Способ изготовления малогабаритного фотоэлектронного прибора

 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления малогабаритного фотоэлектронного прибора с фотокатодом на основе соединений сурьмы с щелочными металлами. Цель изобретения - увеличение выхода годных приборов. Предложен способ изготовления малогабаритного фотоэлектронного прибора, включающий напыление на катодное окно слоя сурьмы с помощью токового испарителя сурьмы, соединенного с рабочим выводом прибора через контактный размыкатель и активирование фотокатода с последующей отгонкой остатков щелочных металлов. При этом контактный размыкатель выполняют в виде плавкого элемента, размещают вне катодной камеры, а его размыкание осуществляют после отгонки остатков щелочных металлов подачей импульса тока, амплитуду и длительность которого формируют из условия установки рабочей точки размыкания плавкого элемента ниже рабочей точки начала распыления сурьмы. 1 ил.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления малогабаритного фотоэлектронного прибора с фотокатодом на основе соединений сурьмы с щелочными металлами. Цель изобретения увеличение выхода годных приборов. Предлагаемый способ обеспечивает работу прибора при повышенных температурах. Выбор рабочей точки размыкания плавкого предохранителя ниже рабочей точки распыления сурьмы обеспечивает предотвращение подпыления сурьмы на элементы прибора. Рабочая точка размыкания плавкого элемента определяется как температура плавления, создаваемая импульсом тока (определенной амплитуды и длительности), проволоки взятого сечения и материала по методике, известной из области электротехники. На фиг. 1 представлена схема малогабаритного фотоэлектронного прибора, содержащего катодное окно 1, испаритель 2, экран 3, плавкий элемент 4, диод 5, выводы 6 экрана и динода, диноды 7, анод 8 и генератор 9 импульсов тока. Пример осуществления способа. Были изготовлены ФЭУ с сурьмяноцезиевым фотокатодом, испаритель сурьмы которых представлял собой шарик сурьмы диаметром 0,4 мм, на никелевой проволоке диаметром 0,2 мм. Испаритель сурьмы через отрезок молибденовой проволоки 0,1 мм (плавкий элемент) одним концом соединялся с рабочим выводом прибора (динод), а другим концом непосредственно с экраном прибора. В качестве плавкого элемента может быть также использована и титановая проволока диаметром 0,1 мм. Сечения проволок подбирались таким образом, что при распылении шарика сурьмы нагрев плавкого элемента был недостаточным для его расплавления, а при размыкании плавкого элемента распыления сурьмы не происходило, так как в настоящее время для фотоэлектронных приборов термическая инерционность цепи испарителя составляет более 1 с. Приборы активировались на откачном посту по серийной технологии, только перед отпайкой прибора производили размыкание плавкого элемента путем подачи на испаритель импульса тока с амплитудой 5 А и длительностью 10 мс (могут быть использованы импульсы тока с амплитудой более 4 А и длительностью не более 1 с). Использование предлагаемого изобретения позволяет увеличить выход годных приборов в 1,5 раза.

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАЛОГАБАРИТНОГО ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА, включающий напыление на катодное окно слоя сурьмы с помощью токового испарителя сурьмы, соединенного с рабочим выводом прибобра через контактный размыкатель, активирование фотокатода с последующей отгонкой щелочных металлов, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных приборов, контактный размыкатель выполняют в виде плавкого элемента, размещают вне катодной камеры, а его размыкание осуществляют после отгонки остатков щелочных металлов подачей импульса тока, амплитуду и длительность которого формируют из условия установки рабочей точки размыкания плавкого элемента ниже рабочей точки начала распыления сурьмы.

РИСУНКИ

Рисунок 1



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике изготовления фотополевых катодов из полупроводниковых материалов и может быть использовано в процессе изготовления приемников излучения

Изобретение относится к технике изготовления фотополевых катодов из полупроводниковых материалов и может быть использовано в процессе изготовления приемников излучения для видимого и инфракрасного диапазона оптического излучения

Изобретение относится к области электровакуумной электронной техники, а именно к фотоэмиссионным полупроводниковым устройствам, работающим в видимой и ближней ультрафиолетовой области

Фотокатод // 2351035
Изобретение относится к области элементов конструкций фотоэлектронных приборов, а именно к фотокатодам на рельефных подложках, использующихся в качестве входных преобразователей электромагнитного излучения в электронный поток

Фотокатод // 2454750
Изобретение относится к области электровакуумной электронной техники

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть использовано для тренировки фотоэлектронных приборов, в частности электронно-оптических преобразователей (ЭСП)

Изобретение относится к области эмиссионной и наноэлектроники и может быть использовано в разработке и в технологии производства фотоэлектронных преобразователей второго поколения, эмиттеров с отрицательным электронным сродством для приборов ИК-диапазона. Способ изготовления фотоэмиттера с отрицательным электронным сродством для инфракрасного диапазона заключается в нагреве поверхности подложки (основы) из легированного арсенида галлия с дырочной проводимостью (p-GaAs), снижении температуры до комнатной, напыления на поверхность подложки поочередно атомов цезия и кислорода, измерения тока фотоэмиссии с поверхности. При этом подложку нагревают до повышения концентрации мышьяка на поверхности более чем в 1.5 раза, затем фиксируют состав поверхности резким снижением температуры подложки до комнатной температуры, затем напыляют поочередно атомы цезия и кислорода дозами долей монослоя до образования цезиевой пленки моноатомной толщины, затем эмиттер помещают на несколько минут в атмосферу инертного газа. Изобретение обеспечивает увеличение фоточувствительности и повышение времени технологической жизни, интервала времени после формирования до запайки в прибор, уменьшение глубины анализируемого слоя, повышение достоверности результатов анализа и повышение совместимости аппаратуры для его реализации с другими методами анализа и технологическим оборудованием. 4 ил.

Фотокатод // 2542334
Изобретение относится к области электронной техники. В фотокатоде, выполненном из высокочистого полупроводника, область, регистрирующая оптическое излучение, выполнена в виде полупроводниковой мембраны с омическим контактом к несущей ее подложке и расположенной над отверстием в ней, на лицевой поверхности полупроводниковой мембраны расположен диэлектрический слой нанометровой толщины и приемный электрод, отделенный от диэлектрического слоя вакуумным промежутком и выполненный в виде пленок из проводящего полупрозрачного для оптического излучения материала и люминофора, последовательно нанесенных на прозрачную для света подложку. Технический результат - расширение спектрального диапазона чувствительности фотокатодов. Области возможного использования предлагаемой конструкции - фотокатодные узлы вакуумных высокочувствительных, термо- и радиационно стойких приемников излучений и приемников изображений для спектрального диапазона 0,22-1,0 мкм. В основу работы предлагаемого фотокатода положены туннельно-термоактивационные физические эффекты, что дает возможность управляемо изменять работу выхода фотоэлектронов в вакуум. 2 ил.

Изобретение относится к полупрозрачному фотокатоду (1) для фотодетектора, имеющего повышенную степень поглощения при сохраняющейся степени переноса. Согласно изобретению фотокатод (1) содержит пропускающую дифракционную решетку (30) для дифракции фотонов, расположенную в слое подложки (10), на которую нанесен фотоэмиссионный слой (20). Технический результат - увеличение квантового выхода фотокатода. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 7 ил.
Наверх