Термопечатающее устройство
Изобретение относится к устройствам термопечати, может быть использовано при создании термопечатающих головок в устройствах отображения графической и буквенной информации периферийной аппаратуры и позволяет повысить срок службы устройства и качество термопечати за счет выполнения защитного слоя из набора пленок тантала, нитрида алюминия и пятиокиси тантала, при этом резистивный слой выполнен на основе пленки легированного поликристаллического кремния.1 з.п.флы, 1 ил.
° ° °
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 В 41 J 2/32
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4827603/12 (22) 21.05.90 (46) 30.04,92, Бюл. N 16 (71) Ленинградское научно-произ- водственное объединение "Авангард" (72) М, В. Карманов, Е.Н,Свиридович и
В,Н.Караэеев (53) 681.6(088.8) (56) Термопечатающее устройство. Черт, ПИЖМ 430413, 001. (54) ТЕРМОПЕЧАТАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО
Изобретение относится к устройствам функциональной электроники, в частности к устройствам термопечати, и может быть использовано при изготовлении термопечатающих головок в устройствах отображения графической и буквенной информации периферийной аппаратуры.
Целью изобретения является повышение долговечности и качества печати.
На чертеже схематически представлено устройство, разрез.
Термопечатающее устройство содер. жит ситалловое основание 1, на поверхность которого сплошной пленкой нанесен резистивный слой легированного поликристаллического кремния 2 толщиной 0,3-1 мкм и удельным поверхностным сопротивлением 10:1000 Омlр, Поверх резистивного слоя расположен проводниковый слой 3, выполненный, например, из пленки алюминия толщиной 0,31 мкм, Внутренняя пленка защитного слоя выполнена из чередующихся слоев нитрида алюминия 4 и пятиокиси тантала 5. Толщина пленок нитрида алюминия составляет
1-10 мкм, а пятиокиси тантала 0,2-1 мкм.
Внешняя пленка защитного слоя выполнена
„.,50„„1729799 А1 (57) Изобретение относится к устройствам термопечати. может быть использовано при создании термопечатающих головок в устройствах отображения графической и буквенной информации периферийной аппаратуры и позволяет повысить срок службы устройства и качество термопечати за счет выполнения защитного слоя иэ набора пленок тантала, нитрида алюминия и пятиокиси тантала, при этом резистивный слой выполнен на основе пленкилегированного поликристаллического кремния.1 з.п.флы,1 ил, на основе пленки тантала 6 толщиной
0,5-1 мкм.
Работа устройства заключается в следующем.
Из внешней схемы управления на термопечатающее устройство в определенное время и на соответствующие выводы проводникового слоя 3 подаются импульсы напряжения, Под воздействием этих импульсов область резистивного слоя 2, на поверхности которой отсутствует проводниковый слой 3, нагревается до 250...300 С.
К рабочей поверхности термопечатающего устройства механически прижимается термочувствительная бумага, на которой нагретые резисторы резистивного слоя 2 оста вл я ют отпечаток. Совокуп ности отпечатков образуют текст информации или графическое изображение. и
Предлагаемое устройство изготавливают следующим образом.
На ситалловую плату марки СТ-32, являющуюся диэлектрическим основанием, методом разложения моносилана при низком давлении и Т=650 С осаждают пленку поликристаллического кремния и методом ион1729799
Составитель M. Карманов
Техред M. Ìîðãåíòàë Корректор Т. Малец
Редактор С. Лисина
Заказ 1471 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35. Раушская наб„4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ной имплантации (ИИ) осуществляют ее легирование сурьмой.
Температура активации после ионной имплантации (ИИ) 900 С. Удельное поверхностное сопротивление пленок было
100 OM/, Затем методом фотолитографии формировали рисунок резистивного слоя и вакуумным напылением с последующей фотолитографией формировали проводниковую пленку алюминия толщиной 0,5 мкм.
Затем методом ионна-плазменного напыления через металлическую маску формировали пленки нитрида алюминия, пятиокиси тантала и тантала в следующей последовательности; нитрид алюминия, пятиокись тантала, нитрид алюминия, тантал.
Отличительные признаки обеспечили достижение рассеиваемой сущности резисторов 53-65 Вт/мм, что на 10-20 Вт/мм г г больше, чем у прототипа. Повышение механической прочности защитных слоев от истирания и высокая стабильность номиналов резисторов позволило повысить надежность устройства при эксплуатации и, соответственно, осуществить запись информации на термочувствительную бумагу до 3 10 -5 10 точек, Благодаря высокой однородности толщины пленки паликремния и высокой маскирующей способности защитных слоев от влаги в 3-4 раза увеличилась воспроизводимость номинала резисторов. Отличительные признаки предлагаемого устройства обеспечили также снижение трудоемкости его изготовления более чем на 30 ф,, а в
5 аппаратуре записи позволили снизить в 510 раз требования к неплоскостности контакта между термочувствительной бумагой и данным устройством.
Внедрение устройства позволяет суще10 ственным образом расширить номенклатуру, надежность и качество различного рода регистрирующей аппаратуры, Формула изобретения
15 1. Термопечатающее устройство, содержащее ситалловое основание, резистивный, проводниковый и защитный слои, о тл и ч а ю ще е с я тем, чо. с целью повышения долговечности и качества печати, за20 щитный слой выполнен из набора пленок, причем наружная из пленок выполнена из тугоплавкого металла, а контактирующая с ней с внутренней стороны пленка выполнена из чередующихся между собой слоев нит25 рида алюминия и пятиокиси тантала, при этом резистивный слой выполнен на основе легированного поликристаллического кремния.
2, Устройство по п.1, отл и ч а ю ще е30 с я тем, что наружная пленка выполнена из тантала;
