выхода элемента ИЛИ 4 и на выход элемента И 3 они не пройдут. Участки контуров дефектов, углы лишних и дефектных элементов проходят на выход элемента И 3, так как не совпадают с зонами, Таким образом, осуществляется классификация выделенных селектором 2 кривизны криволинейных участков контуров (фиг. 5г) на углы точно выполненных фигур и дефекты (фиг. 5з). С выхода элемента И 3 сигналы, соответствующие дефекты, поступают на вход разрешения записи первого блока 11 памяти. В момент появления сигнала на входе элемента И 3 происходит запись в блок 11 памяти координаты дефекта, установленной в данный момент на выходах первого 10 и второго

12 счетчиков. По окончании сканирования кадра изображения в блоке 11 памяти будут записаны координаты всех дефектов, обнаруженных в данном кадре.

Формула изобретения

1. Устройство для селекции дефектов фотошаблонов, содержащее первый формирователь апертуры, элемент И, элемент

ИЛИ, первый и второй счетчики, выводы которых соединены с входами первого блока памяти, и генератор синхроимпульсов, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности устройства, оно содержит второй формирователь апертуры, селектор кривизны, компаратор, второй блок памяти, первый элемент задержки, третий счетчик, информационный вход первого формирователя апертуры является информационным входом устройства, выход первого формирователя апертуры соединен с входами селектора кривизны, выход которого соединен с первым входом первого элемента И, второй вход которого соединен с выходом первого элемента ИЛИ, входы которого соединены с выходами второго формирователя апертуры, выход компаратора соединен с первым входом второго формирователя апертуры и с входом первого элемента задержки, выход которого соединен со счетным входом третьего счетчика, выходы которого соединены с адресными входами второго блока памяти, выходы которого соединены с первым входом компаратора, второй вход которого соединен с выходом первого счетчика, третий вход компаратора соединен с входом второго счетчика, выход первого элемента И соединен с первым управляющим входом первого блока памяти, первый выход генератора синхроимпульсов соединен с вторым управляющим входом первого блока памяти, с входом "Сброс" второго счетчика и с входом "Сброс" третьего счетчика, второй вход генератора синхроимпульсов соединен с входом "Сброс" первого счетчика и со счетным входом второго счетчика, третий выход генератора синхроимпульсов соединен со счетным входом первого счетчика и с управляющими входами первого и второго формирователей апертуры.

2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что селектор кривизны содержит группу элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИИ, второй и третий элементы ИЛИ, первый и второй элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ и второй элемент И, входы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ являются первым и вторым входами селектора, входы первого и второго элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ являются третьим входом селектора, выходы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ группы соединены с входами второго элемента

ИЛИ, выход которого соединен с первым

1725238

Фиг. 2 входом второго элемента И, второй вход которого соединен с выходом третьего элемента ИЛИ, входы которого соединены с выходами первого и второго элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, выход второго элемента И является выходом селектора.

1725238

1725238

Составител ь А. Глотов

Техред М,Моргентал Корректор Л.Патай

Редактор С.Пекарь

Заказ 1178 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101